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6.1. Detektoren
6. DIE WICHTIGSTEN XL-OPTIONEN
In diesem Kapitel werden die größeren Hardware- und Softwareoptionen für XL-Elektro-
nenmikroskope beschrieben. Das Detektor-LieferprogralOm ist in Abschniu
6.1
aufgenom-
men. Dieser Abschnitt behandelt hauptsächlich die mechanischen Einbaubedingungen und
Detektoreigenschaften. Die Softwaresteuerung ist in das Hauptprogramm integrien
(siehe
Abschniu
2.3.5).
Andere Optionen
sind
größere Softwareprogramme für bestimmte Funktionen, so zum Bei-
spiel das Verwaltungsprogramm für mehrere Benutzer. Die größten Programme haben die
Form eines besonderen Programmsymbols und werden
zusammen
mit der Mikroskopsteue-
rung
in derselben Umgebung ausgefühn.
6.1. DETEKTOREN
Für die XL·Serie ist
ein
umfangreiches Detektor-Lieferprogramm verfügbar. Obwohl die
Detektoren
sehr
verschiedenartig ausgelegt
sind,
haben
sie
gemeinsam, daß
sie
vom Haupt-
programm
gesteuen
werden können.
Ihre
Anwendung und ihre wichtigsten Eigenschaften
werden hier
beschrieben.
6.1.1. Der Rückstreuelektronendetektor PW6843
Dieser Detektor ist ein aus
zwei
Segmenten bestehender Festkörper-RückslIeueleklIonen-
detektor. Er wird unten an der Endlinse montiert, um für einen maximalen Detekto",'ir-
kungsgrad
zu
sorgen.
Wenn der Detektor nicht benutzt wird, kann er in
einem
Spezialhailer
unten in der Präparatkammer untergebracht
werden.
Wegen
seiner
Montageweise bedingt
er
eine
gewisse
Einschränkung des Kippwinkelbereiehs. wenn bei
euzenlIischem
Arbeits-
~bstand
gCMbr.itet wird. Daher wird empfohlen, die Kippanschläge an den entsprechenden
Stellen anzubringen
(siehe
Abschnitt
5).
Betriebsweise:
Die
beiden
Detektorsegmenle können unabhängig voneinander geschaltet
werden.
Dies
er-
möglicht
eine
Verstärkung entweder
des
Ordnungszahlkontrasts
(A+B)
oder des Topa-
graphiekonlIasts (A-B).
Der Bwieb ist völlig in das Hauptprogramm integrien.
ACHTUNG:
Der Detektor kann leicht mechanisch beschädigt werden
.
Daher darf
seine
aktive Fläche nicht
berührt
werden.
Eigenschaften:
Der Detektor hat
ein
Aunösungsvermögen
von
besser als 0,1
D.z
bei einem Z-Wen von
20.
Bei SlIahlgrößen von
6
und darüber arbeitet
er
im TV-Modus. Die automatische KonlIaSt-
und Helligkeitseinstellung ist jedoch nicht anwendbar. Der Mindestwen der Hochspan·
nung, bei dem der Detektor noch
benutzt werden
kann, liegt je nach Präparat
zwischen
4
und
5
kV. Die maximale Detektorwirkung
wird bei einem
Arbeitsabstand
von 7,5
mm
er-
reicht.
Der
Detektor
hat
eine aktive Fläche von ca.
125 mm 2 pro Segment und
erlaubt
die
gleich-
zeitige Benutzung des RückSlIeuelektronendetektors und der EDX-Funktion
bei euzenlIi-
schem
Arbeitsabstand
.
Software-Version 4.x
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