Vakuumsystem - Shimadzu LCMS-8045 CL Benutzerhandbuch

2 Bezeichnung und Funktion der Teile
2.9

Vakuumsystem

Das Vakuumgehäuse besteht aus der Atmosphärendruckkammer und der ersten, zweiten,
dritten und vierten Vakuumkammer. Die Drehschieberpumpe evakuiert die erste
Vakuumkammer und den hinteren Teil der Turbomolekularpumpe mit drei Eingängen,
während eine einzelne Turbomolekularpumpe mit drei Eingängen die zweite, dritte und
vierte Vakuumkammer evakuiert.
Beide Vakuumpumpen werden von der Software LabSolution gestartet und gestoppt.
Der Druck wird von dem Pirani-Messgerät an der ersten Vakuumkammer und dem
Ionenmessgerät an der vierten Vakuumkammer gemessen.
Die ungefähren Drücke während der Messung sind unten aufgelistet: Der Analyse-
Erkennungsabschnitt wird auf einem hohen Vakuum gehalten.
• Erste Vakuumkammer (Qarray-Abschnitt):
• Zweite Vakuumkammer (Multipol-1-Abschnitt):
• Dritte Vakuumkammer (Multipol-2-Abschnitt):
• Vierte Vakuumkammer (Analyse-Erkennungseinheit): 3  10
Atmosphärischer
Druck
40
LCMS-8045 LCMS-8050
CL
Pirani-Messgerät
Erste
Dritte Vakuumkammer
Zweite
Vakuumkammer
Vakuumkammer
Turbomolekularpumpe
mit drei Eingängen
28 m 3 /h
Leckventil
Drehschieberpumpe
CL
50 bis 300 Pa (für das LCMS-8045 CL)
100 bis 300 Pa (für das LCMS-8050 CL)
(wenn die DL-Temperatur 250 °C
beträgt)
Ca. 5 Pa
(kein Vakuummessgerät
angeschlossen)
Ca. 0,1 Pa
(kein Vakuummessgerät
angeschlossen)
-3
Pa (für das LCMS-8045 CL)
6  10 -3
Pa (für das LCMS-8050 CL)
(wenn CID-Gas eingeführt wird)
Vakuummessgerät
Vierte Vakuumkammer
Innenansicht der Turbomolekularpumpe mit drei Eingängen
Zweite Dritte
Vakuum- Vakuum-
kammer
kammer
Zwischenstufe Nebenstufe
40 L/s 260 L/s
Vierte
Vakuumkammer
Hauptstufe
210 L/s