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Wartungsarbeiten - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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7. WARTUNGSARBEITEN
In diesem Abschnill werden die Warwngsarbeiten am Mikroskop, d.h. derjenige Teil der
Wartungsarbeiten an Säule
(Reinigung) und
Elektronenkanone, beschrieben, der vom Be-
nutzer ausgeführt werden
kann.
Kompliziertere Warwngsarbeiten müssen einem qualifi-
zierten
Service-Techniker übertragen werden
.
Anmerkung für LaB6-lnstrumente
Bei Instrumenten, die mit LaB6-Kathoden ausgerüstet
sind, sind
die Wartungsmöglichkei-
ten beschränkt, da bei diesen Instrumenten das Strahlrohr aus
zwei
Teilen besteht und eine
Blende enthält,
die
ein differentielles Pumpen des Elektronenkanone
und
der Präparat-
kammer zuläßt. Die Wartung des Strahlrohres muß daher einem qualifizierten
Service-
Techniker vorbehalten bleiben. Die durch den Benutzer ausführbare Wartung beschränkt
sich auf:
Abschnitte 7.1/7.2/7.3: Öffnen der Emissionskammer und Reinigung des Weh-
nelt-Zylinders und/oder Wechsel der Kathode
Abschnill 7.4: Austausch und Reinigung der Anodenkappe
Abschnitt 7.7: Austausch und Reinigung der Endlinsenblende
Abschnitt 7.8: Reinigung verschiedener Teile
Aufgrund der kleineren emittierenden Fläche der LaB6-Kathode ist diese
empfindlicher
gegen falsche Justierung. Außerdem ist die Neujustierung danach komplizierter
(zeitraubender), da der Hochvakuumzustand wieder
erreicht
werden muß, bevor man die
Elektronenkanone wieder
einschalten
kann. Dasselbe gilt für den Austausch von
Anoden-
kappen
.
A~s
diesem Grund wird empfohlen, über den gesamten Bereich der Beschleuni-
gungsspannungen mit der Hochspannungsanodenkappe zu arbeiten. Nur in Fällen, in denen
sich
alle Anwendungen auf den niederen Spannungsbereich (unter I kV) beschränken,
sollte
die Niederspannungsanode installiert werden
(siehe
Abschnitt 7.4).
Die lange Lebensdauer einer LaB6-Kathode läßt es auch zu, daß diese während der
norma-
len
routinemäßigen Wartung des Instruments ausgetauscht wird.
Bei allen Instrumenten ist
es
nötig, in folgenden
Fällen
Wartungsmaßnahmen auszuführen:
Probleme mit der Kathode: Auswechseln der Kathode, wenn der Heizdraht unter-
brochen oder die Srrahlintensität nicht
stabil
ist (siehe Abschnitt 7.3).
Probleme mit
Astigmatismus:
Wenn die Astigmatismus-Korrektur
zu groß
ist oder
sich sehr
stark
mit der kV-Einstellung des Instruments ändert, ist es
sehr
wahr-
scheinlich, daß
sich
auf einer oder mehreren Blenden oder der Innenseite des
Strahlrohrs SchmuLZ angesammelt hat. Es ist sehr wahrscheinlich, daß dieser
Schmutz von den Präparaten abstammt. Daher wird empfohlen,
zunächst
die
End-
linsenblende zu reinigen oder auszuwechseln
(siehe
Abschniu7.7).
Achtung!
Software-Version
4.x
Nach Öffnen der Präparatkammer dürfen die Innenteile nur vorsichtig
und mit Handschuhen angefaßt werden. Nicht benutzte Teile
sind
in
ge-
eigneten
Behältern
aufzubewahren
oder in Aluminiumfolie
einzupacken.
197

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