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3.
Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe ein. Kontrollieren Sie, dass die drei
LEDs (Normal, Status und Alarm) auf dem Controller ungefähr 0,5 Sekunden lang
aufleuchten und danach erlöschen.
Wenn die LEDs nicht wie erwartet aufleuchten, oder wenn die rote oder gelbe LED
wiederholt zu blinken beginnt, oder wenn die rote LED leuchtet, beachten Sie die
Informationen in der
7.2 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung
Hinweis:
Wenn die Pumpe manuell belüftet wird, während sie mit maximaler Drehzahl läuft, und
wenn der Druck anschließend zu schnell ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpe
verkürzen. Wenn das mit der Pumpe mitgelieferte manuelle Belüftungsventil verwendet
wird, sollten Sie die Belüftung begrenzen oder das Belüftungsventil erst öffnen, wenn die
Drehzahl der Pumpe auf 50 % der maximalen Drehzahl zurückgegangen ist. Nicht von der
Vorvakuumleitung aus belüften, da dies zu Verunreinigungen führen kann. Wählen Sie
bei Entlüftung ins Vakuumsystem und Verwendung einer ölgedichteten
Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe einen Punkt oberhalb der Pumpe, um zu
verhindern, dass Öl aus der Vorvakuumleitung zurückströmt.
der Öffnung der Belüftungsdrossel bei Belüftung der Vakuumsystemkammer auf Seite 75
gibt Hinweise zur richtigen Bohrungsgröße des Belüftungsventils für unterschiedliche
Vakuumsystem-Volumina, damit die Belüftungsrate innerhalb der in
Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung auf seite 27
gehalten wird.
Um das Vakuumsystem rein zu halten, wird empfohlen, die Pumpe (oder das
Vakuumsystem) bei jedem Abschalten zu belüften.
7.2.1 Manuelles Belüftungsventil
Edwards empfiehlt, das manuelle Belüftungsventil erst dann zu öffnen, nachdem die
Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist.
Ein manuelles Belüftungsventil gehört zum Lieferumfang der nEXT-Pumpe. Es ist nicht
möglich, die Geschwindigkeit des Druckanstiegs mit dem manuellen Belüftungsventil
exakt zu regeln; achten Sie deshalb darauf, das Ventil nicht zu schnell zu öffnen.
7.2.2 TAV5-Belüftungsmagnetventil
Die TAV5-Magnetventile sind als Zubehör erhältlich und werden entweder mit einem
Aux-Anschluss vorverkabelt oder als reine Kabeloption geliefert.
Es sind „in Ruhestellung geschlossene" und „in Ruhestellung geöffnete" Ventile
erhältlich, siehe Zubehör.
Die Belüftung kann mit einem der folgenden Mittel und gemäß dem nachfolgend
erläuterten Verfahren erfolgen:
▪
Verwenden Sie ein TAV5-Belüftungsmagnetventil in der manuellen
Belüftungsventilposition.
▪
Verwenden Sie ein TAV5-Belüftungsmagnetventil, das an einen geeigneten Flansch
des Vakuumsystems angeschlossen wird.
B8J200882_A - Betrieb
Fehlersuche auf seite
95.
Page 72
Tabelle: Der Durchmesser
Belüftungsgas-
dargestellten Grenzen
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