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4 Betrieb
4.1 Messprinzip,
Messverhalten
Gasartabhängigkeit
Zündverzögerung
tina48d1-c
(2017-10)
MPG400-401.ga
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen den Anschlüssen 3 und 5
das Messsignal zur Verfügung. (Beziehung zwischen Messsignal und Druck
→ Anhang ).
Eine Stabilisierungszeit von ≈10 Minuten ist zu beachten. Die Messröhre sollte un-
abhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben.
Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (Pirani-Messsystem und Kalt-
kathoden-Messsystem nach dem Prinzip des invertierten Magnetrons). Deren Sig-
nale sind so miteinander verknüpft, dass ein Ausgangssignal zur Verfügung steht.
Es wird die für den jeweiligen Druckbereich optimale Messkonfiguration verwendet:
Kaltkatode
5×10
mbar
-9
•
Der Pirani-Messkreis ist immer eingeschaltet
•
Der durch den Pirani-Messkreis gesteuerte Kaltkathoden-Messkreis wird erst
-2
bei Drücken p < 1×10
Der Statusausgang (Pin 6) zeigt an, in welchem Betriebszustand sich die Mess-
röhre befindet:
Druck
Lampe auf der
Messröhre
-2
p > 1×10
mbar
-2
p < 1×10
mbar
-2
p < 1×10
mbar
Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der Signalausgang
den reinen Pirani-Messwert wieder.
Der Messwert ist gasartabhängig. Die Anzeige gilt für trockene Luft, O
Für andere Gase ist sie umzurechnen (→ Anhang B).
Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben, kann für diese Fälle
ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwertes eingegeben werden
(→ des entsprechenden Messgerätes).
Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Sie
nimmt mit tieferen Drücken zu und beträgt für saubere, entgaste Messröhren
typischerweise bei:
-5
mbar ≈1 Sekunde
10
-7
mbar ≈20 Sekunden
10
-9
5×10
mbar ≈2 Minuten
Die Zündung ist ein statistischer Prozess, der bereits durch geringe Ablagerungen
auf den inneren Oberflächen stark beeinfluss werden kann.
10
mbar
-4
10
mbar
-2
mbar aktiviert
Betriebsart
Reiner Pirani-Betrieb
Kaltkathoden nicht
gezündet
Reiner Pirani-Betrieb
Kaltkathode gezündet
Kombinierter Pirani-/
Kaltkathoden- Betrieb
1000 mbar
Pirani
Pin 6
Low = 0 V
Low = 0 V
High = 15 ... 30 VDC
, CO und N
2
2
13
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