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6 Fehlerbehebung
6.2
Betriebsablauf beim automatischen Starten des
Vakuumsystems
n
126
LCMS-8045
LCMS-8050
CL
Automatischer
LED "STATUS"
Start EIN
LED "STATUS"
Leckventil schließen
CID-Gas zuführen
1 Sekunde
Drehschieberpumpe
LED "STATUS"
starten
Pirani-Vakuummeter zeigt 450 Pa oder weniger an.
Turbomolekularpumpe
LED "STATUS"
mit drei Eingängen
starten
Turbomolekular-
pumpe mit drei Eingängen
erreicht normalen Lauf
innerhalb von
15 Minuten
5 Minuten
JA
Ionenmessgerät
LED "STATUS"
leuchtet
Grün blinkend
Ionenmessgerät 6 × 10
LED "STATUS"
Vakuum "Bereit"
Grün leuchtend
Automatischer Start
abgeschlossen
War das Gerät längere Zeit ausgeschaltet, kann es länger dauern, bis das Vakuum
aufgebaut ist, sodass der "Bereit"-Zustand nicht innerhalb der vorgegebenen Zeit
erreicht wird. In diesem Fall blinkt die "STATUS"-LED an der Vorderseite des Gerätes
weiter grün. Dies weist jedoch nicht auf eine Fehlfunktion hin. Wenn der Druck
gesunken ist, wird der "Bereit"-Zustand erreicht und die "STATUS"-LED leuchtet
grün.
CL
Grün blinkend
Grün blinkend
Grün blinkend
Grün blinkend
NEIN
Turbomolekularpumpe
mit drei Eingängen
stoppen
-3
Pa
Drehschieberpumpe
anhalten
Leckventil öffnen
Leckventil schließen
LED "STATUS"
Rot blinkend
30 Sekunden
LED "STATUS"
Rot blinkend
5 Sekunden
LED "STATUS"
Rot blinkend
10 Minuten
LED "STATUS"
Rot blinkend
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