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Reinigungsverfahren; Reinigung Von Blenden - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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7.8.
Reinigungsverfahren
7.8.
REINIGUNGSVERFAHREN
Nachslehend sind die empfohlenen Reinigungsverfahren für
Bauteile.
die im Vakuum
ar-
beiten und einer eventucllen Kontaminalion unterliegen.
aufgeführt.
Die Häufigkeit einer
nOlwendigen Reinigung wird in den meisten Fällen durch
die
Notwendigkeil bestimmt
(Bildq ualilä~
Astigmatismus).
7.8.1. Reinigung von Blenden
a) Einteilige Blenden
1
Mil einem milden
Haushalt·
$cheuermittel säubern (siehe di
e Liste
von
Reinig ungsmit-
lein
am Ende
dieses Kapitels).
Dazu
Watte
benutzen,
die
auf einen Holzstab gewickelt
wird.
2
In Leilungswasser
spülen.
3
Minuten lang in einem
Ultrasc
hall
-Reinig
ungsgerät mit einem neutralen
Reinigungs-
millel
(z.B. EXTRAN MA02*, 5
%ige
Lösung in
Wasser) reinigen.
4
5 Minulen lang in desti
ll
iertcm Wasser
abspülen.
5
In einem UILIaschall·Reinigun gsgerät 5 Minuten
lang
mil anal ysenreinem Alkohol
reinigen.
6
Mit anal ysenreinem Alkohol
abspülen.
7
Gründlich unter einer Infrarotlam
pe (15
Minuten
bis
I
Stunclc)
bei einer Temperatur
zwischen 80°C und
100°C trocknen.
8
Sauberkeit und
Schärfe
der
Blende
mit
einem
Lichun ikroskop
prüfen.
b)
Haltermontie
rte
Blenden
Eine der folgendcn Mcth odcn an
wendcn:
M eth
ode
I:
Die
Blcnde
(feslgchalten in einer Spezialpin
zeue
mil
Platinspitzen)
in cincr
sa
uberen
Gas-
flamm
e bis
zur Weißglul aufh
eizen.
Darauf
achten,
daß di
e Blcnde
nicht schmil zt oder
an
der
Pinzelle
hängen
bleibt.
Meth
ode
2:
Ein
V-förmiges
Schiffchen
aus Plalinfo lie (ca, 2
cm
lang)
an di
e Sekundärwindung eines
Transformalors
(z.B.
Schattenbcdampfungscinheit)
anschliellen und
bIS
zur
We
ißglu
t auf·
heizen.
Die
Blende einige
Sekunden
lang
auf di
e weißglühendc Folie legen.
Darauf
achten,
daß die
Blende
nicht schmil zt oder an dcr
Folie
hängen bleibt.
Methode
3:
Die
Blende
mit der
Kante
in ein
förmi
ges
Schiffchen
aus Platinfolie
von ca
. 2
cm
Länge
einlegcn. Mit einer
Spezialpinzetlc
mit PlalinspiLZen
das
Schiffchen in
e ine sa ubere Gas·
flamme hallen, bis
di
e Blende 15-30
Sekunden
lang
auf
We
ißglut aufgeheizt ist.
Methode 4:
Die
Blende
in ein V-förnl
iges
Stück
Mo lybdänro lie, das
an
die
Quellenleitungen
der Schal-
tenbedampfungseinheit an
gesc
hlossen
ist,
einsetzen. Dies
mu
ß
unter Vakuum von
1,3 x
10.
3 Pa
(\0-
5
To rr) geschehen, Die Blende
auf
hclle
Rotglut aufheizen und di esen
Zustand
30
Sekunden
aufrechterhalten. Die Blende
abkühl en lassen und von der
Folie
nehmen,
Soft
ware-
Version
4,x
215

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