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Justierung Der Elektronenkanone Und Säule Bei W- Systemen; Sältigungseinslellung Der Kalhode - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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3.4 Justierung der EleklTonenkanone und Säule bei W-Systemen
3_4_
JUSTIERUNG DER ELEKTRONENKANONE UND SÄULE BEI W-
SYSTEMEN
In diesem
Abschniu wird das Justierverfahren für EleklTonenkanone
und
Säule beschrie-
ben, d.h.
die
richtige Sättigungseinstellung für die Kathode
und
die elektronische Justie-
rung der Säule mit Hilfe der Software über das Bedienungsfeld
Justierung
(Adjustments).
3.4_1_ Sättigungseinstellung der Kathode
Wenn eine neue Kathode eingesetzt oder das System längere Zeit ausgeschaltet war, muß
die Sättigung der Kathode neu eingestellt werden, damit das Mikroskop optimal funktio-
niert.
Sie sollten dieses Verfahren
einige
Male üben,
um
damit vertraut zu werden. Sie
soll-
ten
sich nämlich
bewußt werden
,
daß es diese Möglichkeit gibt. Wenn Sie dann damit ver-
lTaut sind, können Sie
natürlich auch
die automatische Sättigungseinstellung benutzen, falls
sie als Zusatzausstallung an Ihrem Instrument vorhanden ist.
Vorprüfung
Bevor Sie mit der Sättigungseinstellung der Kathode beginnen, muß das Instrument in
ei-
nen gebrauchsfähigen Zustand versetzt werden. Es ist nicht absolut notwendig, daß dazu
ein Präparat eingesetzt wird, allerdings kann es die Diagnose erleichtern, wenn
sich
aus
ei-
nem
unbekannten Grund
ein schlechtes
Bild ergibt. Bereiten Sie das Instrument folgender-
maßen vor:
o
Das Tastenfeld
Konfiguration
(SetGun) an klicken und nachprüfen, ob die Sy-
stemkonfigurauon stimmt:
Automatisch (Autobias ON):
Ein
Automatisch
(Autobias
ON):
Aus
(falls
vorhanden)
Anode:
HV Anode
falls installiert,
sonst
LV Anode
.
Wehneltänderung (Wehnelt
changed):
Dieses Feld müßte mark;ert
sein, wenn das System nach einem Kathodenwechsel ausgepumpt wurde. Ist
dies nicht der Fall, klicken Sie es an, um alle vorher abgespeicherten
SättigungSbedingungen
zu
löschen.
OK
anklicken.
o
Menüelement
Vergr. (Magn)
anklicken, 100x
wählen.
o
Menüelement
Strahl (Beam)
anklicken, Hochspannung wählen, gewöhnlich
sind
dies 30 kV. Eine Strahlgröße wählen, die groß genug ist, so daß sich ein guter
Signalpegel ergibt, gewöhnlich Strahlgröße 5.
o
Menilelement
Raster (Scan)
anklicken, TV
-Modus
wählen.
o
Menüelement
Detektoren (Detectors)
anklicken, SE wählen.
o
Menüelement
Bildsp. (Filter)
anklicken,
Live
oder
Mittelung 4 (Average 4)
wählen.
o
Bedienungsfeld
Einstellung (Settings)
wählen, falls es sich nicht bereits auf
dem Schinn befindet.
Das Instrument ist
nun
bereit, die Sättigung kann eingestellt
werden. Dazu:
o
Kontrast (Contrast)
erst auf
null
(0) einstellen. Dann die
Helligkeit
(Brightness)
verstellen
,
bis
sich
die
schwarze
Bildschinnfarbe in dunkelgrau
verändert. Dann
Kontrast
(Contrast) auf den halben Wert von
Helligkeit
(Brightness)
einstellen.
Auf diese Weise erhalLen Sie einen brauchbaren Signal-
Software-Version
4.x
101

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