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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 152

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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5.2.
Der Präparattisch des
XL30
Um
zu
verhüten,
daß das Präparat oder die Detektoren
(z.B.
der Dioden-Rückstreuelekuo-
nendetektor)
beschädigt
werden, kann die maximale Kippung unter
bestimmten
Bedingun-
gen eingeschränkt
werden. Zu diesem Zweck
sind
mehrere mechanische Anschläge für die
Kippung vorgesehen
(siehe
Abb. 5.11).
Die folgenden Anschläge für die Kippbewegung werden empfohlen:
Arbeitsabstand
Kippbereich
(0)
Positionen
10mm
-7
bis +45
E-B
bei montienem Rücksueuelekuoncn-
-7
bis
+27
E-C
Detektor
sonst
-15bis+75
F-A
5_2.3. Höheneinstellung des Präparats
Abhängig davon, welcher Präparathalter benutzt wird, kann man die Präparathöhe in der
Kammer auf verschiedene Weise verändern. Die folgenden Halter werden unterstil12L:
Die Standardhalter
auf
dem Rotations-Aufsatztisch;
Der Klemmhalter
,der
Vorkipphaher im Präparathaltersatz PW6820;
Der
Multi-Analysen-Aufsatztisch PW6830.
Die für den MulLi-Analysen-Aufsatztisch und für
einige
Halter im Probenhaltersatz mögli-
chen
HÖheneinstellungen
sind
in den Abschnitten 5.2.5, 5.2.6 bzw. 5.2.7 beschrieben.
Eine
Höhen-Feineinstellung
(über 8
mm) ist mit dem Z-Knopf
(6)
auf der
Präparatkammer-
tür
(siehe
Ahb.
S.II)
möglich. Eine Rechtsdrehung des Knopfes
bewirkt eine
Aufwäns-
bewegung
des Präparats.
5_2.4.
X, Y-
und
Rotationsregler
Diese
Bewegungen
werden
durch Drehung der Regler
(7), (8)
und
(9)
bedient. Als X
-
und
V-Bereich
stehen
jeweils
50
mm zur Verfügung. Eine Anzeige mit einer Genauigkeit
von
25
~m
ist
vorhanden.
Die Rotationsbewegung
wird
durch den Rotations-Aufsatztisch
(siehe
Abschniu
5.2.5) ermöglicht
und läuft über
360°.
Eine Anzeige mit einer Genauigkeit
von
I
°
ist vorgesehen.
5.2.5. Der Rotations-Aufsatztisch
Der abnehmbare Rotations-Aufsatztisch
ermöglicht eine
von außen bedienbare Rotation
des Präparats über
einen
Bereich von
360°
(kontinuierlich)
mit einer Anzeige in Schritten
von
\0
«9),
Abb.
5.\1). Er
ist zur Benutzung mit
auf
Stubs montienen Präparaten
vorgesc·
hen und
enthält eine Einrichtung
zur Voreinstellung der Präparathöhe.
Mit
einer
Bajonettfassung
auf
der
Grundplallc
des Aufsatztisches wird dieser auf dem
Go-
niometertisch
befestigt.
Der Antrieb für die Rotationsbewegung ist in die Montagepialle
des Goniometers
eingebaut
und
wird
über
eine
demontierbare Wellenkupplung angeschlos-
sen.
Software-Version 4.x
147

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