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Beziehung Messsignal - Druck - INFICON PSG550 Gebrauchsanleitung

Pirani standard gauge
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2.1
Beziehung Messsignal – Druck
Messbereich 0.61 ... 10 V
Druck p
1E+06
1E+05
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0
0.5
p = 10
gültig im Bereich
U
[V]
[mbar]
[V]
[V]
[V]
[mTorr]
wobei p Druck
tina60d1-b
(2017-10)
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0.61
Messsignal U [V]
0.778(U-c)
p
c
6.143
[µbar]
2.287
[Torr]
6.304
2.448
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)
4.0
4.5
5.0
5.5
6.0
6.5
7.0
U = c +1.286log
-5
5×10
mbar <p< 1000 mbar
U
[V]
[V]
[V]
7.5
8.0
8.5
9.0
9.5
10.0
p
10
p
c
[micron]
2.448
[Pa]
3.572
[kPa]
7.429
Pa
mbar
Torr
10.5
19

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Diese Anleitung auch für:

Psg554Psg552

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