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7 Wartungsarbeiten
C
Schließen Sie die Tür des Linsensystems.
Schließen Sie die Tür des Linsensystems und verriegeln Sie sie mit der Rändelschraube.
7.5.7 Austausch des O-Rings
A
Stoppen Sie die Evakuierung und stellen Sie den Hauptschalter auf AUS.
r
172
LCMS-8045
LCMS-8050
CL
Rändelschraube
"3.2 Stopp des Geräts" S.58
CL
Tür des Linsensystems
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