INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 4

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Inhalt
6.5 Gerät kalibrieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
6.5.1 Interne Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.5.2 Externe Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.5.3 Externe dynamische Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
6.5.4 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL
(Zubehör) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
6.5.5 Kalibrierung prüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
6.5.6 Kalibrierfaktor eingeben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.5.7 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen . . . . . . . . . . . . . . 36
6.6 Messung starten und stoppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
6.7 Parameter speichern und laden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
6.8 Messdaten kopieren, Messdaten löschen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
6.9 Gas-Untergründe mit den „ZERO"-Funktionen unterdrücken . . . . . . . 39
6.10 Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
6.11 Vorvakuumpumpe dekontaminieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
6.12 Einheit für die Leckrate wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
6.13 Einheit für den Druck wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
6.14 Anzeigegrenzen wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
6.15 Triggerwerte einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
6.16 Kapillarüberwachung einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
6.17 Turbomolekularpumpe einrichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
6.18 Ionenquelle einrichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6.19 Vorverstärker einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
6.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
6.21 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.22 Einstellungen für das I/O-Modul IO1000 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.22.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.22.2 Ein- und Ausgänge belegen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
6.23 Einstellungen für das Busmodul BM1000 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
6.24 Warn- und Fehlermeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
6.24.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs . . . . 65
6.25 Einstellungen zurücksetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
7 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
7.1 Wartung bei INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
7.2 Allgemeine Wartungshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
7.3 Wartungsplan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
7.4 Wartungsarbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
7.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen . . . . 68
8 Außerbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
8.1 Lecksuchgerät stillsetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
8.2 Massenspektrometer-Modul entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
8.3 Massenspektrometer-Modul einsenden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72