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Teilebezeichnung
Gasregelungssystem
GAS Controller ASSY
GAS Controller ASSY2
FEP TUBE 1/16, NEB
FEP TUBE 4 mm, DRY
FEP TUBE 1/16, DRY
POLYURETHANE TUBE, U2-4-
6X4BK
VALVE ASSY (NEB)
VALVE ASSY (DRY, HEAT)
VALVE ASSY SAGINOMIYA
FEP TUBE 6 mm, GAS
TUBE JOINT, M
TUBE JOINT, 6.4
FILTER, 2300B-SS-1/8-2U
FILTER ASSY
REGULATOR, AR10-M5BG-A-ROHS
PCB ASSY, TQ-FLOW
PCB ASSY, TQ-FLOW2
20L GAS CONTROLL ASSY
CID-Gas-Vakuumeinführungseinheit
CID VALVE ASSY
CID GAS INLET ASSY
CID GAS CAPILLARY
Lüfter
FAN-ASSY
MIDDLE CHASSIS FAN ASSY
FAN60MM ASSY
RF FAN ASSY
FILTER
Teilenummer
Satz Gasregeleinheit (für Verneblergas,
S225-12008-41
Trocknungsgas und CID-Gas, für das
LCMS-8045 CL)
Satz Gasregeleinheit (für Verneblergas,
S225-12008-42
Trocknungsgas und CID-Gas, für das
LCMS-8050 CL)
S225-14255-41
Für Verneblergas
S225-14255-42
Für Trocknungsgas
S225-14255-43
Für Trocknungsgas
S016-46021
S040-51226-01
S225-14292-41
Für Trocknungsgas und Heizgas
S221-48813-91
S225-15846-93
S225-10766-91
Zur Konvertierung vom M-Typ (Option)
S225-15849-91
Zur Konvertierung von 6,4 mm (Option)
-
S225-14042-41
Heizgasfilter
-
Für CID-Gas-Druckreduzierung
Leiterplatte (für Wartungsarbeiten des
S225-17010-42
LCMS-8045 CL (justiert), Verneblergas,
Trocknungsgas und CID-Gas)
Leiterplatte (für Wartungsarbeiten des
S225-17010-43
LCMS-8050 CL (justiert), Verneblergas,
Trocknungsgas und CID-Gas)
S225-19553-42
Satz Gasregeleinheit (für Heizgas)
S225-12103-41
S225-12131-41
CID-Gas-Einführungseinheit, komplett
S225-12131-42
Nur Kapillare und Verbindungsstücke
Hauptstromversorgung, TMP-
S225-14263-41
Kühlgebläse
S225-25694-41
Lüfter für Mittel-Chassis
S225-09853-41
Lüfter für CID-RF-Netzteil
S225-12151-41
Für das Haupt-RF-Netzteil
S042-60935-14
Nur Filtermedium
10.2 Ersatzteile
Anmerkungen
LCMS-8045
LCMS-8050
CL
CL
10
269
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