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INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 56

Massenspektrometer-modul
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Funktion
Auswahl dyn/norm
Start / Stop
Taste 1
Taste 2
Taste 3
CAL
ZERO update
TL
TL Plus
XL Fluss
CAL Mach
PROOF intern
PROOF extern
START/STOP Puls
ZERO aktualis.
Prüfleck auf
Prüfleck auf Puls
Fluss
CAL Maschine
CAL Prüfen intern
CAL Prüfen extern
Start / Stop Puls
Masse 2 / Masse 4
56
Betrieb
Flanke/
Beschreibung
Zustand:
Externer Kalibriermodus bei Aktivierung des Digital-Eingangs „CAL":
inaktiv → aktiv:
Externe dynamische Kalibrierung (ohne Autotune, unter Berück-
sichtigung der über die digitalen Eingänge vorgegebenen Mess-
und Pumpzyklenzeiten)
aktiv → inaktiv:
Externe normale Kalibrierung (mit Autotune, ohne Berücksichti-
gung der anlagenspezifischen Mess- und Pumpzyklenzeiten)
inaktiv → aktiv:
Nach Meas umschalten. (ZERO ist möglich, alle Trigger-Ausgänge
schalten abhängig von der Leckrate.)
aktiv → inaktiv:
Nach Standby umschalten. (ZERO ist nicht möglich, alle Trigger-
Ausgänge geben „Fail" zurück.)
aktiv:
Benutzer „Operator"
aktiv:
Benutzer „Supervisor"
aktiv:
Benutzer „Integrator"
inaktiv → aktiv: In Standby wird eine interne Kalibrierung gestartet.
In Meas wird eine externe Kalibrierung gestartet.
inaktiv → aktiv: Es wird ein neuer Zerowert gebildet.
inaktiv → aktiv:
Das interne Prüfleck wird geöffnet.
aktiv → inaktiv:
Das interne Prüfleck wird geschlossen.
inaktiv → aktiv: Das interne Prüfleck öffnen bzw. schließen.
inaktiv → aktiv:
Beim XL-Adapter wird der XL Fluss eingeschaltet.
aktiv → inaktiv:
Beim XL-Adapter wird der XL Fluss ausgeschaltet.
inaktiv → aktiv: Maschinenfaktor Kalibrierung starten
inaktiv → aktiv: Die interne Proof-Funktion starten.
inaktiv → aktiv: Die externe Proof-Funktion starten.
inaktiv → aktiv: Start bzw. Stop aktivieren.
inaktiv → aktiv:
ZERO aktualisieren bzw. einschalten
aktiv → inaktiv:
keine Funktion
inaktiv → aktiv:
Prüfleck öffnen
aktiv → inaktiv:
Prüfleck schließen
inaktiv → aktiv:
Prüfleck öffnen, wenn geschlossen, bzw. schließen, wenn offen
aktiv → inaktiv:
keine Funktion
inaktiv → aktiv:
Fluss der SL3000XL auf 3000 sccm schalten (XL-Adapter)
aktiv → inaktiv:
Fluss der SL3000XL auf 300 sccm schalten (XL-Adapter)
inaktiv → aktiv: Bestimmung des Maschinenfaktors oder des Schnüffelfaktors
inaktiv → aktiv: Kalibrierung überprüfen mit internem Prüfleck
inaktiv → aktiv: Kalibrierung überprüfen mit externem Prüfleck
inaktiv → aktiv: Umschalten zwischen Messbetrieb und Standby
inaktiv → aktiv:
Masse 4 aktivieren
aktiv → inaktiv:
Masse 2 aktivieren

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Diese Anleitung auch für:

560-300

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