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6.3.16.1 Intern kalibrieren
6.3.16.2 Extern Kalibrieren
6.3.16.3 Kalibrierung überprüfen
UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
► Bei der Verwendung von Wasserstoff oder Helium-3 (
interne Kalibrierung nicht möglich. Verwenden Sie hierfür ein externes Prüfleck.
► Die Betriebsarten Vakuum und Schnüffeln müssen bei einer externen Kalibrierung
separat kalibriert werden.
► Eine Kalibrierung sollte nur bei betriebswarmem Gerät erfolgen. Kalibrieren Sie
frühestens 20 Minuten nach dem Einschalten.
► Bei Anlagen mit größerer Distanz zum Prüfobjekt empfehlen wir die Verwendung
eines externen Prüflecks am Ort des Prüfobjekts.
► Bei Verwendung des internen Prüflecks beachten Sie die Einstellung des
Maschinenfaktors, siehe auch "Maschinenfaktor einstellen [} 71]".
ü
Operator- oder Supervisor-Rechte
ü Das Gerät befindet sich im Zustand "Standby" oder "Messen".
1
Wählen Sie das Fadenkreuz-Symbol
2
Wählen Sie die Kalibrierung "Intern".
3
Drücken Sie auf
ð
Das Gerät führt eine interne Kalibrierung durch.
ü
Operator- oder Supervisor-Rechte
1
Montieren Sie ein Prüfleck auf dem Einlass des Geräts.
2
> Einrichten > Messung > Prüfleck
3
Stellen Sie die Leckrate des verwendeten Prüflecks ein, siehe auch "Externes
Prüfleck einstellen [} 71]".
4
Setzen Sie das Gerät in den Zustand "Standby" oder "Messen".
5
Drücken Sie auf das Fadenkreuz-Symbol
6
Wählen Sie die Kalibrierung "Extern".
7
Drücken Sie auf
8
Folgen Sie den Anweisungen auf dem Bildschirm.
Sie können die Kalibrierung auch ohne Änderung des Kalibrierfaktors überprüfen. So
erfahren Sie, ob eine erneute Kalibrierung nötig ist.
ü
User-Rechte
ü Das Gerät befindet sich im Zustand "Standby" oder "Messen".
.
.
.
3
He) als Prüfgas ist eine
.
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