INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 70

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Wartung
Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe
Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit gifti-
gen Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein.
► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen.
► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
► Alte Betriebmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen.
Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gefüllt.
1 Das Verfallsdatum des neuen Betriebsmittelspeichers prüfen.
2 Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen.
3 Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel herausschrauben.
4 Alten O-Ring entnehmen.
5 Betriebsmittelspeicher mit zwei Schraubendrehern herausheben.
Abb. 11 Betriebsmittelspeicher tauschen
O-Ring
a
Betriebsmittelspeicher
b
Porex-Stäbe
c
Porexstäbe tauschen
1 Alte Porexstäbe (8 Stück) mit Pinzette herausziehen.