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Die Anode Demontieren - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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7.4. Die Anode
7.4.2. Die Anode demontieren
(siehe Abb.
7.3,
7.4)
AnodenkapPe
(1)
ausbauen
(siehe
Abschnitt 7.4 .1).
2
Das Gewindeende des
Anodenwerk1.cugs
in das Anodengehäuse
schrauben.
Das
Anodengehäuse vorsichtig
abheben.
Abb.7.4:
AusbaulEinbau der Anode mit dem zugehörigen Spezialwerkzeug
3
Mit dem Anodenwerkzeug die Anodenbasis
(3a)
im Gegenuhrzeigersinn
aus
der
Innenseite unten in der Emissionskammer herausschrauben.
4
Die Feder
(4)
und die ZenlIierbuchse
(5),
die
sich
unter der Anode befinden, her·
ausnehmen. Die Scheibe
(6)
und der
Ring
(7)
werden normalerweise
ebenfalls
ausgebaut.
5
Anode
nötigenfalls
reinigen, jedoch nicht das Anodengehäuse
.
Achtung!
Software-Vers
ion
4.x
Das
Anodengehäuse,
das
aus
mehreren Teilen besteht, ist
sehr empfind·
lich und muß daher mit Sorgfalt behandelt werden.
Es ist
werksseitig
vorjustiert. Falls
eine
Reinigung notwendig ist,
sollte
di
ese
Arbeit von
einem
Kundendien sttechniker ausgeführt
werden.
Man beachte, daß die Spezifikationswerte
nur
dann garantiert wer-
den, wenn die Justierung des Anodengehäuses von einem Philips-
Kundendiensttechniker ausgefuhrt wird
.
205

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