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2. MIKROSKOPFUNKTIONEN
Wenn
die Taste
erleuchtet ist und nochmals gedrückt wird, hört das Vakuum-
system sofort mit dem Pumpen auf und belüftet die Präparatkammer. Der
Belüf·
tungsprozeß wird durch keinerlei Zeitschaltung unterbrochen. Beim Stan des In·
sIruments
wird die Vakuum·Freigabetaste automatisch eingeschaltet.
3
Freigabe der Hochspannungssteuerung:
Die Taste
HIGH TENSION
drücken, um die Computersteuerung der Hochspan·
nungserzeugung freizugeben. Die Hochspannungssteuerung ist freigegeben, wenn
die Lampe
in
der Taste
leuchtet.
Wenn die Taste erleuchtet ist und nochmals
ge·
drückt wird, wird die Hochspannung
sofort
abgeschaltet. Wenn die Emissions·
kammer geöffnet wurde, wird die FreigabetaSte automatisch ausgeschaltet.
Anmerkung:
Für normalen Mikroskopbetrieb müssen beide Freigabetasten
eingeschaltet
sein.
Bei Systemstan wird die
VACUUM·Taste
au·
tomatisch eingeschaltet,
so
daß die Öldiffusionspumpe
(ODP)
ohne Verzögerung
geheizt
wird.
2.1.2. Das Bedienungspult für ein LaB6-System
Dieses Bedienungspult enthält eine Taste mehr
als
das für die W·Systeme,
das
in Abb.
3.1
dargestellt ist. Das Bedienungspult enthält Tasten zum
Ei n·
und Ausschalten
bzw.
Um·
schalten des Instruments in Bereitschaftsbelrieb und für die Freigabe der Computersteue·
rung der Vakuumfunktion und der Hochspannung.
Ein· und Ausschalten der Netzstromversorgung
Die Taste
ON
drücken, um das Instrument
einzuschalten.
Daraufhin leuchten die
rote Lampe der
OFF·Taste
und die weiße Lampe der
STANDBY·Taste.
2
Durch Drücken der
STANDBY·Taste
wird
ein
Prozeß
gestanet,
der das Mikro-
skop mit Ausnahme der IGP ausschaltet: Direkt nach Druck der Taste erscheint
ein
Dialogfeld auf dem Bildschirm, vorausgesetzt natürlich, daß das Mikroskopsteuer.
programm gerade
läuft.
Sie haben dann die Möglichkeit, entweder Abbr.
(Cancei)
(keine Umschaltung auf Bereitschaftsbetrieb),
Ja
(Yes)
(Ausschalten
des Mikroskops mit Ausnahme der IGP) oder
Nein
(No)
(Abkühlung
der ODP
abwarten und dann ausschalten)
zu
wählen. Wenn
Ja
(Yes)
gewählt
wurde,
wird
nach ca. 30 Sekunden die Slromversorgung des Systems ausgeschaltet. Innerhalb
dieser Zeitspanne kann man das Windows·Programm noch beenden.
Bei
einem
TMP·System können Sie entweder
Ja
(Yes) oder Abbr, (Cancei)
wählen.
Hinweis:
Wenn
STANDBY
gedriickt
wird, während die Mikroskopsteuer·
software
nicht
läuft, schaltet
das Instrument
nach
einer Minute
automatisch und ohne Bestätigung auf Bereitschaftsbetrieb um
.
In diesem Fall bleibt der Zustand des Instruments bewahrt, auch
wenn das Hauptprogramm nicht ausgeführt wird.
Nachdem Sie
STANDBY
gedrückt
haben, leuchten die weißen Lampen der Tasten
ON
und
OFF.
3
Die Taste
OFF
drücken, um
das
Instrument
auszuschallen. Die
weiße Lampe der
ON· Taste
leuchtet.
Achtung:
Diese Taste ist nur als Notausschalttaste
zu benutzen
I
Eine
regu·
läre Abschaltung des Mikroskops muß nach einer Systembelüf·
tung ausgeführt werden
(siehe
Abschniu
3.2).
Wenn man
das
Mikroskop mit der
OFF-Taste ausschaltet,
wird der
Bereich
der
Elektronenkanone belüftet.
Sie
müssen ein KalLStartverfahren
(3 .2)
ausführen, nachdem
Sie das
Mikroskop
wieder
eingeschal
-
tet
haben.
Phil
ips
XL·Rasterelektronenmikroskop
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