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2.4. Bedienungsfcld: Einstcllung
(Settings)
2.4.3. Gruppe: Strahl (Beam) (für W-Systeme)
Diese Gruppe dient zum Einschalten des Heizstroms für die Kathode und der
Hochspan.
nung für die Elektronenstrahl-Erzeugung. Sie ermöglicht eine swfenlose Einstellung der
Strahlgröfk, die man möglicherweise zur Optimierung der Bildauflösung oder des Bündel-
stroms für Röntgen-Analysen brauchL Die vergrößerte Gruppe ermöglicht die Justierung
des ElektronenstrahIs, die Einstellung der Strombegrenzung für die Kathode
(richtiger
Sät-
tigungszustand) und die Feineinstellung der verwendeten
Hochspannung.
Ein (Beam ON)
Durch Anklicken dieses Markierungsfeldes wird die Hochspannung in der gewählten Höhe
eingeschaltet und das Aufheizen der Kathode gestanet. Die Funktion läßt
sich
nur dann
einschalten, wenn die Vakuumstatusmeldung
Vak OK
(Vac
OK)
angezeigt ist. Wenn der
Strahl ausgeschaltet wird, änden
sich
die Farbe des Feldes von weiß nach
grün.
Emissionsstrom
(~A)
Neben der Funktion
Ein
(Beam
ON)
wird immer der EmissionSSlrom angezeigt. Anhand
dieser
Anzeige kann
man
den Verlauf der Kathoden-Aufheizung verfolgen und die Elektro-
nenstrahlerzeugung
im Normalbetrieb überprüfen. Außerdem kann die An7.eige zur Einstel-
lung
der ordnungsgemäßen Sättigung der Kathode
herangezogen
werden. Wenn die Hoch-
spannung ausgeschaltet ist, lautet die Anzeige
HT AUS (HT
off).
Anmerkung:
Der Emissionsstrom darf 200
~A
niemals
überschreiten, da
sonst schwere
Schäden eintreten können. Wenn der Strom höher als
200
~A
ist, muß
man den Strahl ausscha:ten (Ein
(Beam ON)
anklicken) und entweder
die Vorspannung der Elektronenkanone
ändern
oder den Abstand
zwi-
schen Kathode und Wehnelt-Blende
verstellen.
Strahlgröße (Spotsize)
Dieser Regler
ermöglicht
eine
stufenlose
Änderung der Strahlgröße
(und
damit des
Strahlstroms). Der eingestellte Wen wird direkt über dem Regler (und in der Datenleiste)
angezeigt. Wenn man den Regler bedient, bewirkt
der
eingebaute Korrekturmechanismus
eine fast augenblickliche Aktualisierung der damit verbundenen Parameter (z.B
.
Verstär-
kung, Fokus, usw.). Aus diesem Grund kann es so aussehen, als ob sich das Bild sprunghaft
veränderte, wenn man die Hochspannung anders einstellt.
•
Spann_ (Acc.V)
Dieser Regler erlaubt eine stufenlose Einstellung der Beschleunigungsspannung. Der
je-
weils geltende Wert der Hochspannung wird direkt über dem Regler
(und
in der Datenlei-
ste) angezeigt. Wenn Sie den Regler bedienen, bewirken die eingebauten
Korrekturmecha-
nismen
eine fast kontinuierliche Änderung der mit
der
Hochspannung im Zusammenhang
stehenden Parameter
(z.B.
Fokus, Vorspannung der Elektronenkanone, Rasterrotation). Aus
diesem Grund kann sich das Bild manchmal abrupt verändern, wenn man die Hochspan-
nung schnell verändert.
Heizstrom (Fit Current)
Der Heizstrom der Kathode kann mit diesem Regler vorgegeben werden. Man benutzt ihn
zur
manuellen
Einstellung der Kathodensättigung. Man muß die Sättigung der Kathode
nach
einem Kathodenwechsel und nach jeder Änderung der Wehnelt-Konfiguration neu
einstellen. Außerdem wird
empfohlen,
die Sättigung in regelmäßigen Abständen
zu
über-
prüfen.
Wenn die Strom
begrenzung
für die Kathode eingestellt wird, definieren Sie
damit eine
MaximaleinsteIlung für diesen Regler. Sie können dann den Strom nicht höher
einstellen
als diese Grenze angibt,
es sei
denn, Sie hätten das Tastenfeld
Fit Lim.
ausgeschaltel
Eine
Anzeige in einer nicht
geeiChten
Einteilung von 0 bis 100, aus der Sie die Position des
Reglers für den Heizstrom
entnehmen
können, ist vorgesehen
.
Software-Version
4.x
45
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