Verwandte Anleitungen für Edwards nXLi-Serie
Inhaltszusammenfassung für Edwards nXLi-Serie
- Seite 1 edwardsvacuum.com Trockenlaufende Vakuumpumpen nXLi BETRIEBSANLEITUNG A77010882_B Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Copyright-Hinweis ©Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne Vorankündigung vorgenommen werden. Wir übernehmen keine Haftung für etwaige Fehler in dieser Betriebsanleitung und geben weder ausdrückliche noch stillschweigende... -
Seite 3: Ce-Konformitätserklärung
CE-Konformitätserklärung Edwards Ltd Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Großbritannien Das folgende Produkt nXL110i 200–240 V 1 PH 50/60 HZ NW40/NW25 A77012320 nXL110i 200–240 V 1 PH 50/60 HZ NW50/NW25 A77012420 nXL200i 200–240 V 1 PH 50/60 HZ NW40/NW25 A77022320 nXL200i 200–240 V 1 PH 50/60 HZ NW50/NW25... -
Seite 4: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität
Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU-Richtlinie (EMV): Klasse A Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für Funkempfang. EU RoHS-Richtlinie: Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III: •... -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt 1. Sicherheit und Compliance........6 1.1 Definition von „Warnung“... - Seite 6 6.2.3 Automatischer Betrieb........26 6.2.4 Digital-Operator-Steuerungsmodus.
- Seite 7 Liste der Abbildungen Abbildung 1: nXLi............8 Abbildung 2: Schnittstellenschalttafel.
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Seite 8: Sicherheit Und Compliance
A77010882_B - Sicherheit und Compliance 1. Sicherheit und Compliance 1.1 Definition von „Warnung“ und „Vorsicht“ Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; Den Sicherheitsanweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist wie folgt: WARNUNG: Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden. -
Seite 9: Allgemeine Beschreibung
A77010882_B - Allgemeine Beschreibung 2. Allgemeine Beschreibung 2.1 Übersicht WARNUNG: NICHT ORDNUNGSGEMÄSSE VERWENDUNG DES GERÄTS Gefahr von Verletzungen oder Beschädigungen des Geräts. Der unsachgemäße Gebrauch des Geräts kann zu Verletzungen führen. Der Anwender ist für den sicheren Betrieb, die Installation und die Überwachung des Systems verantwortlich. Die Pumpe wird über ein Netzkabel angeschlossen. -
Seite 10: Pumpencontroller
A77010882_B - Allgemeine Beschreibung ▪ Argon ▪ Helium ▪ Butan Sie können die Pumpe zum Pumpen von Sauerstoff und Wasserdampf verwenden. Die Sauerstoffkonzentration muss geringer als 20 % (auf das Volumen bezogen) sein. Der Wasserdampf darf nicht im Inneren der Pumpe kondensieren. Wenn Sie die Pumpe zum Entfernen eines nicht aufgeführten Gases verwenden wollen, wenden Sie sich bitte an Ihren Lieferanten. -
Seite 11: Schnittstellenschalttafel
A77010882_B - Allgemeine Beschreibung Der Pumpencontroller steuert die Stromversorgung des Motors für die jeweiligen Betriebsbedingungen. Dadurch kann die Pumpe an eine einphasige Netzversorgung angeschlossen werden. Die Schnittstellenschalttafel ist am Pumpen-Controller angebracht. Die Pumpe kann wie folgt betrieben werden: ▪ manuell, mit den Tasten an der Schalttafel der Benutzerschnittstelle. Siehe Abbildung: Schnittstellenschalttafel auf Seite ▪... -
Seite 12: Automatischer Betrieb
A77010882_B - Allgemeine Beschreibung 2.5 Automatischer Betrieb Die Pumpe kann auf Automatik‑Betrieb eingestellt werden. Der automatische Betrieb wird mit dem Automatikbetrieb-Schalter an der Rückseite des Pumpensystems ausgewählt. Siehe Abbildung: nXLi-Bauteile auf Seite 8, Ziffer 7. Weitere Informationen siehe Betriebsmodi auf seite 2.6 Aux-Anschlussbuchse Ein Aux-Steuerungsanschluss an der Rückwand steuert ein optionales Einlassventil. -
Seite 13: Konfiguration Des Pumpen-Controllers
A77010882_B - Allgemeine Beschreibung Beschreibung Technische Daten Stromabgabe 500 mA Tabelle 2 Empfohlene passende Stecker Passender Anschluss-Stecker Phoenix Teile-Nr. Schraubverbindung, gerade SACC-M 8MS-4CON-M-SW Lötverbindung, gerade SACC-M 8MS-4CON-M Schraubverbindung, rechtwinklig SACC-M 8MR-4CON-M-SW Lötverbindung, rechtwinklig SACC-M 8MR-4CON-M 2.7 Konfiguration des Pumpen-Controllers Der Pumpen-Controller kann vor dem Anschluss der Pumpe an die Anwendung mit einem separaten System konfiguriert werden. -
Seite 14: Technische Daten
A77010882_B - Technische Daten 3. Technische Daten 3.1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen Tabelle 3 Betriebs- und Lagerungsbedingungen Bereich (Range) Technische Daten Umgebungstemperaturbereich (Betrieb) 5 °C bis 40 °C Umgebungs-Luftfeuchtigkeit (Betrieb) 10 % bis 90 % RH (nicht‑kondensierend) Maximale Betriebshöhe 2000 m Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -30 bis 70 °C Kontaminationsgrad... -
Seite 15: Leistung
A77010882_B - Technische Daten Abbildung 4 nXL110i Abmessungen 654 (25.75) 244 (9.61) 308 (12.13) 100 (3.94) 243 (9.57) 440 (17.32) Abbildung 5 nXL200i Abmessungen 704 (27.72) 294 (11.57) 308 (12.13) 150 (5.90) 243 (9.57) 440 (17.32) 3.2 Leistung Tabelle 5 Leistungsdaten Parameter Einheiten nXL110i... -
Seite 16: Abbildung 7 Leistungsdiagramm Nxl200I
A77010882_B - Technische Daten Parameter Einheiten nXL110i nXRL200i Maximaler Einlassdurchsatz zum Abpumpen einer 50-l-Kammer vom Atmosphärendruck Rückstrom‑Schutz Durch Abgasventil Leckdichtheit (nicht in Betrieb) mbar l/s < 1 x 10 * Die Werte für das maximale Saugvermögen wurden auf Meereshöhe erhoben. In einer Höhe, die über Meereshöhe liegt, kann die Pumpenleistung beeinträchtigt sein und die Drehzahl unter den nominellen Wert sinken. -
Seite 17: Gasen Ausgesetzte Werkstoffe
A77010882_B - Technische Daten 3.3 Gasen ausgesetzte Werkstoffe Die folgenden Werkstoffe und Bauteile sind den Gasen in der Pumpe ausgesetzt: ▪ Sphärographitguss ▪ Aluminiumlegierung ▪ Stahl ▪ Fluorelastomer (Dichtungen) ▪ PTFE (Dichtungen) 3.4 Spülgas-Spezifikation Tabelle 7 Spülgas-Spezifikation Spezifikation Referenzwerte Spülgas Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase Spülgasschnittstelle... -
Seite 18: Installation
A77010882_B - Installation 4. Installation 4.1 Sicherheit bei der Installation VORSICHT: SICHERHEITSHINWEISE Gefahr von Verletzungen oder Beschädigungen des Geräts. Befolgen Sie die Sicherheitshinweise, und treffen Sie alle erforderlichen Vorsichtsmaßnahmen. Zu den möglichen Gefahren bei trockenlaufenden Pumpsystemen gehören Elektrizität, Prozesschemikalien, Fomblin®-Öl (PFPE) und Stickstoff. ▪... -
Seite 19: Auspacken Und Überprüfen
A77010882_B - Installation 4.2 Auspacken und Überprüfen WARNUNG: BESCHÄDIGTE PUMPE Gefahr von Verletzungen oder Schäden an der Ausrüstung. Verwenden Sie die Pumpe auf keinen Fall, wenn sie beschädigt ist. Die Nichtbefolgung dieser Anweisung kann Personen- oder Geräteschäden zur Folge haben. VORSICHT: PUMPENLEBENSDAUER Gefahr von Beschädigungen des Geräts. -
Seite 20: Mechanische Installation
A77010882_B - Installation 4.3 Mechanische Installation WARNUNG: SCHWERER GEGENSTAND Verletzungsgefahr. Verwenden Sie geeignete Ausrüstung zum Heben der Pumpe. WARNUNG: STOLPERGEFAHR Gefahr von Verletzungen oder Beschädigungen des Geräts. Stellen Sie sicher, dass alle mit der Pumpe verbundenen Kabel oder Rohrleitungen sorgfältig installiert sind, um Rutsch- und Stolpergefahren sowie mögliche Beschädigungen der Kabel zu vermeiden. - Seite 21 A77010882_B - Installation VORSICHT: KONDENSATABLASS Gefahr von Beschädigungen des Geräts. Verwenden Sie eine Kondensatfalle, um zu verhindern, dass Kondensat in das System zurückläuft. Kondensat, das in das System zurückläuft, könnte die Pumpe beschädigen. Hinweis: Die Halterungen zur Sicherung der Pumpe an der Palette beim Transport können auch als Erdbebenschutz verwendet werden.
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Seite 22: Lecktest Des Systems
A77010882_B - Installation ▪ Schließen Sie die Pumpe an eine Abgasleitung an, um Geräuschentwicklung und Abgasemissionen auf ein Minimum zu begrenzen. ▪ Stellen Sie sicher, dass die an den Pumpeneinlass angeschlossene Leitung so kurz wie möglich ist. Stellen Sie sicher, dass die Leitung einen Mindestinnendurchmesser aufweist, um maximale Pumpendrehzahlen zu erreichen. -
Seite 23: Anschließen Der Stromversorgung
A77010882_B - Installation WARNUNG: INSTALLATIONSSICHERHEIT Gefahr von Stromschlägen oder Beschädigungen des Geräts. Die Elektroinstallation der Pumpe muss den vor Ort und in der jeweiligen Region geltenden gesetzlichen Bestimmungen sowie allen lokal und landesweit gültigen Sicherheitsbestimmungen genügen. WARNUNG: GEFÄHRLICHE SPANNUNG Gefahr von Stromschlägen oder Beschädigungen des Geräts. Die Logik-Schnittstelle ist für maximal 30 V PELV ausgelegt und darf nur an PELV-Schnittstellen angeschlossen werden. -
Seite 24: Anschluss Für Fernsteuerung Und Überwachung
A77010882_B - Installation 4.6.2 Anschluss für Fernsteuerung und Überwachung Um die Pumpe mit der parallelen oder seriellen Steuerung zu betreiben, muss der 15- polige D-Typ-Stecker verwendet werden. Abbildung: nXLi-Bauteile auf Seite 8, Ziffer 8. Siehe Abbildung: Logikschnittstelle auf Seite 26 bezüglich Details zu den Pins der Logikschnittstelle. -
Seite 25: Inbetriebnahme Der Pumpe
A77010882_B - Inbetriebnahme der Pumpe 5. Inbetriebnahme der Pumpe Inbetriebnahme der Pumpe: Schalten Sie die externe Stromversorgung EIN. Schalten Sie den Netzleistungsschalter (Abbildung: nXLi-Bauteile auf Seite Ziffer 8) EIN. Stellen Sie sicher, dass die Stromanzeige-LED (Abbildung: Schnittstellenschalttafel auf Seite 9, Ziffer 14) aufleuchtet. Wenden Sie sich an uns, wenn die LED nicht leuchtet. -
Seite 26: Betrieb
A77010882_B - Betrieb 6. Betrieb 6.1 Betriebssicherheit WARNUNG: BESCHÄDIGTE TEILE Stromschlaggefahr. Betreiben Sie die Pumpe nicht, wenn Teile der Gehäuse entfernt wurden oder beschädigt sind, da dies mit Stromschlaggefahr verbunden ist. WARNUNG: HINWEISE ZUR BETRIEBSSICHERHEIT Verletzungs- bzw. Lebensgefahr. Setzen Sie keinen Teil des menschlichen Körpers dem Vakuum aus, da dies zu Verletzungen oder sogar zum Tod führen kann. -
Seite 27: Betriebsmodi
A77010882_B - Betrieb Stromversorgungsnetz angeschlossen sind, das auch Wohngebäude versorgt. Zu „Gruppe 1“ gehören definitionsgemäß Geräte, die keine Funkenergie als wesentlichen Bestandteil ihres Betriebs oder Prozesses nutzen. 6.2 Betriebsmodi Die Pumpe kann wie folgt gesteuert werden: ▪ Manueller Steuerungsmodus – mit den Tasten auf der Benutzerschnittstellenschalttafel ▪... -
Seite 28: Paralleler Und Serieller Steuerungsmodus
A77010882_B - Betrieb 6.2.2 Paralleler und serieller Steuerungsmodus Die Pumpe kann über den an der Rückseite der Pumpe angebrachten 15‑poligen D‑Typ- Stecker auch per Fernzugriff gesteuert werden. Siehe Abbildung: nXLi-Bauteile auf Seite 8, Ziffer 8. Der 15‑polige D‑Typ-Stecker ist doppelt PELV‑isoliert. Wir empfehlen, galvanisch isolierte Relaiskontakte zu verwenden, um Erdungsschleifen oder unerwünschte EMV- Entladungen zu vermeiden. -
Seite 29: Digital-Operator-Steuerungsmodus
A77010882_B - Betrieb ▪ wird das Pumpensystem gestartet, sobald die Stromversorgung hergestellt wird. ▪ wird das Pumpensystem gestoppt, sobald die Stromversorgung getrennt wird. Wenn der Automatik‑Schalter auf AUS steht, können Sie das Pumpensystem über einen der Steuerungsmodi starten oder stoppen. 6.2.4 Digital-Operator-Steuerungsmodus Sie können die Pumpe über einen Digital-Operator steuern. -
Seite 30: Übergangsüberlastschutz
A77010882_B - Betrieb Drücken Sie die LO/RE-Taste, um die Steuerung mit dem Digital-Operator vorzunehmen. Die LO/RE-LED leuchtet, wenn die Steuerung über den Digital- Operator erfolgt. Drücken Sie die Taste RUN, um die Pumpe zu starten. Die Pumpe startet und beschleunigt bis zu einer Frequenz von 450 Hz. Die RUN-LED leuchtet, während die Pumpe in Betrieb ist. -
Seite 31: Ausschalten Der Pumpe
A77010882_B - Betrieb 6.4 Ausschalten der Pumpe VORSICHT: ISOLIERUNG DER PUMPENVERSORGUNG Verletzungsgefahr. Entfernen Sie die Einlassanschlüsse erst, nachdem die Pumpenrotation zum Stillstand gekommen ist und die Strom- und Stickstoffversorgung isoliert wurde. Es kann bis zu drei Minuten dauern, bis die Pumpenrotation zum vollständigen Stillstand gekommen ist. -
Seite 32: Kundendienst Und Wartung
7.2 Kundendienst Die Pumpe sollte alle 5 Jahre vom Kundendienst gewartet werden. Dazu sollte sie an ein Edwards-Kundendienstzentrum gesendet werden. Unsere Produkte werden durch ein weltweites Netz von Kundendienstzentren unterstützt. Jedes Kundendienstzentrum bietet eine große Auswahl an Optionen, darunter ▪... - Seite 33 A77010882_B - Kundendienst und Wartung ▪ Schicken Sie keine Pumpe mit montiertem Zubehör ein. Bauen Sie alle Zubehörteile ab, und bewahren Sie sie zur künftigen Verwendung auf. ▪ Die Anweisung im Rücksendeverfahren, der zufolge alle Flüssigkeiten abzulassen sind, gilt nicht für den Schmierstoff in den Ölbehältern der Pumpe. Laden Sie die aktuellen Dokumente von www.edwardsvacuum.com/HSForms/ herunter,...
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Seite 34: Fehlersuche
A77010882_B - Fehlersuche 8. Fehlersuche Zur Hilfe bei der Fehlersuche wird eine Liste von Störfällen und ihren möglichen Ursachen zusammengestellt. Wenn Sie einen Fehler nicht beheben können, wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder ein Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe. Fehler Die Pumpe läuft nicht an oder hat angehalten Ursache Die Netzsicherung ist durchgebrannt. -
Seite 35: Das Saugvermögen Ist Gering Oder Die Abpumpzeit Ist Zu Lang
A77010882_B - Fehlersuche Fehler Das Saugvermögen ist gering oder die Abpumpzeit ist zu lang. Ursache Die Anschlüsse der Leitungen haben einen zu geringen Durchmesser. Beseitigung Stellen Sie sicher, dass die Rohrleitungen einen ausreichenden Leitwert aufweisen (Verantwortung des Nutzers) und die Leistung der Pumpe nicht beeinträchtigt wird. Ursache Das System ist undicht. -
Seite 36: Lagerung
A77010882_B - Lagerung 9. Lagerung WARNUNG: GEFÄHRLICHE STOFFE Lassen Sie Öl aus der Pumpe nicht ab. Installieren Sie die Blindplatten, um die Vakuumeinlass- und -auslassöffnungen zu verschließen, damit kein Öl austreten kann. Achten Sie auf eine korrekte Etikettierung der Pumpe. Bei Fragen wenden Sie sich bitte an uns. -
Seite 37: Entsorgung
A77010882_B - Entsorgung 10. Entsorgung WARNUNG: GEFAHR VON VERUNREINIGUNGEN Risiko von toxischer Exposition und Säureverbrennungen. Verunreinigte Gegenstände ermitteln, eindämmen und sicher entsorgen. Pumpe und alle Bauteile oder Zubehörteile sicher entsorgen. Beachten Sie alle vor Ort und landesweit geltenden Sicherheits- und Umweltbestimmungen. Unsere Produkte werden über ein weltweites Netz von Kundendienstzentren betreut. -
Seite 38: Zubehör
A77010882_B - Zubehör 11. Zubehör Kontaktieren Sie uns wegen dem zur Unterstützung Ihrer Pumpe erhältlichen Zubehör. 11.1 Digital-Operator Der Digital-Operator ermöglicht die Verbindung zum Pumpen-Controller über die XLR- Anschlussbuchse auf der Schnittstellenschalttafel. Tabelle 11 Digital-Operator Beschreibung Bestellnummer Digital-Operator D37520056 11.2 Stromkabel Empfohlene Kabelsätze für regionale Anforderungen. - Seite 39 A77010882_B - Zubehör Seite 37...
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