Inhaltsverzeichnis
Werbung
6. DIE WICHTIGSTEN XL-OPTIONEN
6.2. ANAlYSEFUNKTIONEN (Optionen PW6878/PW6852)
168
Wenn
das Instrument mit einem EDX-
und/oder
WDX-DelCktor ausgerüstet ist, wird
ein
besonderes Bedienungsfeld dafür zur Verfügung
gestcllt.
Dieses Bedienungsfeld
heißt:
Analyse (Analytical)
und kann wie
gewohnt
auS dem Auswahlmenü selektiert werden
(siehe Abschnitt
2.8).
In
diesem
Bedienungsfeld können bestimmte EDX- und WDX-Funktionen gewählt werden,
die ein Eingangssignal von diesen Detcktorsystemen aufnehmen,
z.B.
als Einkanalausgabe
von einem EDX-Fenster
(Dot
Map
=
Punktkarte). Auch eine Steuerung dieser Detektoren
läßt sich über dieses Bedienungsfeld ausführen. Das Layout des Bedienungsfeldes hängt
von
der
Systemkonfiguration ab,
d.h.
ob
die Farboption (PW6852) vorhanden ist oder
nichL
Die Konfiguration des Bedienungsfeldes ist
auf
die Benutzungsbedingungen angepaßt und
enthält keine weiteren Gruppen, die ausvergrößert werden können
.
Der Mittelteil
des Be·
dienungsfeldes zeigt immer die Steuerung und den Status des Detektors
an.
6.2.1.Detektorsteuerung
Der Millelteil
zeigt
den Steuerzustand
des EDX-Fensters
und
WDX-DetekLOrs
an:
Für ein EDX·Fensler:
Hier gibt
es
ein Tastenfeld mit der Bezeichnung
ECON
und daneben ein
Feld
für
Text-
meldungen. Die Farbe des
ECON-Tastenfeldcs
gibt
den
Status
des
Fensters
wieder:
Das
Feld ist grau, wenn
das
Detektorfenster
geschlossen ist, ein grünes
Tastenfeld
bedeutet, daß
das
Detektorfenster offen ist.
Handbetätigtes EDX·Fenster
Der Fensterstatus ist
entweder
Auf
oder
Zu
.
Wenn das Fenster offen ist,
schützt
die Vakuumlogik das Instrument vor
einer
Belüftung und erscheinen
entspre-
chende Warnungen auf dem Bildschirm
.
Wenn das Fenster geschlossen und
das
vom Penning-Instrument (Zusatzausstattung, PW6956)
gemessene
Vakuum niveau
nicht
gut genug
ist,
zeigt
die
Statuszeile neben der Taste an
:
Nicht bereit
(Not
Ready).
Motorbetätigtes EDX·Fenster
Der Fensterstatus
(z.B.
für ECON 3 und
5)
kann durch die Software
gesteuert
wer-
den. Durch Anklicken des
grauen
EDX-Tastenfeldes wird
das
Detektorfenster
au-
tomatisch geöffnet:
•
Wenn
ein
Penning-Meßinstrument
(PW6956)
vorhanden ist
öffnet das
EDX-Fenster, wenn der Druck unter 2.10- 5 mbar liegt. Wenn der Druck
nicht
niedrig genug ist,
gibt
die Statuszeile an:
Nicht bereit
(Not
Ready).
•
Wenn das Penning-Instrument nicht vorhanden ist,
öffnet
das
Fenster
nach einer Verzögerung von 9 Sekunden
(wenn
der Vakuum
status gemäß
Anzeige unter der Taste
Pumpen
(Pump)
Yak OK (Vac OK)
lautet).
•
Wenn das Fenster
offen
ist,
wird
die
Tastenfeldfarbe
grün statt
grau
.
In allen Fällen
wird
der tatsächliche
StatuS des Fensters
neben dem
Steuertasten-
feld angezeigt. Statusmeldungen
sind:
Auf, Schließt
,
Zu
oder
Öffnet.
Wenn das
Mikroskop
belüftet
wird
,
wird
das motorisierte
EDX-Fenster automatisch ge-
schlossen, bevor
die tatsächliche
Belüftung beginnt.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
Werbung
Inhaltsverzeichnis
