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Kathode Und Wehnelt-Blende Auswechseln - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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7.
WARTUNGSARBEITEN
7.3. KATHODE UND WEHNELT-BLENDE AUSWECHSELN
200
Die Kathodenhalterung
besteht aus
mehreren Teilen
(siehe
Abb. 7.1):
Die Wehnelt·Blende (Ja) mit
einer zentralen
Bohrung
(Ib).
Dieses Teil ist im oberen
Teil
des
Wehnelt·Zylinders
(2a)
mit
einer
Bajonettfassung
befestigt.
Der
obere Teil
(2a)
des
Wehnelt·Zylinders,
in dem die Schrauben (2b) angebracht
sind.
Der
mittlere Teil des
Wehnelt-Zylinders (3a),
in dem die Fassung
für
die Kathode
(4a)
angebracht
ist.
Der untere
Teil
des
Wehnelt-Zylinders
(5a)
mit
einer
eingravierten Skala
(Sb)
und
einem Pfeil
(Sc).
Achtung!
Sämtliche
oben beschriebenen
Teile befinden
sich
im Vakuum und dürfen
daher nur vorsichtig mit Handschuhen angefaßt werden. Bei Nichtbenut-
zung sind sie
in
geeigneten
Behältern unterzubringen oder in Aluminium-
folie
zu verpacken
.
Man
erhält Zugang zur
Kathodenhalterung, indem man die in den folgenden Abschnitten
beschriebenen
Arbeiten
ausführt:
7.1
7.2
Öffnen
und Schließen der
Säule
Demontage
und
Montage der
Kathodenhalterung
Phil
ips
XL-RaSlerelektronenm
ikroskop

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