INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 71

Sachschäden durch Reinigungsflüssigkeiten
Reinigungsflüssigkeiten können das Gerät beschädigen.
► Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden.
► Sauberes fusselfreies Tuch verwenden.
2 Verunreinigungen an Turbomolekularpumpe und Verschlussdeckel mit saube-
rem fusselfreien Tuch entfernen.
3 Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Pinzette einsetzen.
Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen
Der neue Betriebsmittelspeicher wird durch das Eindrehen des Verschlussdeckels
korrekt positioniert:
1 Neuen Betriebsmittelspeicher nicht in ganzer Höhe, sondern nur bis zum O-Ring
in die Pumpe schieben.
Sachschäden durch falsch montierten O-Ring
Ein falsch montierter O-Ring kann Undichtigkeiten verursachen. Das Gerät hat
Fehlfunktionen und wird beschädigt.
► O-Ring sorgfältig einlegen.
2 Neuen O-Ring für den Verschlussdeckel einlegen.
3 Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel einschrauben (Anzugsdrehmoment
13 Nm +/-10%).
4 Belüftungsschraube handfest anziehen.
5 Turbomolekularpumpe einbauen.
6 Massenspektrometer-Modul in Betrieb nehmen.
Wartungsarbeit bestätigen
 Bedieneinheit installiert
 Berechtigung = Integrator
► Wartungsarbeit in Bedieneinheit bestätigen:
„Berechtigung > Integrator > Wartung > Wartungsarbeit"
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Wartung