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INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 50

Massenspektrometer-modul
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Leckrate log.
Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter „Exponent oberer
Grenzwert" und „Skalierung bei Leckrate" eingestellt. Beispiel:
Obere Grenze eingestellt auf 1 x 10
-7
ze liegt bei 1 x 10
mbar l/s (= 0 V).
Bei der logarithmischen Ausgangsfunktion werden sowohl die Steigung in V/Dekade als auch der obere Grenz-
wert (10-V-Wert) eingestellt. Daraus ergibt sich der kleinste anzeigbare Wert.
Folgende Steigungen sind wählbar: 0.5, 1, 2, 2.5, 3, 5, 10 V/Dekade
Je höher der eingestellte Steigungswert, umso kleiner ist der darstellbare Bereich.
Die logarithmischen Einstellungen sind am sinnvollsten, wenn mehrere Dekaden darstellbar sind, also eine
Einstellung < 10 V/Dekade.
Der obere Grenzwert ist für beide Analogausgänge gleich. In den Abbildungen
5 V/Dekade mit unterschiedlichen Einstellungen des oberen Grenzwerts beispielhaft dargestellt.
Je nach gewählter Leckrateneinheit ergibt sich eine andere absolute Grenze. Der gewählte Bereich kann durch
die Grenzen, die für alle Schnittstellen gültig sind, zusätzlich eingeengt werden, siehe oben.
Über Interface
Leckrate Ma. Hys.
Druck p1 (1 V / Dek.)/
Druck p2 (1 V / Dek.)
Leckrate log. H./
Leckrate Exp. Inv.
50
Betrieb
x ... 10 V; logarithmisch;
in gewählter Einheit
-5
mbar l/s (= 10 V). Skalierung eingestellt auf 5 V / Dekade. Untere Gren-
Die Ausgangsspannung kann über den LD-Protokoll-Befehl 221 für Tests festgelegt
werden.
0,7 ... 10 V; linear;
in gewählter Einheit
1 ... 10 V; 1 V / Dekade;
-3
2,5 V = 1 x 10
mbar;
8,5 V = 1000 mbar
Diese Belegung sichert die Rückwärts-
kompatibilität zu Altgeräten.
8
und
9
Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-Aus-
gang mit „Leckrate Exponent" belegt ist.
Durch eine Überlappung der Mantisse im Be-
reich 0,7 bis 1,0 wird ein permanentes Sprin-
gen zwischen zwei Dekaden verhindert.
0,7 V entspricht einer Leckrate von 0,7 x 10
9,9 V entspricht einer Leckrate von 9,9 x 10
sind 1 V/Dekade und
-x
.
-x
.

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Diese Anleitung auch für:

560-300

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