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Strahl (Beam) - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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2.3. Funktionen der Menüleiste
2.3.3. Strahl (Beam)
Das Menü Strahl (Beam) dient
zur
Wahl der Beschleunigungsspannung und zur Wahl
der Strahlgröße. Die Voreinstellungswene für die Beschleunigungsspannungen lassen
sich
ändern.
a)
Beschleunigungsspannung
Ein Voreinstellungswen kann durch Wahl
einer
der Spannungen aus dem Menü gewählt
werden. Das letzte Menüelement ist Ändern
(Change).
Damit können Sie die Liste der
voreingestellten Wene ändern (allerdings nicht die Länge der Liste). Es erscheint ein Dia·
logfeld, in dem man eine Voreinstellung wie folgt ändern kann: Einer der Wene ist hervor·
gehoben und steht außerdem im Textfeld unter der Liste. Wenn Sie einen der anderen
Wene in der Liste anklicken,
ver~chiebt
sich
die Hervorhebung entsprechend und der neu-
gewählte Wen erscheint im Textfeld.
Änderungen der Liste werden folgendermaßen ausgefühn:
Den gewünschten Hochspannungswen in das Textfeld eintippen. Der Wen muß in
kV eingegeben werden. Ein Dezimalpunkt (kein Komma) ist
zulässig.
Wene unter I
kV werden zum Beispiel als 0.85 eingetippl.
Durch Anklicken der OK· Taste wird die Eingabe abgeschlossen und der neue Wen in
die Liste aufgenommen. Beachten Sie, daß die Wene in der Liste automatisch nach
Größe
sortiert
werden. Das Auswahlmenü verschwindel
Wenn mehr Wene veränden werden müssen, kann man direkt
einen
anderen Wen in
der Liste anklicken. Der vorherige Wert wird geändert, die Hervorhebung wird auf
den neuen Wen umgesetzt und dieser erscheint dann auch im Textfeld. Sie können
dann wieder einen neuen Wen eintippen. Auf diese Weise kann die
gesamte
Liste
ge·
änden werden, ohne daß Sie das Dialogfeld verlassen müssen.
Die Beschleunigungsspannung läßt
sich
stufenlos im Bedienungsfeld Einstellung
(Settings), ausvergrößene Bedienungsgruppe Strahl (Beam) einstellen.
b)
Strahlgr6ße
Die Strahlgröße kann entweder aus dem Menü ausgewählt oder an die Vergrößerung
ge-
koppelt werden. Die Strahlgrößen-Einstellungen sind von 1.0 bis 8.0
durchnumerien.
Nummer 1.0 ist die kleinste Strahlgröße, die das Instrument bei der gewählten Beschleuni-
gungsspannung erzeugen kann.
Die Strahlgröße wird nur als relative Zahl angegeben. Sie verdoppelt
sich
in
etwa
mit jedem
Strahlgrößenschritl. Der Strom wen des Elektronenstrahis steigt mit jedem Schritt etwa um
den Faktor 4.
Die für Abbildungen benutzten Strahlgrößen liegen
zwischen
1 und 6 (gelegentlich auch 7).
Die größeren Strahlgrößen von 7 und darüber
sind
speziell zur Erzeugung von hohen
Strahlströmen vorgesehen, die für WDX-Anwendungen benötigt werden. Der maximale
Strom wird mit einem Strahlgrößenwen von 9.9 erreicht, den Sie mit dem kontinuierlichen
Strahlgrößenregler (siehe Abschnitt 2.4.2) wählen können
.
Bei diesem Wen ist
es
kaum
möglich, noch
eine
Abbildung
zu
erhalten.
Software-Version
4.x
21

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