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3. INBE1RIEBNAHME DES INS1RUMENTS
3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
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In diesem Abschnitt ist beschrieben, wie Sie Ihr XL-Mikroskop
ein'
s chalten
und
in
Betrieb
nehmen
müssen.
Hier wird behandelt, wie Sie das System
starten,
welche Bedingungen für
den täglichen Betrieb gelten und wie das System abgeschaltet oder in den
Bereitschaftszu-
stand
gebracht
werden
kann.
Auch die Justierung der Elektronenkanone und die übrigen
Ju-
stierverfahren werden beschrieben und es ist
angegeben,
wie Sie Fotos anfertigen können;
Dies ist, kurz gesagt, alles, was Sie
wissen
müssen,
bevor
Sie
das
System richtig und
opti-
mal
in
Betrieb nehmen können.
Wegen der prinzipiellen Unterschiede in der Vakuumlogik, den Einstellverfahren
für die
Elektronenkanone und die Justierung für die
verschiedenen
Kathodentypen wurde dieser
Abschnitt in mehrere Unterabschnitl.e für die verschiedenen
Kathodentypen
, also nicht die
Instrumententypen, aufgeteilL Nur der Abschniu über
Abbildung
(Imaging) ist für
alle
Instrumente derselbe.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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