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Anhang
Beziehung zwischen
A:
Messsignal und Druck
Umrechnungsformeln
Umrechnungskurven
Umrechnungstabelle
tina48d1-c
(2017-10)
MPG400-401.ga
1.667U-d
p = 10
p
U
[mbar]
[V]
[Torr]
[V]
[Pa]
[V]
wobei
p
Druck
U
Messsignal
c, d Konstante (abhängig
von der Druckeinheit)
Druck p
1E+04
1E+02
1E+00
1E–02
1E–04
1E–06
1E–08
0.0 0.5
1.5
2.5
Messsignal U [V]
Druck p [mbar]
<0.5
0.5 ... 1.82
1.82
5.0×10
2.0
1.0×10
2.6
1.0×10
3.2
1.0×10
3.8
1.0×10
4.4
1.0×10
5.0
1.0×10
5.6
1.0×10
6.2
6.8
7.4
8.0
8.6
8.6 ... 9.5
9.5 ... 10.5
U = c + 0.6log
⇔
c
d
6.8
11.33
6.875
11.46
5.6
9.333
gültig im Bereich
3.5
4.5
5.5
6.5
Messsignal U [ V ]
Druck p [Torr]
Messsystemfehler (Messsystemerror)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
-9
3.8×10
-8
7.5×10
-7
7.5×10
-6
7.5×10
-5
7.5×10
-4
7.5×10
-3
7.5×10
-2
7.5×10
0.1
7.5×10
1.0
0.75
10
7.5
100
75
1000
750
Messbereichsüberschreitung (overrange)
Messsystemfehler (Pirani defekt)
p
10
-9
5×10
mbar < p
<1000 mbar
-9
3.8×10
Torr < p
<750 Torr
-7
5
5×10
Pa < p
<1×10
Pa
Pa
mbar
torr
9.5
10.5
7.5
8.5
Druck p [Pa]
-9
-7
5.0×10
-9
-6
1.0×10
-8
-5
1.0×10
-7
-4
1.0×10
-6
-3
1.0×10
-5
-2
1.0×10
-4
0.1
-3
1.0
-4
10
100
1000
4
1.0×10
5
1.0×10
29
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