Inhaltsverzeichnis
Werbung
6. DIE WICHTIGSTEN XL-OPTIONEN
6.4. HISTOGRAMMANALYSE (Option PW6864)
180
In diesem Abschniu wird die Histogrammanalysenfunktion in allen Einzelheiten
beschrie-
ben. Die Histogrammanalysen-Software ist als
getrenntes
Programm
(Symbol)
lieferbar,
das neben der Mikroskopsteuerung in derselben MS- Windows-Umgebung läuft.
6.4.1. Einleitung
Eine Graustufen-Histogrammdarstellung
eines
Mikroskopbildes
(das
entweder Live oder
gespeichen
sein
kann) wird aufgebaut. Nach Eichung dieses Histogramms mit Phasen von
bekannter Ordnungszahl im periodischen System kann
eine
Ordnungszahl-Interpolation
ausgefühn werden. Außerdem können bis
zu
vicr Fcnster eingestellt werden und liefern
Flächenanteile. Wenn die Farboption
(PW6852) vorhanden
ist,
sind
das Bild auf dem
lin-
ken Monitor und die Histogrammanzeige farbig
.
Das Interpolationsverfahren mit durchschnittlichen Ordnungszahlen findet
seine
Rechtfer-
tigung in der Tatsache, daß um
so
mehr Elektronen rückgestreut werden, je höher die
durchschnittliche Ordnungszahl
eines
Materials ist. Be!
einem
geeigneten
Elektronendetek-
tor
(im
allgemeinen der Rückstreuelektronendetektor)
spiegelt sich
dies im Bild in Form
unterschiedlicher Grauwene
wieder:
"weiß"
ist
ein
Hinweis auf eine hohe durchschnittliche
Ordnungszahl, während
"schwarz" relativ
niedrige durchschnittliche Ordnungszahlen
be-
deutet. Mit anderen Wonen: Für eine
bestimmte
Einstellung des Strahlstroms,
Arbeitsab-
standes und der Kontrast-/Helligkeitseinstellung des Detektors
gibt es eine eindeutige Be-
ziehung zwischen
Grauwert und durchschnittlicher Ordnungszahl.
Die Kurve, die diese Beziehung wiedergibt,
wird
in der
Eichroutine
durch ein
Polynom
zweiter Ordnung angenähen. In vielen
Situationen
ist diese Näherung
genügend genau.
Die
Genauigkeit der Interpolation ist optimal,
wenn
die Eichpunkte relativ nahe
an
den
Ord-
nungszahlen der unbekannten Phase liegen. Die Histogrammanalysenfunktion wird
als
getrenntes Softwarepaket
gelieferL
Sie
wird
jedoch
automatisch
in die Windows-Gruppe
Microscope Control
aufgenommen, die
auch
das Mikroskopsteuerprogramm
enthält.
Unter normalen Umständen wird die Histogrammanalysen-Funktion benutzt, nachdem
das
Mikroskopsteuerprogramm
gewählt
wurde und
ein
Bild mit
verschiedenen
Phase"
angefertigt wurde. Aus diesem
Grund
ist im folgenden angenommen,
daß
die
Mikroskopsteuerung läuft.
Vor der Arbeit mit der Histogrammanalyse muß man dafür
sorgen,
daß die Probe ausrei-
chend eben (vorzugsweise
poliert) ist und daß ihre Oberfläche parallel
zum
RE-Detektor
steht
(keine lokale Kippung). Ein Live-Bild, das
sich
für die Ordnungszahleichung
eignet,
muß auf dem rechten Monitor
sichtbar sein.
Das Präparat muß mindestens drei
unter-
schiedliche
Phasen (verschiedene
durchschnittliche Ordnungszahlen) aufweisen und
zwar
vorzugsweise
so,
daß die unbekannten durchschnittlichen Ordnungszahlen aus
einer
inter-
polation
zwischen
diesen bekannten Phasen ermittelt werden können. Verstärkung und
Helligkeit des Detektors
so einstellen,
daß die
sich ergebenden Videowerte
gemäß
Video-
skopanzeige zwischen "weiß"
und
"schwarz" liegen.
Auf diese Weise kann der vollständige
Grauwertebereich
ausgenutzt
werden und Sie erhalten die bestmögliche Genauigkeit.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
Werbung
Inhaltsverzeichnis
