Inhaltsverzeichnis
Werbung
3.2. Ein- und Ausschalten, Systemstan und BereiLSchafLSzustand bei LaB6-Systemen
der Emissionskammer auf Vorvakuumdruck. Die ODP übernimmt automatisch
das
Auspumpen
auf
Vakuumdruck, wenn der Druck niedrig
genug
ist (VorVak
(PreVac)).
Das System wird nun auf
einen
Druck
von
ca. 10-4 mbar ausgepumpL.
Dann erscheim der Text
KamVak OK
(VacSpOK) umer dem Feld
Pumpen
(Pump).
Dies bedeutet, daß
sich
der Druck in der PräparaLkarnmer innerhalb der
Grenzwerte für einen normalen Betrieb befindeL Allerdings ist an diesem Punkt
der Druck noch nicht niedrig genug, um die lonengeu.erpumpe
(IGP) einschalten
zu
können.
Wenn das System außerdem mit
einem
PenninfMeßgerät
(Option
PW6956) aus-
gerüstet ist, wanet es, bis der Druck auf 2x 10-
mbar
abgefallen isL. Die Anzeige
des Drucks erfolgt unterhalb des Tastenfeldes
Belüften (Ven!) und
außerdem in
dem Dialogfeld in der Bildschirmmitte. Im oberen Teil des Dialogfeldes
stehen
Meldungen über den Betriebszustand des Vakuumsystems. Das Dialogfeld
zeigt
nun die Meldung:
"2x
I
0-5
mbar für Einschallung 1GB noch nicht
erreicht"
"Waiting
for press
ure
of
2x
10-5
mBar
LO
allow
switching
on IGP"
Am umeren Rand des Dialogfeldes gibt es ein Tastenfeld mit der Bezeichnung
Überspr.
(TryToSkip).
Beachten Sie dieses Feld nun
nicht,
es bezieht
sich
auf
einen
Beuiebszustand, in dem die IGP bereiLS
eingeschaltet
isL.
Wenn das System nicht mit der Penning-Meßoption ausgerüstet ist, erzwingt eine
eingebaute Zeitschaltung eine Verzögerungszeit von 5 Minuten
.
Der Zeitablauf ist
im Dialogfeld
zu verfolgen.
Wenn der Druck niedrig genug ist
(oder
die Verzögerungszeit verstrichen ist),
wird die IGP automatisch eingeschalteL Dies wird in der Titelleiste des auf dem
Schirm
befindlichen
Dialogfeldes
angezeigt:
'"IGP
startet, Umgehung
Ist
offen."
"IGP
is
starting,
By-pass
valve (V6)
is
open"
Auch die Anzeige de.
Drucks
in der Emissionskammer
(abgeleitet
von Strom und
Spannung der IGP) ist nun aktiv und der Wen wird als
Pgun
in der vergrößenen
Bcdienungsgruppe
Vakuum (Vacuum)
angezeigL.
Zu diesem Zeitpunkt ist
das
Umgehungsventil immer noch offen,
so
daß beide
Vakuumpumpen
(ODP
und IGP) die Kammer und den Kathodenbereich auspum-
pen. Nach
ca.
5 Minuten überprüft eine eingebaute TestfunkLion den Vakuum
-
druck. Wenn der Druck
zu
hoch ist
(mehr
als 5xlO- 5 mbar) erscheinen die folgen
-
den Meldungen:
"IGP
aus, Abkühlung für neuen
JGP-Start"
"JGP is
off,
cooling
for retry Start
JGP"
Dies bedeutet, daß die JGP abgeschaltet ist, um der ODP
Zeit zu
lassen, den
Va-
kuumdruck zu verbessern. Nach 10 Minuten wird die JGP wieder
eingeschaltet
und
es erfOlgt eine
weitere Vakuumprüfung. Es kann
sein,
daß mehrere derartige
Zyklen
gebraucht
werden,
bevor
der richtige Vakuumdruck
erreicht
isL. Wenn
das
System es nicht
schafft,
diese
Prüfung zu bestehen, wird eine entsprechende Mel-
dung angezeigt und
es
muß
ein
Philips-Kundendiensttechniker
angeforden wer-
den.
Anderenfalls
wird das Umgehungsvemil
geschlossen
und
eine weitere
Wanezeit
von
5 Minuten
eingelegL.
Die
Meldung ist dann
:
Software-Version
4.x
"JGP startet,
Umgehung ist geschlossen."
"IGP
starting,
bypass valve
closed."
91
Werbung
Inhaltsverzeichnis
