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1.1
Einleitung zum
XL-Rasterelektronenmikroskop
1. EINLEITUNG
1.1.
EINLEITUNG ZUM XL-RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
Dieses Handbuch ist die Bedienungsanleitung zum XL-Rasterelektronenmikroskop. Es be-
schreibt
die Belriebsweise der
Grundtypen
XL20, XL30 und XL40
Die wesentlichen Unterschiede
zwischen
den oben aufgeführten Instrumenten sind die
Größe der Präparalkammer und der eingesetzte Endlinsentyp. Außerdem bewirken die fol-
genden
Kennzeichen
eine weitere
Differenzierung:
•
Die installierte Hochvakuumpumpe: Öldiffusions- oder Turbomolekularpumpe;
•
Die Kathode: Wolfram
oder
LaB6;
•
Die Rückwand: mit oder
ohne
Montagemöglichkeit für ein WDX-Kristallspektrometer.
Jedes Instrument kann durch Einbau verschiedener Zusatzausslauungen erweitert
werden.
Möglichkeiten
sind
z.B. um
ein
RückslreU-Elektronendetektor, ein Kathodolumineszenz-
Detektor, ein EDX-Röntgenanalysesystem,
zuSlltzliche
Bildspeichereinheiten, interne
Hardware
(Graphikebene,
Videoausgangsplatine für Farbkodierung, Videoschaller,
Video-
kamera) und eine Serie von Softwareerweiterungen,
z.B.
für Messung, Histogramm-Analyse
und
ein
MehrbenulZer-VerwallUngsprogramm. Diese Optionen können auch
zu
einem spä-
teren Zeitpunkt
zum
Gerät hinzugefügt werden. Sie
sind
in diesem Handbuch beschrieben,
jedoch deutlich als Zusatzausstallung gekennzeichnet, um sie von den Teilen der Standard-
ausstallung
zu
unterscheiden. Die wichtigsten (größeren) Zusatzausstattungen
sind
in einem
getrennten Kapitel
(Kapitel 6) zusammengefaßI.
Der Haupueil dieser Anleitung
beschreibt
die
zum
Belrieb des Instruments benutzte Software. Der Haupueil der Softwarefunktionen
für die verschiedenen Instrumente ist
gleich.
Aus diesem Grund kann diese AnleilUng für
alle XL-Grundtypen benutzt werden.
Die
gesamte,
zur Steuerung des Mikroskops benutzte Software Il1uft in der Microsoft Win-
dows-Umgebung. Diese Umgebung wird
zu
dem MS-DOS-Belriebssystem hinzugeladen.
Allgemeine EigenSChaften und Befehle von MS-DOS und MS-Windows
sind
in den
zuge-
hörigen Handbüchern beschrieben. Allerdings ist es nicht nötig, daß Sie
sich
erst längere
Zeit mit dieser Umgebung vertraut machen müssen, da das Instrument beim Systemstan au-
tomatisch richtig konfiguriert wird
.
Sollten Sie
sich
jedoch für Einzelheiten von MS-DOS
und/oder MS-Windows interessieren,
so ist ein
Studium der zugehörigen Handbücher
zu
empfehlen.
Während des SystemstarlS wird
automatisch
eine Verbindung zwischen dem Pe und dem
Mikroskop
hergestellt
und die Software geladen. Auf diese Weise wird das Mikroskopsteu-
erprogramm verfügbar. Wenn Sie daneben noch andere Anwendungsprogramme ausführen
möchten, empfehlen wir Ihnen, das Handbuch von MS-Windows und Abschniu 1.3 in die-
ser
Anleitung
zu Rate zu ziehen.
Software-Version 4 .x
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