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Bcdienungsfeld: Abbildung (Imaging) - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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2.5. Bcdienungsfeld: Abbildung (Imaging)
Nach Wahl der
Track-Funktion
(auch über die FunktionSlaSte (FI2) möglich) wird dem
Schirmbild eine grüne Grafik überlagerl. Eine Bewegung wird ausgelöst, indem man den
Mauscursor irgend wo im Bild poSitioniert und
die
linke MauslaSle drückl. Dadurch wird
der
Cursor zwischen dem äußeren und inneren grünen Kreis
festgehalten.
Durch eine Aus-
wänsbewegung (bis zum äußeren Kreis) erhöht sich die Geschwindigkeit
des
Tisches.
Durch Bewegung nach innen
(bis
zum inneren Kreis)
vermind~rt
sich die Geschwindigkeit
des Tisches.
Bei
einer gegebenen
Vergrößerung wird die kleinsunögliche Geschwindigkeit erreicht,
wenn
sich
der Cursor auf dem inneren Kreis befindet. Die Höchstgeschwindigkeit
(für
die
betreffende Vergrößerung) ist
ein
bestimmtes Vielfaches der Mindestgeschwindigkeit. Die
HÖChstgeschwindigkeit kann
eingestellt
werden und wird durch einen Verhältniswert im
Einst.
(Setup)-Dialogfeld angegeben
(Geschwindigkeit
(Track
speed)), siehe
Abb.
2.10).
Der
Voreinstellungswert ist
4
(langsam) und der Höchstwert 10
(schnell).
Die Bewegung
erfolgt
immer in Richtung der
grünen
Geraden auf das Zentrum
zu.
Sie
können den Cursor frei innerhalb des Sichtfeldes bewegen: Richtung und Geschwindigkeit
ändern
sich
entsprechend.
Anmerkung:
Wegen der Konstruktion der Motorantriebe für die Typen XL20 und
XL30 kann die Track-Funktion nicht
hysteresel<orrigiert
werden.
Die
Folge ist, daß der Tisch bei hoher Vergrößerung und niedriger Ge-
schwindigkeit
langsam
zu
reagieren scheint. Dieser Effekt wird beispiels-
weise merkbar, wenn man den Tisch bei niedriger Vergrößerung bewegt
und dann
stoppl.
Erhöht man nun die Vergrößerung und kehrt man die
Bewegungsrichtung des Tisches um, so ist am Anfang überhaupt keine
Bewegung
sichtbar.
Erst nach einiger Zeit bewegt sich das Bild
(während
dieser Zeit
wird
die Hysterese kompensiert).
Es ist möglich
,
die Track-Funktion im Übersichtsmodus
(Survey) zu
bc-
nulJ.en.
Allerdings
sind
die abgespeichenen Positionen dann weniger
ge-
nau. Auch
eine Get-Aktion
ist weniger genau, wenn sie nach Anwendung
der
Track-Funktion
ausgeführt wird. Eine zweite Get-Aktion hat dann
jedoch wieder die
gewöhnliche
Genauigkeit.
Rücks.
(Reset)
Dieses Tastenfeld bewirkt
eine
Rücksetzung der Strahl verschiebung. Man
seilte sie
einlei-
ten, bevor man
einen
Justiervorgang
startet
(Justierung, siehe Abschnitt 304 und
3.5)
oder
wenn die Strahlverschiebung ihre Grenze erreicht hat (während oder nach der
Shift-
oder
Get-Funktion) .
Zoom
Dieses Tastenfeld
schaltet
die
Zoom-Funktion
ein. Was sie im Einzelfall bewirkt, hängt von
den
Einstellungen
ab, die man in
Positionseinstellung (Position Setup)
(siehe
unten,
Abb.
2.10)
vorgenommen hat. Falls die Funktion eingeschaltet ist, ist die Strahlgröße auto-
matisch mit der Vergrößerung
gekoppelt
und die Vergrößerung steigen sich mit einer vor-
eingestellten Geschwindigkeit. Die PowerZoom-Funktion kann auch mit der FunktionslaSte
(F5)
eingeschaltet werden.
Software-Version
4.x
67

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