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Bedienungsfeld: Einstellung (Settings); Gruppe: Vakuum (Vacuum) (Für W-Systeme) - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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2. MlKROSKOPFUNKTIONEN
2.4. BEDIENUNGSFELD: EINSTELLUNG (SETTINGS)
In
diesem
Abschnitt wird das
Bedienungsfeld
in allen Einzelheiten beschrieben
und
jede
Funktion
erklärt.
Dabei flillt auf,
daß
bei einigen von
ihnen
ein Stern (*) steht Dieser
be-
deutet, daß die
berreffende Funktion
nicht
zur Hauptgruppe gehön. sondern erst
nach
Aus-
vergrößern
(Zoom)
<ler Gruppe zu sehen isl.
Das Bedienungsfeld Einstellung (Settings)
ist in drei Gruppen eingeteilt
und
wird, wenn
es aktiv ist, in der
Menüleiste
angegeben.
Beim normalen
Betrieb
(d.h.
beim
Präparatwech-
sel)
braucht man die
Gruppen
nicht
zu
vergrößern. Die
Gruppen,
die
zusammen im
Bedie-
nungsfeld
angezeigt
werden.
en!halLen
die GrundfunkLionen und
Paranneterregler,
während
die ausvergrößerten Gruppen
Parameter zeigen.
die nur
geiegenUich geänden werden müs-
sen (z.B. die Heizstrombegrenzung für
die
Ka!hode).
Die HaupLfunkLion der Gruppe Einstellung (Settings)
betrifft
den
Präparatwechsel (Ein-
und
Ausschalten des
Elekrronenstrahls sowie
Belüften
und Evakuieren der
Präparatkam-
mer).
1m
RouLinebeuieb
wird das
Bedienungsfeld Einstellung (Settings)
kaum benutzt,
nachdem
das Präparat ausgetauscht
und
der Elektronenstrahl wieder eingeschaltet
wurde.
2.4.1. Gruppe: Vakuum (Vacuum) (für W-Systeme)
Diese Gruppe dient zur Steuerung
des
Vakuumsystems des
Instruments.
Sie zeigt außerdem
den Vakuum
zu stand in der Präparatkammer
an.
Pumpen (Pump)
Durch Anklicken
dieses Tastenfeldes
wird
die
Elekrronik
des
Vakuumsystems eingeschaltet
und
das Evakuieren gestartel. Unterhalb
dieses
Feldes bermdet sich eine
Vakuumstatus-
meldung,
mit
der man den Verlauf
des
Auspumpzyklus
überwachen
kann.
Wenn
die Pumpe
eingeSChaltet ist, veränden sich die Farbe
des
Stawsfeldes von
weiß nach
grün.
Pumpenstatus
An
dieser
Stelle können
verschiedene
Meldungen
angezeigt werden,
die
den Zustand
des
Vakuumsysteffis wiedergeben:
Heizung (Heating):
Diese Meldung erscheint
nur während des
Startvorgangs
eines
Systems
mit Öl
diffusionspumpe
(ODP).
Sie
weist darauf
hin,
daß
die
Betriebs-
temperatur der Pumpe
noch nicht hoch
genug ist
und
daß
der
Aufheizvorgang der ODP
begonnen hal.
Das
Aufheizen dauen
ungeflihr
25
Minuten.
Danach
erscheint
die
Meldung Nicht aktiv (Idle).
Pumpt (Pumping):
Diese Meldung bedeutet, daß das
System
tatsächlich mit
dem
Auspumpen
der Kammer begonnen
hat.
Die
Dauer des
Evakuierens
ist
von
der
Größe
der
Kannmer abhängig
und
beträgt einige
Minuten.
VorVak (PreVac):
Dies zeigt an, daß
der
Vakuumzyklus
in
Gang ist Die Präparat-
kammer wird
nicht mehr von
der Rotauonspumpe,
sondern direkt von der ODP
ausgepumpt
Yak OK (Vac OK):
Dies
ist
der normale
Betriebszustand
des
Instruments.
Die
Mel-
dung bedeutet, daß der Vakuumdruck besser
als
10-4
mbar
ist. Ab
diesem
Wen kann
man den
Elektronenstrahl einschalten.
Das
Instrument
fühn den Befehl
Ein (Beam
ON)
nicht aus, wenn
Yak OK (Vac OK)
nicht erreicht ist und zeigt
dies
auf dem
Schirm an
.
Nicht aktiv (Idle)
: Dies
ist der Normalzustand eines
ODP-Systems.
Die Meldung
bedeutet,
daß
die
Öldiffusionspumpe betriebsbereit
ist,
jedoch kein Pump- oder
Belüftungsvorgang
im
Gange
ist
Die Meldung
wird auch
angezeigt,
wenn
die
Kammer
belüftet und
die
Spülzeit abgelaufen ist.
·
40
Philips
XL-RaslCrelekrronenmikroskop

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