INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 64

Wrn670 Fehler beim Kalibrieren
Wrn671 Peak nicht gefunden
Wrn680 Abweichung zur Kalibrierung
festgestellt
7xx Temperaturfehler (Vorverstärker, Elektronik)
Wrn700 Vorverstärker Temp. zu nied-
rig
Wrn702 Vorverstärker Temp. zu hoch 32 124
Wrn710 MSB Temperatur zu hoch
Err711 Max. MSB Temperatur über-
schritten
8xx unbenutzt
9xx Wartungsmeldungen (z. B. TMP)
Wrn901 Wartung Lager/Schmiermittel 99 99
Wrn910 Wartung Membranpumpe
64
Betrieb
Fehlernummer
81 153
81 153
0 0
33 60 2°C
60°C
54 44 55°C
54 44 65°C
3 Jahre
99 99
Da beim Kalibrieren ein Prob-
lem aufgetreten ist, müssen Sie
neu kalibrieren.
Während der Peaksuche war
das Signal zu unruhig. Die Kali-
brierung wurde abgebrochen.
Die Überprüfung der Kalibrie-
rung hat gezeigt, dass Sie neu
kalibrieren sollten.
Temperatur zu klein
Temperatur zu groß
Temperatur zu groß
Temperatur zu groß
Wartung TMP erforderlich
8000-Std.-Wartung Membran-
pumpe erforderlich