Abschalten Der Pumpe Mit Der Überwachung Über Die Parallele Schnittstelle; Parallele Überwachung; Betrieb Mit Serieller Steuerung Und Überwachung; Verzögerter Start Mit Serieller Steuerung - Edwards Next730D Betriebsanleitung
Turbomolekularpumpen
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7.3.3 Abschalten der Pumpe mit der Überwachung über die parallele Schnittstelle
WARNUNG:
Nachdem die Stromversorgung der Pumpe, ob durch einen Notfall oder beabsichtigt,
unterbrochen wurde, läuft der Rotor mit sehr hoher Drehzahl weiter. Der Rotor
verfügt über erhebliche mechanische Energie, bis er deutlich langsamer wird bzw.
zum Stillstand kommt.
VORSICHT:
Entfernen Sie den Controller erst dann von der Pumpe, wenn sich die Pumpe
vollkommen in Ruhe befindet. Die frei liegenden Elektropins können eine Gefahr
darstellen. Darüber hinaus besteht die Gefahr eines Rückschlags von der Pumpe und
der Beschädigung des Controllers.
Mit paralleler Steuerung wird der Pumpenrotor bis zum Stillstand verlangsamt.
Schalten Sie die nEXT-Pumpe ab, indem Sie den Start/Stopp-Steuereingang von der 0 V-
Steuerreferenz am Anschluss der Logik-Schnittstelle trennen.
7.3.4 Parallele Überwachung
Analogausgabe-, Normal-Signal- und Fehler-Signal-Parameter können überwacht
werden.
Siehe
Anschluss der parallelen Steuerung und Überwachung
Informationen zur Überwachung dieser Signale.
7.4 Betrieb mit serieller Steuerung und Überwachung
7.4.1 Verzögerter Start mit serieller Steuerung
Wenn Sie ein vom Motor-Controller gesteuertes TAV-Magnetventil verwenden, können
Sie es schließen, bevor Sie die nEXT-Pumpe starten. Damit hat die Vorvakuumpumpe die
Möglichkeit, den Druck im Vakuumsystem zu verringern.
Um das Belüftungsventil zu schließen, senden Sie den folgenden Befehl:
Befehl
Die Antwort hat das folgende Format:
Antwort
Hinweis:
Dieser Befehl hat Vorrang vor der aktuellen Belüftungsoption und schließt das
Belüftungsventil. Es gibt keinen Befehl zum Öffnen des Belüftungsventils, wenn jedoch ein
Stopp-Befehl an die Pumpe gesendet wird, wird die Übersteuerung gelöscht.
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