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Technische Daten - INFICON MPG400 Gebrauchsanleitung

Inverted magnetron pirani gauge
Inhaltsverzeichnis

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2 Technische Daten

6
Messbereich (Luft, N
)
2
Genauigkeit (N
)
2
Wiederholbarkeit
Gasartabhängigkeit
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
Messbereich
Beziehung Spannung-Druck
Fehlersignal
Ausgangsimpedanz
Minimale Lastimpedanz
Ansprechzeit (druckabhängig)
-6
p > 10
mbar
-8
p = 10
mbar
Identifikation der Messröhre
Status
-2
p > 10
mbar
Reiner Pirani-Betrieb
-2
p < 10
mbar
Kaltkathode nicht gezündet
Reiner Pirani-Betrieb
-2
p < 10
mbar
Kaltkathode gezündet
Kombinierter Pirani-/
Kaltkathoden- Betrieb
Lampe
Speisung
GEFAHR
Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen
werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(PELV) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern
Versorgungsspannung an der Mess-
röhre
Leistungsaufnahme
1)
Sicherung
Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur Leitungslänge
erhöht werden.
Spannung am Speisegerät bei maxi-
maler Leitungslänge
1)
INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
-9
5×10
... 1000 mbar
≈±30%
-8
im Bereich 1×10
... 100 mbar
≈±5%
-8
im Bereich 1×10
... 100 mbar
→ Anhang B
0 ... +10.5 V
1.82 ... 8.6 V
logarithmisch, 0.6 V / Dekade
(→ Anhang )
<0.5 V keine Speisung
>9.5 V Pirani-Messelement defekt
(Fadenbruch)
2×10 Ω
10 kΩ, kurzschlussfest
<10 ms
≈1000 ms
85 kΩ gegen Speisungserde
Pin 6
Low = 0 V
Low = 0 V
High = 15 ... 30 V (dc)
Hochspannung ein (LED ein)
15 ... 30 V (dc) (Rippel ≤ 1 V
≤2 W
≤1 AT
16 ... 30 V (dc) (Rippel ≤ 1 V
tina48d1-c
1)
.
)
pp
)
pp
(2017-10)
MPG400-401.ga

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