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Bedienungsfeld: Einstellung - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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2.4. Bedienungsfeld: Einstellung
(Seuings)
Konfiguration
(SetGun)
Das
Konfiguration
(SetGun)-Dialogfeld umfaßt
die folgenden Elemente
Wehneltänderung (Wehnelt
changed):
Dies ist ein Markierungsfeld. Man muß
es
anklicken, wenn eine neue Kathode in-
slallien
oder die Einstellung der Kathodenhalterung
geänden
wurde
(z.B.
der Ab-
stand
zwischen
Kathode
und
Wehnelt-Blende). Ist dieses Markierungsfeld bestä-
tigt,
so
heizt das System die Kathode nicht automatisch auf,
sondern schaltet
die
Hochspannung und den Kathodenheizstrom auf Null. Damit wird eine Übersätti-
gung
der Elektronenkanone
sicher vermieden
.
HV Anode
:
Dieses
Auswahlsymbol
schaltet
im Wechsel mit
LV
Anode.
Es bezieht
sich
auf
den Typ der benutzten Anode. Die Hochspannungsanode kann auch bei niedrigen
Spannungen, d.h. über den gesamten Bereich, benutzt werden.
LV
Anode:
Dieses Auswahlsymbol muß
eingeschaltet
werden, wenn eine Niederspannungs-
anode
(die
dicker ist
als
die Hochspannungsanode) installien ist. Sie bewirkt
eine
größere
Helligkeit der Elektronenkanone im Bereich niedriger Beschleunigungs-
spannungen
.
Allerdings kann
sie
nicht mit mehr als 15 kV betrieben
werden.
Heizverzögerung
(Warm-up delay):
Während des Aufheizens wird der Kathodenheizstrom in Stufen verändert In die-
sem
Feld wird die Wartezeit
zwischen
den einzelnen Stufen angezeigt. Die Vorein-
steIlung sind
15 Sekunden, w()raus
sich
eine Gesarntaufheizzeit von mindestens
150 Sekunden für
eine
LaB6-Kathode
ergibt.
Man
sollte
dies jedoch Uberprüfen,
bevor man den Heizstrom für
eine
LaB6-Kathode einschaltet.
Ges. Aufheizzeit
(Total
warm-up
time):
Der Wen der hier
angezeigten
Gesamtaufheizzeit wird ausgehend von der
obigen
Wanezeit berechnet. Es wird empfohlen mit einer Gesarntaufheizzeit von minde-
stens
150 Sekunden zu arbeiten.
Vorspannung
(Gun
Bias):
Der mit diesem Feld
gewählte
Serienwiderstand bestimmt die Vorspannung des
Wehnelt-Zylinders.
Die LaB6-Kathodenspitze, die Wehnelt-Blende
und
die Anode
bilden
zusammen eine
Triode, bei der die Wehnelt-Blende das Gitter darstellt.
Die
Wid~rstandswene
werden durch
eine
Zahl
zwischen
I und
6
angegeben.
Bei
Stellung
I
ist der Wehnelt-Widerstand arn
größten
und die Vorspannung daher
maximal. Der Wehnelt-Widerstand kompensien eine niedrigere Emission
bei
niedrigerer Beschleunigungsspannung.
Als Prüfung
sei
angefühn, daß die
Einstellung
der Kathodenhalterung (siehe Kapi-
tel 7) derart
sein
muß, daß man bei 30 kV, Wderstandseinstellung I, eine gesättig-
te Emission von
ca.
40
~A
erhalten
muß.
Anmerkung:
Der
Emissionsstrom darf
200
~A
unter keinen Umständen über-
schreiten.
Sollte dies der
Fall sein,
muß der Strahl ausgeschaltet
und der
Vorwiderstand auf
die niedrigste Stufe
(I)
gesChaltet
werden.
Dann
schaltet
man den Strahl
wieder
ein.
Falls
die
Emission
nun
zu
niedrig ist
(unter
10
~A),
kann man den
Vor-
widerstand in
Stufen
verändern, bis der Emissionsstrom
bei 30
k
V 40
~A
beträgt.
Al
s
grober
Hinweis
sei
angegeben,
daß die
Widerstandseinstellungen in
etwa fol
-
gendermaßen von der
Beschleunigungsspannung
abhängen:
Software-Version 4.x
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