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5.3.
Der Präparattisch des XL40
5.3. DER PRÄPARATTISCH DES XL40
Der
als
Grundausstattung des
XL40 geliefene
Präparattisch
wird
durch MOloren
gesteuen,
die im fnnem der Vakuumkammer montien sind
.
Ein besonderer
Schlauc
h
belüftet aus-
schließlich
die Motoren und
verhinden
deren Überhitzung im Vakuum
.
Die drei Motoren
für
x, y
und Rotation
sind
voneinander unabhängig und
vollständig
softwaregesteuen.
Das
System verfügt außerdem über einen
optischen
Positions-Meßmechanismus,
SO
daß
Posi-
tionsmessung und Positionsantrieb nicht mehr miteinander gekoppelt sind
.
Der
Meß-
mechanismus
wird automatisch
ein-
und
ausgeschaltel,
damit der
aktive Detektor kein
Screulicht
erhält,
das den
gesamten
Signalpegel
erhöhen
würde
(z.B.
fensterlose EDX-De-
lektoren oder der CL-Detektor)
.
Der
Klemmechanismus
zur Verbesserung der
TischsLabili-
tät
(für
höhere Vergrößerungen erforderlich)
wird ebenfalls von
der Software
gesteuen.
Kippung und Höhe
des
PräparalS
werden von
Hand mit den
zugehörigen
Bedienungs-
elementen
auf der
Präparalkammenür
eingestellt.
5.3.1. Bewegungsmöglichkeiten des Präparattisches
Der Präparattisch läßt Bewegungen
des PräparalS
in fünf Achsen
zu, die
in
Abb. 5.1
G
ange-
geben
sind:
Abb.
5.16
Software· Version
4.x
Rotat ion
in the
lilled plane
Y !75mm
in
Ihe plane of
- _ .
li
11
,pefpendlcu
laf
10
,-rr
...........
oo::::
Ihe
lill
axis
.
A"~il:ill~:m:\I:ll~\iI""::::a
.. ,...
X
:75 mm along
I he li lt
\
aXls
.
\
•
Z
37 mm
~/
. . -
0
~~--H.
Tilt
fange -30
10
Die Bewegungsmöglichkeiten
des
XL40-Präparattisehes
Rotation in
der
Kippebene
y
=
±
75 mm in
der
Kippebene, senkrechI
zur Kippachse
X
=
±
75
mm in
RiChtung
der Kippachse
Kippbereich
_30·
bis
+60·
153
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