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Edwards nEXT730D Betriebsanleitung Seite 8

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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Liste der Abbildungen
Abbildung 1: Übersicht Modelle nEXT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Abbildung 2: Saugvermögen für nEXT730D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Abbildung 3: Saugvermögenskurven für nEXT930D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Abbildung 4: Saugvermögenskurven für nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Abbildung 5: Maßzeichnung für nEXT730-930D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Abbildung 6: Maßzeichnung für nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
der Zeit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Wasserkühlung zu vermeiden. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Abbildung 9: Kühlanforderungen für nEXT730D/930D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Abbildung 10: Kühlanforderungen für nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Schnittstelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Abbildung 13: RS485-Multidrop-Anschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Abbildung 14: Ventilanschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Abbildung 15: Typisches Pumpsystem mit einer nEXT-Pumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
Abbildung 16: Anschluss- und Bedienelemente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
Abbildung 17: Montageausrichtung für nEXT1230H. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
Abbildung 18: Montageausrichtung für nEXT1230H INV. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
Abbildung 19: Controller-Ansicht. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
Abbildung 20: Stromversorgungsanschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
Abbildung 23: Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - serielle RS232-Steuerung. . . . . . . . . . 65
Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
Abbildung 26: Anbringen der Wasserkühlung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
Abbildung 27: Serielle und parallele Steuerung - Flussdiagramm. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
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Seite 8
09/2021 - ©Edwards Limited

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