INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 61

Wrn311 Kathode 2 defekt
Err312 Kathoden defekt
Err340 Emissionsfehler
Wrn342 Kathoden nicht angeschlos-
sen
Wrn350 Suppressor nicht angeschlos-
sen
Wrn352 Vorverstärker nicht ange-
schlossen
Wrn360 Vorverstärker Output zu nied-
rig
Wrn361 Vorverstärker Offset zu hoch
Wrn362 Vorverstärker Bereichsfehler
Wrn390 500 G außerhalb des Bereichs 31 123
4xx TMP-Fehler (auch Temperatur)
Err400 Fehlernummer der TMP
Wrn401 Warnnummer der TMP
Err402 Keine Kommunikation mit
TMP
Err403 TMP Drehzahl zu niedrig
Err404 TMP Stromaufnahme zu hoch 49 2
Err405 Kein Hochlauf der TMP
Err410 TMP Temperatur zu hoch
Wrn411 Hohe TMP Temperatur
Err420 TMP Spannung zu hoch
Fehlernummer
46 137
47 138
44 135 <90% des Sollwerts
>110% des Sollwerts
47 138
39 130
31 123 <-70 mV bei 500 GΩ
31 123 >+/-50 mV bei 500 GΩ,
>+/-10 mV bei 15 GΩ,
<+/-10 mV bei 470 MΩ,
<+/-9 mV bei 13 MΩ
31 123
450 GΩ
550 GΩ
49 15
49 15
53 142 < 95% des Sollwerts
3A
60 61 5 Min.
49 2 61°C
49 2 60°C
49 2
Kathode defekt, Leitung zur Ka-
thode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Kathode defekt, Leitung zur Ka-
thode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt
Emission war vorher stabil, ver-
mutlich hoher Druck, Meldung
nach 15s
Beide Kathoden beim Selbst-
test defekt oder Stecker nicht
gesteckt
Supressorkabel beim Selbst-
test nicht gesteckt oder defekt
Vorverstärker defekt, Kabel
nicht gesteckt
Ionenquelle schlecht oder Mas-
senspektrometer verunreinigt
Vorverstärker defekt
Vorverstärker oder MSB-Box
defekt
Vorverstärker defekt, Fehler
am Supressor, IF-Board oder
MSB defekt
Kabel zur TMP, TMP defekt, IF-
Board oder MSB defekt
Druck zu hoch, TMP defekt
Druck zu hoch, TMP fehlerhaft
Kühlung ausgefallen, Einsatz-
bedingungen MSB-Modul über-
prüfen
Kühlung ausgefallen, Einsatz-
bedingungen MSB-Modul über-
prüfen
Netzteil defekt, TMP defekt
Betrieb
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