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A.l.5. Reinigung Der Kathodenhalterung - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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224
·
A..
ANHANG
Anmerkung:
Indem man den Wehnell·Zylinder, wie
in
Schrill
3 beschrieben,
drehl und die ZenLIierung
der
Kalhode gemäß Schrill
2
prüfl,
kann die Kalhode ohne Gefahr in Richlung auf die
Wehnell-
Blende
bewegl
werden
.
5.
Schrille
2
und
3
mit
großer
Sorgfalt wiederholen. Dabei die
Linksdrehung
auf 1/4
eines
mit
Zahlen versehenen TeilsLIiches vermindern, wenn die KathodenspilZe in die
Nähe
der Blende gekommen
ist.
Es
ist
sehr
wichtig, daß die Kathode nichl mit einem Teil
der
Wehnell-B lende
in Berührung kommt.
6.
Dieses Verfahren fortsetzen,
bis
di
e
Kathodenspitze mit der Vordernäche der
Wehnelt-
Blende
in
einer
Höhe
stehL
Dies
iSl
deullich zu
sehen,
wenn
man die
Kalhod
enhalle-
rung
schräg
hält
und die Wehnelt-Blende von der Seite beLIachtet.
7.
Den Wehnell-Zylinder
(9)
bezüglich
des
Hauptteils
der Kathodenhallerung
(5)
nach
rechts verdrehen, bis die KathodenspilZC
sich
0,
15
bis 0,2
mm
unterhalb
der
Außennä-
ehe
d er
Wehnell-Blende
(10) befindet.
Dies kann man mil
Hilfe
der Skala
auf
dem Hauplteil der Kathodenhalterung
messen.
Jeder
große TeilsLIich
stelh 0,10
mm und jeder kleine 0,05 mm
dar.
Indem man den
Ring von
einer höheren auf eine
niedri
gere
Skalenzahl
dreh~
wird
die
Kathode zu-
rückgezogen.
8.
Die Kathode
nötigenfalls
nach
zen LIieren
(siehe Schrill
I).
A.1.5. Reinigung der Kathodenhalterung
a.
Wehnelt·Zylinder (Abb. A.l
, A.2,
Teil 9)
30
Minuten
lang
in
einem UILIasehall-Reinigungsgeräl in einer 1O%igen Lösung KOH
(Kaliumhydroxid)
in
Alkohol
reinigen.
2
Die Teile
gründlich erSl
mil
Lei
tun gswasser,
dann
mit
desulliertem
Wasser
sp
ül
en. Un-
ter einer
Infrarotlampe
crockn
en.
3
5
Minulen lan!; m einem
UILIaschall-Reinigungsgeräl mil Äthanol
reinigen.
4
UNer
einer Infrarotlampe
LIocknen.
b.
Wehnelt·Blende (Abb. A.2. Teil 10)
Nach
einiger
BeLIiebszeil
ist auf der
Innenseite
der
Blend
e
em
aufgedampfler Wolframfdm
(Flocken)
zu
beobachten.
Die Flocken mil
einem
in AlkohOl
geta
U
Chlen,
um
das Ende
e ines Holzstiibehens ge-
wickellen
Wallebausc
h entfernen.
2
In einem
UIlI3schallbad
mil
Älhanol
reinigen.
c. Hauptteil der Kathodenhalterung, Befestigungsring, Federscheibe und
Blendenbefestigungsring (Abb. A.2. Teile 1,6,7 und 11)
Diese Teile
werden
nach dem
selben
Verfahren,
wie
im
obigen Unlerabschnill
(a)
angege-
ben,
gereinigl,
jedoc
h
werden nur die Schrille
3
und
4 ausgeführt.
Philips
XL-RaslerelekLIonenmikroskop

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