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3.1. Ein-
und
Ausschalten und Systemstart
bei
W
-Systemen
3.1.5. Ausschalten
in
Notfällen
Das System ist gegen Stromausralle in dem Sinne gesichert,
daß die verschiedenen
Sy-
stemkomponenten
nicht beschädigt werden. Wenn ein Stromausfall während
des
Normal-
beuiebes
einuit!, gelangt
das Instrument automatisch in einen sicheren
Beuiebszu$tand.
Bei
einem
Stromausfall geschieht folgendes
:
•
Wenn das System mit
einer
Öldiffusionspumpe ausgerüstet ist, werden die
Ven-
tile
geschlossen
und die Kammer wird nicht belüftet. Die einzige Möglichkeit. die
Kammer zu öffnen,
besteht
in einem Neustart des Systems, da die Kammer wäh-
rend des SlartZyklus automatisch
belüftet
wird.
•
Wenn das System mit
einer
Turbomolekularpumpe ausgerüstet ist, belüftet
sich
die Kammer
automatisch.
Software-Version 4.x
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