Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss Und -Steuerung; Manuelles Belüftungsventil; Elektromagnetisches Belüftungsventil Tav5 Oder Tav6 - Edwards Next730D Betriebsanleitung

3. Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe ein. Kontrollieren Sie, dass die drei
LEDs (Normal, Status und Alarm) auf dem Controller ungefähr 0,5 Sekunden lang
aufleuchten und danach erlöschen.
4. Überprüfen Sie, ob die Lager-LED aus ist.
Wenn die LEDs nicht wie erwartet aufleuchten, oder wenn die rote oder gelbe LED
wiederholt zu blinken beginnt, oder wenn die rote LED leuchtet, beachten Sie die
Informationen in der
blinkt, siehe
7.2 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung
Hinweis:
Wenn die Pumpe manuell belüftet wird, während sie mit maximaler Drehzahl läuft, und
wenn der Druck anschließend zu schnell ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpe
verkürzen. Wenn das mit der Pumpe mitgelieferte manuelle Belüftungsventil verwendet
wird, sollten Sie die Belüftung begrenzen oder das Belüftungsventil erst öffnen, wenn die
Drehzahl der Pumpe auf 50 % der maximalen Drehzahl zurückgegangen ist. Nicht von der
Vorvakuumleitung aus belüften, da dies zu Verunreinigungen führen kann. Wählen Sie
bei Entlüftung ins Vakuumsystem und Verwendung einer ölgedichteten
Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe einen Punkt oberhalb der Pumpe, um zu
verhindern, dass Öl aus der Vorvakuumleitung zurückströmt.
der Öffnung der Belüftungsdrossel bei Belüftung der Vakuumsystemkammer
Hinweise zur richtigen Bohrungsgröße des Belüftungsventils für unterschiedliche
Vakuumsystem-Volumina, damit die Belüftungsrate innerhalb der in
Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
gehalten wird.
Um das Vakuumsystem rein zu halten, wird empfohlen, die Pumpe (oder das
Vakuumsystem) bei jedem Abschalten zu belüften.
7.2.1 Manuelles Belüftungsventil
Edwards empfiehlt, das manuelle Belüftungsventil erst dann zu öffnen, nachdem die
Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist.
Ein manuelles Belüftungsventil gehört zum Lieferumfang der nEXT-Pumpe. Es ist nicht
möglich, die Geschwindigkeit des Druckanstiegs mit dem manuellen Belüftungsventil
exakt zu regeln; achten Sie deshalb darauf, das Ventil nicht zu schnell zu öffnen.
7.2.2 Elektromagnetisches Belüftungsventil TAV5 oder TAV6
Die TAV-Magnetventile sind als Zubehör erhältlich und werden entweder mit einem Aux-
Anschluss vorverkabelt oder als reine Kabeloption geliefert.
Es sind „in Ruhezustand geschlossene" und „in Ruhezustand geöffnete" Ventile
erhältlich, siehe Zubehör.
Die Belüftung kann mit einem der folgenden Mittel und gemäß dem nachfolgend
erläuterten Verfahren erfolgen:
▪ Verwenden Sie ein TAV-Belüftungsmagnetventil in der manuellen
Belüftungsventilposition.
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Betrieb
Fehlersuche auf Seite 105. Wenn die Lager-LED leuchtet oder
System zur Überwachung und Aufbereitung der Lager
Seite 82
auf Seite 117.
Tabelle: Der Durchmesser
Belüftungsgas-
auf Seite 32 dargestellten Grenzen
09/2021 - ©Edwards Limited
gibt