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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 54

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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2.4.
Bcdienungsfeld:
Einstellung (Seuings)
größere
Helligkeit der
Elektronenkanone
im Bereich niedriger Beschleunigungs-
spannungen.
Allerdings kann
sie
nicht mit mehr
als
15 kV betrieben
werden.
Heizverzögerung (Warm-up
delay):
Während des Autbeizens
wird
der Heizstrom der Kalhode
stufenweise erhöht.
Die-
ser
Parameter gibt dabei die Wartezeit
zwischen
den
einzelnen
Stufen an. Das Sy-
stem berechnet
hieraus die Gesamtaufheizzeit und
zeigt sie
in einem Listenfeld
an
Ges. Aufheizzeit (Total warm-up
time):
Der
Wen der hier angezeigten
Gesamtaufheizzeit
wird ausgehend
von der obigen
Wanezeit berechnet.
Es wird empfohlen
mit
einer Gesamtaufheizzeit von
minde-
stens
5 Sekunden
zu
arbeiten.
Vorspannung (GunBias):
Der
mit diesem Feld
gewählte Serienwiderstand bestimmt
die Vorspannung des
Wehnelt-Zylinders. Die Kathodenspitze, die Wehnelt-Blende und die Anode bilden
zusammen eine
Triode,
bei
der die Wehnelt-Blende das Gitter darstellt.
Die Widerstandswerte
werden
durch
eine Zahl zwischen
I und
6
angegeben.
Bei
Stellung I ist der Wehnelt· Widerstand
am größten
und die Vorspannung daher
maximal. Der Wehnelt-Widerstand
kompensien
eine niedrigere
Emission bei
niedrigerer
Beschleunigungsspannung.
Als Prüfung
sei
angeführt, daß die Einstellung der Kathodenhalterung
(siehe
Kapi-
tel
7)
derart
sein
muß,
daß
man
bei 30 kV,
Wderstandseinstellung I,
eine gesäuig·
te Emission
von ca. 80
~A
erhält.
Als
grober
Hinweis
sei
angegeben, daß die Wi-
derstandseinstellungen in
etwa
folgendennaßen von der Beschleunigungsspannung
abhängen:
Anmerkung:
Stufe
1
2
3
4
5
6
kV
30
16
10
6
3
1
Der
neben delfi
Tastonfe:d
Ein
(Beam
ON) angegebene Emissi-
onsstrom
darf
200
~A
nicht überschreiten. Sollte dies der Fall
sein,
muß der Strahl ausgeschaltet und der Vorwiderstand auf die
niedrigste Stufe
(I) geschaltet
werden. Dann den Strahl wieder
einschalten.
Falls die Emission nun zu niedrig ist
(unter
50
~A),
kann man den Vorwiderstand in Stufen verändern,
bi,
der
Emis-
sionsstrom bei 80
~A
liegt.
Automatisch (Autobias
ON)
Dies ist
ein
Markierungsfeld. Wenn
es
die Beslätigungsmarke trägt, veränden die
Automatikfunktion
automatisch
den Wehnelt-Widerstand, wenn
sich
die
Emission
geänden hat. Auf diese Weise bleibt die Emission immer
zwischen 50
und 150
~A
.
Diese Funktion ist
sehr
nützlich, wenn man die Hochspannung häufig über weite
Bereiche änden, da
sie
die
Emission (in
Stufen) optimiert, indem
sie
durch die
Hochspannungsänderungen
venninderte oder erhöhte Emission
kompensiert.
Autosättigung (AutoSaturation):
Dieses Markicrungsfeld wird nur
angezeigt,
wenn die Option PW6863 verfügbar
ist und
bezieht sich auf die automatische
Sättigung,
bei
der die Abhängigkeit der
Emission
vom
Heizstrom
gemessen wird,
um den richtigen Sättigungswen
zu
er-
milleln.
Wenn die
Funktion gewählt
wurde,
wird sie
automatisch
aktiv, wenn
kein
Heiz-
stromgrenzwert eingestellt wurde (Fil.
Lim.
abgeblendet)
und
die Taste
Ein
Software-Version
4.x
49

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