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o
2.4. Bedienungsfeld: Einstellung (Seuings)
U/min 60%
(RPM
60%)
:
lekularpumpe
und
gibt
(BereilSChaflsbeLTieb).
Diese Meldung
gilt
für ein System
mit
einer Turbomo-
an,
daß
diese
mit
reduzierter
Drehzahl
Wuft
o
Abkühlung
(Cooling):
Diese Meldung wird ausschließlich während des norma-
len Abkühlens eines ODP-Systems angezeigt. Sie erscheint nach
dem
Anklicken von
Aus (Shutdown) und
bedeutet, daß die Öldiffusionspumpe nicht mehr geheizt wird.
Die Rotationspumpe läuft weiter, bis die ODP genügend abgekühlt ist.
o
Aus
(Disabled):
Dies ist die nächste Meldung während des normalen Ausschalt-
vorgangs eines ODP-Systems. Sie erscheint, nachdem die ODP abgekühlt ist und die
ROlationspumpe abgestellt
wurde.
o
Abkühl. Kath. (Fil.wait)
:
Diese Meldung wird während der Abkühlzeit der Ka-
thode angezeigt, nachdem eine Belüftung befohlen wurde.
Anmerkung:
Die Fehlermeldung
"Wasserternp.
für ODP-Pumpe
zu
hoch" ("ODP pump
water temperature too
hot")
kann auf dem Schirm erscheinen, wenn die
Kühlwasserversorgung nicht ausreicht. Dank der eingebauten
Sicherheits-
schaltungen ist eine Überhitzung der Pumpe immer
ausgeschlossen.
Um
den Fehlerzustand zu beheben, muß die Kühlwasserversorgung
wieder-
hergestellt und das System völlig abgeschaltet werden. Nach einigen Mi-
nuten kann das System wieder gestartet werden (siehe Abschnitt
3).
Druckanzeige
(Nur bei TMP-Systemen, wenn die Zusatzausstattung PW6956 in-
stalliert ist)
Diese Anzeige gibt den Druck in der Präparatkammer in mbar an. Druckwerte
zwischen
10- 3 und 2.0x JC-6 m bar können gemessen und angezeigt
werden.
Belüften
(Vent)
Durch Anklicken dieses Tastenfeldes
wird
das Pumpsystem ausgeschaltet
(entweder
durch
Schließen eines Ventils oder durch Abschalten der Turbomolekularpumpe) und das Belüf-
LUngsventil geöffnet. Das Ventil wird während
einer
Zeitspanne
geöffne~
die als die
Belüf-
tungszeit (N2 purge time)
bezeichnet wird, dann wird es automatisch wieder geschlos-
sen.
Man beachte, daß das Belüften beim Xl...20 nur
zugelassen
wird, wenn der Kippwinkel
des Präparauisches auf
15°
eingestellt ist. Falls das Ventil wieder geschlossen wird, bevor
die Kammer normalen Luftdruck erreicht hat, kann man durch erneutes Anklicken von
Be-
lüften (Vent)
das Verfahren wiederholen
.
•
Belüftungszeit (N2 purge
time)
Mit diesem Regler kann man die Uinge der Zeitspanne einstellen, während der das Belüf-
LUngsventil geöffnet wird. Der erforderliche Wert
hängt
von der Größe der Präparatkammer
und
dem vorhandenen Stickstoffdruck ab. Die gewählte Zeit
(in
Minuten)
steht
direkt über
dem Regler.
•
U/min 60%
(RPM
60%)
(nur
für Turbomolekularpumpen)
Durch Anklicken dieses Tastenfeldes
wird
die Drehzahl der Turbomolekularpumpe auf ca
60% des Normalwertes reduziert. Bei diesem Wert vermindert
sich
zwar
die
Pumpleistung,
jedoch wird die Lebensdauer verlängert.
Es
wird empfohlen, diesen BereilSChaftszustand
über Nacht oder über das Wochenende
einzuschalten (d.h.
wenn die Präparatkammer nicht
regelmäßig geöffnet wird).
•
Aus (Shutdown)
(nur
für Systeme mit
Öldiffusionspumpe)
Diese Funktion dient tum regulären Abschalten des Syslems. Die Ventile werden
geschlos-
sen,
das
Tastenfeld
Vakuum
(Vacuum) auf dem Bedienungsfeld
wird gelöscht
und
die
Heizung
der Öldiffusionspumpe
wird ausgeschaltet.
Software-Version
4.x
41
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