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Scroll-Pumpen XDS35i, XDS35iC, XDS35iE und XDS35iCE
Beschreibung
Scroll-Pumpe XDS35i (auf Hochspannung eingestellt)
Scroll-Pumpe XDS35i (auf Niederspannung eingestellt) 100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 100-120 V
Scroll-Pumpe XDS35i
Chemische Scroll-Pumpe XDS35iC
Scroll-Pumpe XDS35i (ohne Gasballast)
Erweiterte Scroll-Pumpe XDS35iE
Erweiterte chemische Scroll-Pumpe XDS35iCE
Erweiterte Scroll-Pumpe XDS35iE (ohne Gasballast)
Betriebsanleitung
Stromversorgung
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
A730-01-882
Issue L
Bestellnummer
A730-YY-983
A730-YY-986
A730-01-983
A730-06-938
A730-05-983
A730-03-983
A730-08-983
A730-07-983
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Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Edwards XDS35i
Inhaltszusammenfassung für Edwards XDS35i
- Seite 1 Scroll-Pumpe XDS35i (auf Hochspannung eingestellt) 100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V A730-YY-983 Scroll-Pumpe XDS35i (auf Niederspannung eingestellt) 100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 100-120 V A730-YY-986 Scroll-Pumpe XDS35i 100-120 V, 200-230 V, 50/60 Hz – eingestellt auf 200-230 V...
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Seite 2: Konformitätserklärung
Die folgenden Produkte: Scroll-Pumpe XDS35i, 100-120 V, 200-230 V, einphasig, 50/60 Hz, auf Hochspannung eingestellt A730-YY-983 Scroll-Pumpe XDS35i, 100-120 V, 200-230 V, einphasig, 50/60 Hz, auf Niederspannung eingestellt A730-YY-986 Scroll-Pumpe XDS35i, 100-120 V, 200-230 V, einphasig, 50/60 Hz A730-01-983 Scroll-Pumpe XDS35i ohne Gasballast, 100-120 V, 200-230 V, einphasig, 50/60 Hz... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Kontrollieren und Reinigen der Einlassfilter ................ 20 Gasballastregler (falls installiert) kontrollieren und reinigen ...........21 Reinigen der Außengebläseabdeckung ................22 Auswechseln der Tip Seals ....................22 Prüfen des Motors .......................23 Fehlersuche ......................23 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite i... - Seite 4 Seite Allgemeine Ansicht ...................... 3 Leistungsdaten der XDS35i ..................... 6 Leistungsdaten der XDS35iE .................... 6 Installationszeichnung (Abmessungen in mm) ..............11 Schaltbild der Logikschnittstelle ..................18 Einlassfilter ......................21 Gasballastregler ......................22 Seite ii © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 5: Titel Der Publikation
Betriebsanleitung für das Tip Seal-Ersatzteil-Kit A730-01-840 Betriebsanleitung zum Austausch von Umwegventilen A730-01-860 Warenzeichen Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Vereinigtes Königreich. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii... - Seite 6 A730-01-882 Issue L Diese Seite bleibt frei. Seite iv © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 7: Einführung
Umfang des vorliegenden Handbuchs Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Scroll-Pumpen XDS35i, XDS35iC, XDS35iE und XDS35iCE von Edwards. Die Pumpe darf nur gemäß dem vorliegenden Handbuch verwendet werden. Lesen Sie dieses Handbuch vor Installation und Inbetriebnahme der Pumpe. -
Seite 8: Auswirkungen Der Atex-Richtlinie
Stoffe und Gemische ihre Explosionsgrenze nicht erreichen. Kategorie 3 gilt als geeignet, um eine Entzündung zu vermeiden für den unwahrscheinlichen Fall, dass eine Funktionsstörung entflammbare Werkstoffe oder Mischungen durch die Pumpe laufen lässt, während die Materialien innerhalb ihrer Explosionsgrenzen liegen. Seite 2 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 9: Beschreibung
Pumpen entflammbarer Gase finden Sie in Abschnitt 4.5, oder wenden Sie sich an Edwards für weitere Unterstützung. Der Pumpenkörper besteht aus einer Fest- und einer Umlaufspirale. Der Antrieb der Umlaufspirale erfolgt durch den Elektromotor über eine Exzenternocke an der Motorantriebswelle. Die ineinandergreifende Bewegung der Spiralen bildet fortlaufende, sichelförmige Hohlräume. -
Seite 10: Gasballastregelung
Die Pumpenspiralen sind aus eloxiertem Aluminium gefertigt. Das Motorgehäuse besteht aus Aluminium. Die Pumpenflächen, die dem gepumpten Gas ausgesetzt sind, enthalten kein Kupfer, Zink oder Kadmium. Weitere Konstruktionsmaterialien sind u. a. Fluorelastomere, Nitril, chemisch resistente Polymere, Nickel, Edelstahl und ein PTFE-Verbundwerkstoff. Seite 4 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 11: Technische Daten
(U/min.) Der Einsatz bei höherem Einlassdruck beschleunigt den Verschleiß der Tip Seal. † Die erweiterte Version ist nicht auf ein maximales Kammervolumen oder eine bestimmte Anzahl an Zyklen pro Stunde beschränkt. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5... -
Seite 12: Leistungsdaten
<10,0 Abbildung 2 - Leistungsdaten der XDS35i Hinweis: Die XDS35i kann 90 Sekunden lang mit hoher Spitzenleistung arbeiten, bevor ein thermischer Schutzalgorithmus aktiviert wird, der die Drehzahl und Pumpgeschwindigkeit reduziert. Abbildung 3 - Leistungsdaten der XDS35iE Der Stromverbrauch der erweiterten Version bei hohem Einlassdruck kann durch den Einbau eines zweiten Auslassschalldämpfers mit einem NW25-T-Stück um weitere 100 W gesenkt werden. -
Seite 13: Mechanische Daten
Tabelle 7 - Empfohlene Schutzvorrichtung der regionalen Stromversorgung Bereich Spannung Nennwerte 230 V 13 A Europa 230 V 16 A 120 V 15 A Japan 100 V 15 A 2.4.1 Stromkabel Empfohlene Kabelsätze und Sicherungen für regionale Anforderungen. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7... - Seite 14 Kabelart = SJT, 3 x 14 AWG, 300 V, 90 °C, (200 - 230 V) VW-1, max. Länge 3 m Nicht zutreffend Steckerart = NEMA, 6-15P Gerätekupplung = IEC60320 Art C19 Diese Seite bleibt frei. Seite 8 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 15: Installation
Stellen, um das Austreten gefährlicher Stoffe aus dem System und das Eindringen von Luft in das System zu verhindern. Mechanisches Hebezeug ist an der Aufhängeöse der Pumpe zu befestigen. Zum Heben der Pumpe dürfen keine losen Riemen verwendet werden. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9... -
Seite 16: Überlegungen Zur Systemkonzeption
Folgende Punkte sind bei der Konzeption des Pumpsystems zu berücksichtigen: Edwards empfiehlt die Verwendung eines Absperrventils zur Trennung der Vorvakuumleitung, damit sich die Pumpe vor dem Verpumpen kondensierbarer Dämpfe erwärmen kann oder zur Aufrechterhaltung des Vakuums, wenn die Pumpe nicht läuft. -
Seite 17: Installationszeichnung (Abmessungen In Mm)
A730-01-882 Issue L Abbildung 4 - Installationszeichnung (Abmessungen in mm) © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11... -
Seite 18: Auspacken Und Eingangsprüfung
Sorgen Sie für eine feste, ebene Aufstellfläche der Pumpe. Stellen Sie die Pumpe so auf, dass die Gasballastregelung (falls installiert) und der Betriebs-/Standby-Schalter zugänglich sind. 3.4.1 Mechanische Befestigung VORSICHT Verwenden Sie zur Befestigung bei Bedarf die vier Löcher an jeder Ecke des Pumpenfußes. Edwards empfiehlt die Verwendung von M8-Schrauben. Elektroinstallation 3.5.1 Prüfung und Konfiguration der Pumpe VORSICHT Klemmen Sie die Stromversorgung ab, bevor Sie die Spannung ändern. -
Seite 19: Anschließen Der Pumpe An Die Stromversorgung
Für eine optimale Saugleistung sollte die an den Pumpeneinlass angeschlossene Rohrleitung so kurz wie möglich sein und über einen geeigneten Innendurchmesser verfügen. Stützen Sie die Vakuumrohrleitung ab, um eine Belastung der Kupplungsstellen zu vermeiden. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13... -
Seite 20: Prüfen Des Systems Auf Dichtigkeit
Faltenbälgen sicher, dass diese für einen maximalen Nenndruck ausgelegt sind, der größer als der höchste Druck ist, der im System erzeugt werden kann. Empfohlen ist die Verwendung von Faltenbälgen von Edwards. Bringen Sie in der Leitung zwischen Vakuumsystem und Pumpe ein Einlassabsperrventil an. Dieses trennt die ... -
Seite 21: Betrieb
2. Schließen Sie ein passendes Kabel von der Stromversorgung an den Geräteeinlass auf der Pumpenseite an. 3. Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe mithilfe des Betriebs-/Standby-Schalters gemäß Abbildung 1 Ziffer 9 ein. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15... -
Seite 22: Erzielen Des Endvakuums (Mit Installiertem Gasballast)
die Inertgasspülung der Pumpe so lange eingeschaltet bleiben, wie diese Flüssigkeiten vorhanden sind. Zündfähige Flüssigkeiten könnten aufgrund von Kondensation in der Vorvakuumleitung vorhanden oder aus dem Prozess mitgerissen worden sein. Seite 16 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 23: Ferngesteuerter Betrieb Über Einen 15-Poligen D-Stecker
Hinweis: Es wird nicht empfohlen, die Pumpe dauerhaft im Verstärkungsmodus zu betreiben, da die erhöhte Belastung der Lager deren Lebensdauer beeinträchtigt. Wenden Sie sich an Edwards, wenn Sie den Verstärkungsmodus (Boost) verwenden möchten, da die Betriebsgrenzen von der jeweiligen Anwendung abhängig sind. -
Seite 24: Schaltbild Der Logikschnittstelle
24 V Brücke Brücke Brücke Leerlauf 67 % 24 V Brücke Brücke offen Der Toleranzbereich der Stromversorgung ist ± 10 %. Vergewissern Sie sich, dass alle nicht verwendeten Pins nicht angeschlossen sind. Seite 18 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 25: Wartung
Unterziehen Sie das System nach Abschluss der Installation einer Dichtheitsprüfung, und schließen Sie alle undichten Stellen, um das Austreten gefährlicher Stoffe aus dem System und das Eindringen von Luft in das System zu verhindern. Schützen Sie Dichtflächen vor Beschädigungen. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19... -
Seite 26: Wartungsplan
Pumpe kann überhitzen, wenn sie für andere als die zulässigen Zwecke genutzt wurde oder wenn sie Feuer ausgesetzt war. Sicherheits-Datenblätter für die in der Pumpe verwendeten fluorierten Stoffe sind auf Anfrage erhältlich. Wenden Sie sich hierzu an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Wartungsplan... -
Seite 27: Gasballastregler (Falls Installiert) Kontrollieren Und Reinigen
5. Drücken Sie den Regler so weit wie möglich nach unten, und drehen Sie ihn dann leicht nach rechts im Uhrzeigersinn, bis die Bajonettnocken ordnungsgemäß einrasten. 6. Drehen Sie den Gasballastregler in die erforderliche Stellung zurück. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21... -
Seite 28: Filterelement
2. Entfernen Sie mithilfe eines trockenen Tuchs und einer weichen Bürste Schmutz und Ablagerungen von der Gebläseabdeckung. Auswechseln der Tip Seals Diese Anweisung gilt für das Tip Seal-Ersatzteil-Kit (im Kit für geringfügige Wartungsarbeiten enthalten, siehe Abschnitt 7.3.5), die eingebaut werden müssen. Seite 22 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 29: Prüfen Des Motors
Prüfung von Elektrogeräten. Edwards empfiehlt einen Erdungswiderstand von unter 0,1 und einen Isolationswiderstand von über 2 M. (Referenz: EN61010-1). Wenn diese Tests für den Motor negativ ausfallen, setzen Sie sich mit Edwards in Verbindung. Fehlersuche 5.8.1 Die Pumpe läuft nicht an oder hat angehalten Die Netzsicherung ist durchgebrannt. -
Seite 30: Die Pumpe Ist Laut
Die Anschlussleitungen sind zu lang. Der Einlassfilter ist verstopft. Das System ist undicht. Der Frequenzumrichter schränkt die Stromversorgung ein. Die Pumpe befindet sich im Leerlauf. Seite 24 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 31: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie die Pumpe und alle ihre Komponenten nur unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen und Altöl, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25... - Seite 32 A730-01-882 Issue L Diese Seite bleibt frei. Seite 26 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 33: Kundendienst Und Ersatzteile
Frankreich, Großbritannien, Israel, Italien, Japan, Korea, Singapur, den USA sowie über ein weltweites Vertriebsnetz erhältlich. Die Mehrzahl dieser Unternehmen beschäftigt Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen besucht haben. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei Ihrer nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an: Modell und Teilenummer des Geräts. -
Seite 34: Magnetventile
Das Kit mit der Teilenummer A730-01-801 enthält alle zum Tauschen der Tip Seal und des Abgasventils erforderlichen Komponenten. Tip Seals sollten paarweise ausgetauscht werden, wofür nur einfache Werkzeuge erforderlich sind. Dieses Kit ist für XDS35i und XDS35iE geeignet. Das gleiche Kit ist für die gegenüber Chemikalien beständige Version der Pumpen XDS35iC und XDS35iCE unter der Teilenummer A730-08-801 erhältlich. -
Seite 35: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst
Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der... - Seite 36 edwardsvacuum.com...