INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 14

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Beschreibung
SNIFFER
Elektrischer Anschluss für Schnüffelleitung
GAUGES, EXT
Anschluss für optionale externe Druckmessstellen (0 ... 10 V/0 ... 20 mA) für
INFICON-Service
Steckerbelegung
1 +24-V-Output, max. 200 mA
2 Input für P3-Service-Druckmessstelle, 0 ... 10 V
3 GND
4 Referenz zum Input für P3-Service-Druckmessstelle
5 20-mA-Input für P3-Service-Druckmessstelle
1
Anschluss für Drucksensor PSG500, Prüfleck und Suppressor am Vorverstärker
(vormontiertes, dreifaches Kabel)
24VDC
Anschluss für 24-V-Netzteil zur Versorgung von Massenspektrometer-Modul, Bedie-
neinheit, I/O-Modul und Bus-Modul.
2
Anschluss für Wandler Turbomolekularpumpe und Lüfter Turbomolekularpumpe
(vormontiertes, zweifaches Kabel)
ION SOURCE
Anschluss für Ionenquelle
3
Anschluss für Vorverstärker
Power-LED / Status-LED
Die Power-LED und die Status-LED zeigen den Betriebszustand des Gerätes an.
Power-LED
Aus
Grün
Grün
Grün
Grün
Grün
Grün, blinkt langsam
Grün, blinkt schnell
Grün, blinkt
Grün
Status-LED Bedeutung
Rot Gerät nicht betriebsbereit
Blau Turbomolekularpumpe läuft hoch
Orange Emission wird eingeschaltet
Grün Emission ist stabil
Lila Drehzahl der Turbomolekularpumpe
ist nicht im Normalbereich
Fehlercodes der Verschiedene Aktivitäten des Geräts
Status-LED
Versorgungsspannung < 21,6 V
Versorgungsspannung > 26,4 V
Aus Software wird aktualisiert
Grün, blinkt Software wird aktualisiert