Edwards nEXT series Betriebsanleitung

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Inhalt

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Inhaltsverzeichnis

Quicklinks

Beschreibung

nEXT240D

nEXT240T

nEXT300D

nEXT300T

nEXT400D

nEXT400T

Betriebsanleitung

nEXT-Turbomolekularpumpen

nEXT240, nEXT300 und nEXT400

B800-00-882

Issue D

Bestellnummer

B812XXXXX

B813XXXXX

B822XXXXX

B823XXXXX

B832XXXXX

B833XXXXX

Inhaltsverzeichnis

Inhaltszusammenfassung für Edwards nEXT series

Seite 1 B800-00-882 Issue D Betriebsanleitung nEXT-Turbomolekularpumpen nEXT240, nEXT300 und nEXT400 Beschreibung Bestellnummer nEXT240D B812XXXXX nEXT240T B813XXXXX nEXT300D B822XXXXX nEXT300T B823XXXXX nEXT400D B832XXXXX nEXT400T B833XXXXX...
Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards Limited, Crawley Business Quarter Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte*...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Anschließen der Logik-Schnittstelle an das Steuergerät des Kunden ........... 37 3.5.5 Anschließen der Stromversorgung ..................38 Anschluss für die parallele Steuerung und Überwachung ............39 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Betrieb bei hohen Temperaturen ..................67 4.9.3 Schutz vor Überdrehzahl ....................67 4.9.4 Fehler in der Stromversorgung ..................68 4.10 Ausheizen ........................ 68 Seite ii © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5 Adapter-Kit für Flanschklemme ..................89 7.4.10 Schnittstellenkabel ..................... 89 7.4.11 TIC PC Programm .......................90 Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 6 Serielle Aktivierung („Serial Enable“) – Matrix ..............65 Verhalten einer Pumpe, wenn die Stromversorgung nach einem Ausfall wieder hergestellt wird ..69 Seite iv © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7 BX-Heizmanschette .....................88 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsflansch-Adapter ............88 Belüftungsdrosseln ......................88 Belüftungsflansch-Adapter ....................89 PRX-Spülgas-Drosselventil .....................89 Adapterwerkzeug-Kit für Flanschklemme ................89 Adapteranschluss-Kit für Flanschklemme ................89 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite v Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 9: Einführung
Einführung Umfang und Definitionen Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb und Wartung der Edwards nEXT-Turbomolekularpumpen. Die Pumpe darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch.
Seite 10: Allgemeine Beschreibung
Um die nEXT-Pumpe in Betrieb zu nehmen, schließen Sie sie an Ihr eigenes Steuergerät und Ihre Stromversorgung an oder verwenden Sie den Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder den TIC Turbo Controller. Der Controller treibt den bürstenlosen Gleichstrommotor in der Pumpe an.
Seite 11: Pumpen-Controller
Sie die Leistungsgrenze auf den Höchstwert ein. Wenn die Anlaufzeit für die Anwendung keine Rolle spielt, können Sie eine niedrigere Grenze bis zu einem Mindestwert wählen (siehe Tabelle © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12: Standby-Drehzahl
Gemessene Controller-Temperatur  Das analoge Ausgangssignal bewegt sich zwischen 0 und 10 V und ist direkt proportional zum jeweiligen Systemparameter (siehe Abschnitt 2.8). Seite 4 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13: Optionen Für Automatische Belüftung
4.1.7). 1.4.5 Optionen für automatische Belüftung Ein Edwards TAV-Belüftungsventil kann direkt an den nEXT-Pumpen-Controller angeschlossen werden. Der Controller ermöglicht eine Vielzahl unterschiedlicher Belüftungsoptionen. Die Ansteuerungselektronik kann die Belüftungsrate steuern. Mithilfe dieser Funktion kann die Pumpe von der Volldrehzahl kontrolliert so belüftet werden, dass das Pumpenlager nicht beschädigt wird. Sobald die Pumpendrehzahl auf unter 50 % der Maximaldrehzahl gesunken ist, kann die Pumpe gefahrlos voll belüftet werden...
Seite 14: Parallele Steuerung Und Überwachung
B800-00-882 Issue D Die Logik-Schnittstelle kann direkt in den Edwards TIC Turbo Controller oder den TIC Turbo Instrument Controller eingesteckt werden. Sie können dann die von diesen bereitgestellten Funktionen nutzen. Alternativ kann die Logik- Schnittstelle auch an das Steuerungssystem des Kunden angeschlossen werden. Die nützlichsten Anordnungen werden in den nachfolgenden Abschnitten beschrieben.
Seite 15: Parallele Steuerung Mit Serieller Überwachung Oder Serieller Konfiguration
Kundenanwendung zugeschnitten werden können und die Pumpe mittels eines einfachen parallelen Schnittstellensystems betrieben werden kann. Für die Konfiguration der nEXT-Pumpe kann entweder ein einfaches serielles System des Kunden oder der Edwards TIC Turbo Controller bzw. Turbo Instrument Controller verwendet werden. Die TICs verfügen über eine Funktion zur Speicherung der Konfiguration der nEXT-Pumpe.
Seite 17: Technische Daten
Gase und Stoffe bildet. WARNUNG Überschreiten Sie nicht den maximalen kontinuierlichen Betriebsdruck. Dies kann zu gefährlichen Rotortemperaturen führen und die Lebensdauer der Pumpe verkürzen. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 18: Technische Daten - Next 240-Pumpen
⅛ ⅛ ⅛ Spülanschluss "-BSPP- "-BSPP- "-BSPP- "-BSPP- Rohrgewinde Rohrgewinde Rohrgewinde Rohrgewinde Zwischenstufen-Anschluss DN25KF DN25KF DN25KF DN25KF Rootspumpen-Anschluss DN25KF DN25KF DN25KF DN25KF Seite 10 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Technische Daten - Next 300-Pumpen
13 l/s 13 l/s 13 l/s 13 l/s 13 l/s 13 l/s 13 l/s 11 l/s 11 l/s 11 l/s 11 l/s © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 20: Technische Daten - Next 400-Pumpen
Enddruck 48 Stunden nach Ausheizen bei der CF-Version und ohne Ausheizen bei der ISO-Version mit zweistufiger Drehschieber-Vorvakuumpumpe. Hinweis: Angegebenes Saugvermögen ohne Ansaugsieb. Seite 12 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21: Technische Daten - Next-Pumpen
3.9. Oberhalb dieser Druckwerte fällt die Drehzahl unter die Nenndrehzahl ab. † Kühlwassertemperatur 15 °C bei einer Durchflussrate von 30 l hr © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 22: Next240-Leistungskurve
B800-00-882 Issue D Abbildung 1 - nEXT240-Leistungskurve Einlassdruck (mbar) Abbildung 2 - nEXT300-Leistungskurve Einlassdruck (mbar) Seite 14 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Next400-Leistungskurve
B800-00-882 Issue D Abbildung 3 - nEXT400-Leistungskurve Einlassdruck (mbar) © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24: Next 240-Abmessungen (Mm)
B800-00-882 Issue D Abbildung 4 - nEXT 240-Abmessungen (mm) Seite 16 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 25 10. Gehäusespülanschluss 4. Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß und 11. Elektrische Antriebseinheit Lüftermontagevorrichtungen 12. Gehäusebelüftungsanschluss ⅛" BSP 5. Rootspumpenanschluss B 13. Gehäusebelüftung 6. Zwischenstufen-Anschluss © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 26: Next 300-Abmessungen (Mm)
B800-00-882 Issue D Abbildung 5 - nEXT 300-Abmessungen (mm) Seite 18 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 27 10. Gehäusespülanschluss 4. Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß und 11. Elektrische Antriebseinheit Lüftermontagevorrichtungen 12. Gehäusebelüftungsanschluss ⅛" BSP 5. Rootspumpenanschluss B 13. Gehäusebelüftung 6. Zwischenstufen-Anschluss © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28: Next 400-Abmessungen (Mm)
B800-00-882 Issue D Abbildung 6 - nEXT 400-Abmessungen (mm) Seite 20 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29 10. Gehäusespülanschluss 4. Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß und 11. Elektrische Antriebseinheit Lüftermontagevorrichtungen 12. Gehäusebelüftungsanschluss ⅛" BSP 5. Rootspumpenanschluss B 13. Gehäusebelüftung 6. Zwischenstufen-Anschluss © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 30: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
Abbildung 7 Abbildung 7 - Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften: Druck über der Zeit (Pumpe läuft anfangs mit voller Drehzahl) Zeit (s) Seite 22 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31: Spülgas-Spezifikation
Stähle, O-Ringe aus Fluorelastomer und Nitril, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Magnete aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, kohlefaserverstärktes Epoxidharz, flammhemmendes Polypropylen, Polyamid, PVC, Titan, Silizium, Torlon und Keramik. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 32: Elektrische Daten
Wenn die nEXT-Pumpe mit einem Edwards TIC gesteuert wird, beachten Sie, dass es verschiedene Varianten gibt. Wenden Sie sich an Edwards, um festzulegen, welche die für Ihre Anwendung am besten geeignete Variante ist. Anschluss der Logik-Schnittstelle Die nEXT-Pumpen haben am Ende des Kabels der Logik-Schnittstelle einen 15-poligen Anschluss für die Logik- Schnittstelle.
Seite 33 < 0,8 V DC Stromaufnahme 20 mA) Stromwert 20 mA bis 0 V Nennspannungswert 28,8 V DC maximale externe Pull-up-Spannung Gegenstück des Anschlusses gehört nicht zum Lieferumfang. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 34: Pin-Belegung Am Anschluss Der Logik-Schnittstelle
Logisch niedrig, wenn Pumpendrehzahl auf Normaldrehzahl oder darüber. 8, 13, 14 Stromversorgung: 0 V 1, 6, 11 Stromversorgung: 24 bis 48 V Positiv Seite 26 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 35: Schnittstellenschaltungen Für Next-Turbopumpen-Controller
FAIL (& RS232 TX) AUSGANG STANDBY* (& RS232 RX) (RS232 TX &) FAIL RS232/RS485-SCHALTER RS232/RS485-SCHALTER IN RS232-POSITION IN RS232-POSITION RS485-SCHNITTSTELLE RS232/RS485-SCHALTER IN RS485-POSITION © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 36: Anschlussbuchse Des Controllers
500 mA Abbildung 9 - Controller-Anschluss mit Angabe der Pinnummern Pin-Nr. Signal Polarität 24 V DC Ausgang Baugruppenträger 24 V DC Rtn Seite 28 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Anzeige-Leds
5 °C bis 35 °C Umgebungs-Luftfeuchtigkeit (Betrieb) 10 bis 90 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend) Maximale Betriebshöhe 3000 m Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -30 °C bis 70 °C © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 39: Installation
Anschluss (24 V) – zum Antrieb des Zubehörs von der Buchse des  Controllers aus Ansaugfilter (nur montiert am Zwischenstufen- und Rootspum-  penanschluss DN25KF) © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 40: Typische Installation
Steuergerät verbunden wird und bevor die Stromversorgung angeschlossen wird. Damit wird sichergestellt, dass die Pumpe nicht versehentlich in Betrieb gehen und Personen verletzen kann. Edwards empfiehlt, das System nach Abschluss der Installation auf Lecks zu prüfen. Seite 32 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Seite 41: Typisches Pumpsystem Mit Einer Next-Pumpe
14. Luftkühler 6. Ventil der Vorvakuumpumpe 15. PRX-Spülgas-Drosselventil 7. Vakuum-Messgerät 16. Geregelte Spülgasversorgung 8. Faltenbälge 17. WCX-Wasserkühler und Anschlüsse 9. Adsorptionsfalle 10. Drehschieber-Vorvakuumpumpe © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 42: Ansaugsieb (Nur Bei Cf Werkseitig Montiert)
Ihre Finger gleichmäßig rund um den Rand des Siebs und drücken Sie es fest nach unten. Wenn die Angeln noch nicht korrekt sitzen, müssen sie mit Hilfe eines geeigneten Werkzeugs, mit dem sie in die korrekte Position gedrückt werden, in die Arretiernut im Hochvakuumflansch eingerastet werden. Für Pumpen mit ISO-Flanschen liefert Edwards eine Kombination aus Ansaugsieb/O-Ring mit Zentrier- und Außenring.
Seite 43: Montage Über Den Pumpenfuß
Wenn die Pumpe einen ISO-Flansch hat, verwenden Sie die zum Lieferumfang der Pumpe gehörende  Kombination aus Ansaugsieb/O-Ring mit Zentrier- und Außenring von Edwards sowie mindestens vier Flanschklemmen (die jeweils mit einem Drehmoment von 30 Nm angezogen sind), um den Hochvakuumflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden.
Seite 44: Vorvakuumanschluss
Vorvakuumpumpe an. Verwenden Sie bei Bedarf einen flexiblen Schlauch oder Faltenbalg, um die Übertragung von Schwingungen von der Vorvakuumpumpe auf die nEXT-Pumpe zu verringern. Edwards empfiehlt, eine Edwards EM- RV- oder XDS-Scroll-Vorvakuumpumpe zu verwenden. Die empfohlene Größe der Vorvakuumpumpe ist in Tabelle 6 angegeben.
Seite 45: Elektroinstallation
3.5.3 Anschließen der Logik-Schnittstelle an den TIC Wenn zum Betrieb und zur Steuerung der Pumpe ein Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller verwendet wird, wird das Kabel der Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe direkt an der Rückseite des TIC-angeschlossen. Weitere Informationen hierzu sind der Betriebsanleitung des Controllers zu entnehmen.
Seite 46: Anschließen Der Stromversorgung
Messgeräten, eine Verbindung zwischen 0 V und Erde hergestellt werden könnte. Beachten Sie Tabelle 11 – Anschluss-Pins der Logik-Schnittstelle, wenn Sie die Stromversorgung an das Gegenstück des Anschlusses anschließen. Seite 38 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 47: Anschluss Für Die Parallele Steuerung Und Überwachung
Sie die Verbindung zwischen Pin 3 und Pin 2. Um die Pumpe in den Standby-Modus zu versetzen, verbinden Sie Pin 4 (Standby) und Pin 3 (Start/Stopp) mit Pin 2 (0-V-Referenz). © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 48: Anschluss Für Die Serielle Steuerung Und Überwachung
RS232-Schnittstelle aktiviert; wenn Sie den Schalter nach links verschieben, wird die serielle RS485-Schnittstelle aktiviert. Standardeinstellung auf dem Controller ist die serielle RS232-Schnittstelle. Seite 40 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 49: Controller-Statusinformationen
Spanne von 0,3 V liegt, dann dürfte die serielle Verbindung mit Abständen von bis zu 6 m arbeiten können. Für längere Abstände ist eventuell eine Schnittstellenschaltung außerhalb der nEXT-Pumpe erforderlich. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 41 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 50: Anschlüsse Der Logik-Schnittstelle - Serielle Rs232-Steuerung
Abbildung 14 - Anschlüsse der Logik-Schnittstelle – serielle RS485-Steuerung 1. RS485-Schnittstelle am Steuergerät 3. Sicherung 2. 24 bis 48 V DC Stromversorgung 4. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe Seite 42 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 51: Serielle Aktivierung („Serial Enable")
Eingangssignal „Serial Enable“ (Pin 5) mit Pin 2 des Anschluss-Gegenstücks der Logik-Schnittstelle verbinden. Edwards empfiehlt, diese Verbindung in das serielle Datenübertragungskabel aufzunehmen, sodass „Serial Enable“ nur dann aktiviert wird, wenn das serielle Kabel angeschlossen ist. Wenn das Kabel entfernt wird, ist „Serial Enable“...
Seite 52: Prinzipieller Schaltplan Für Einen Multidrop-Anschluss Über Die Rs232-Schnittstelle
B800-00-882 Issue D Abbildung 15 - Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss über die RS232-Schnittstelle 1. RS232-Schnittstelle am Steuergerät 3. nEXT-Pumpe 2. Puffer 4. ODER-Glied Seite 44 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 53: Meldungsstruktur
Objektnummer durch ein Leerzeichen getrennt sind, gefolgt von einem abschließenden Wagenrücklauf-Zeichen  Das Meldungsprotokoll im Multidrop-Modus weicht davon geringfügig ab, siehe Abschnitt 3.7.6. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 54: Verfügbare Befehle
Standby-Drehzahl als Prozentsatz der Standby- ?S857 vollen Drehzahl Drehzahl Temperatur- ?V859 0.100; dezimal °C Gemessene Motortemperatur werte 0.100 dezimal °C Gemessene Controller-Temperatur Seite 46 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 55 Stunden Stunden, bis Lagerservice erforderlich ist Laufzeit ?V886 0..999999; dezimal Stunden Betriebsstunden der Ölkartusche Ölkartusche 0..999999 dezimal Stunden Stunden, bis Ölkartuschenservice erforderlich ist © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 47 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 56: Abkürzungen Der Befehle
Parameter fehlt Parameter außerhalb des zulässigen Bereichs Ungültiger Befehl im aktuellen Status – z.B. serieller Start-/Stop-Befehl, während man sich im parallelen Steuerungsmodus befindet Seite 48 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 57: Anschluss Der Logik-Schnittstelle - Gemischter Paralleler Und Serieller Betrieb
24 V möglich; der an die Leitungen „Normal“ und „Fail“ angeschlossene Schaltkreis muss jedoch die in Tabelle 10 angegebene maximale externe Pull-up-Nennspannung berücksichtigen. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 49 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 58: Multidrop-Betrieb
Sie den parallelen Stopp-Schalter. Erst nachdem die Pumpe mit dem Schalter an der parallelen Schnittstelle abgeschaltet wurde, werden überhaupt Start- oder Stopp-Befehle über die serielle Schnittstelle angenommen. Seite 50 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 59: Auswahl, Anschluss Und Steuerung Des Belüftungsventils
öffnen, nachdem die Drehzahl der nEXT-Pumpe auf 50 % ihrer vollen Drehzahl gesunken ist. Um das Vakuumsystem sauber zu halten, empfiehlt Edwards, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst (oder das Vakuumsystem) zu belüften, wenn sich die Drehzahl der DX-Pumpe zwischen der vollen Drehzahl und 50 % der vollen Drehzahl bewegt.
Seite 60: Steuerung Belüftungsventil
Sie in diesem Fall einen Befehl über die serielle Schnittstelle, um das Belüftungsventil zu schließen, bevor Sie einen Start-Befehl senden – dies ist als verzögerter Anlauf bekannt. Wenn die nEXT-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller gesteuert wird, kann das TAV-Magnetventil vom TIC aus gesteuert werden. Weitere Informationen hierzu sind den Betriebsanleitungen der TICs zu entnehmen.
Seite 61: Kühlung
VORSICHT Vergewissern Sie sich bei Verwendung anderer Kühlvorrichtungen als dem standardmäßigen Kühlungszubehör von Edwards, dass die Kühlung NICHT nur auf den Pumpen-Controller gerichtet bzw. geführt wird. VORSICHT Wenn sich die Pumpe innerhalb eines Gehäuses befindet, stellen Sie sicher, dass eine ausreichende Belüftung gewährleistet ist, damit die Umgebungstemperatur um die Pumpe nicht über 40 °C steigt.
Seite 62: Wasserkühlung
Beachten Sie hierzu die Empfehlungen in Abbildung Abbildung 18 - Maximale relative Luftfeuchtigkeit, um eine Kondensation bei der Wasserkühlung zu vermeiden Kühlwasser- temperatur (°C) Umgebungstemperatur (°C) Seite 54 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 63: Betrieb
Die nEXT-Pumpe kann mit dem kundeneigenen seriellen System konfiguriert werden. In Abschnitt 4.1 sind die Befehle aufgeführt, die Sie für die Konfiguration des Controllers benötigen. Alternativ können Sie auch den Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller verwenden. Weitere Einzelheiten hierzu finden Sie in Abschnitt 4.2.
Seite 64: Stromversorgung Eines Lüfters Vom Controller Aus
Die Einstellung der Belüftungsoption ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. Um zu überprüfen, welche Belüftungsoption eingestellt ist, senden Sie wie folgt eine Abfrage: Befehl Die Antwort hat das folgende Format: Antwort Seite 56 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 65: Einstellung Der Standby-Drehzahl
Die Normaldrehzahl ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. Um zu überprüfen, welche Normaldrehzahl eingestellt ist, senden Sie wie folgt eine Abfrage: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus: Antwort © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 57 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 66: Timer-Einstellung Und -Optionen
Um zu überprüfen, ob der Timer aktiviert oder deaktiviert ist, senden Sie die folgende Abfrage: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus (wobei d=0 „deaktiviert“ bedeutet und d=1 „aktiviert“): Antwort Seite 58 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 67: Optionen Für Analogsignal
Um den Controller auf die werkseitigen Einstellungen zurückzusetzen, senden Sie den folgenden Befehl: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus: Antwort Die werkseitigen Einstellungen werden im Speicher in der nEXT-Pumpe wiederhergestellt. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 59 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 68: Zuweisen Einer Multidrop-Adresse
Befehl sendet): Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus: Antwort Sobald der Multidrop-Modus deaktiviert ist, antwortet die Pumpe nicht länger auf Multidrop-Befehle. Seite 60 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 69: Next-Pumpe Mit Einem Tic Konfigurieren
B800-00-882 Issue D nEXT-Pumpe mit einem TIC konfigurieren Die nEXT-Pumpe kann mit dem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder dem TIC Turbo Controller konfiguriert werden. Siehe Abschnitt 3.5.3. Sie können die folgenden Parameter der nEXT-Pumpe mit dem TIC einstellen: Einstellung der Leistungsgrenze ...
Seite 70: Kontrollen Vor Der Inbetriebnahme
Normal-Signal  Fail-Signal  Weitere Informationen zur Überwachung dieser Signale finden Sie in Abschnitt 3.6. Der Analogausgang wird in Tabelle 10 beschrieben. Seite 62 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 71: Betrieb Mit Serieller Steuerung Und Überwachung
Standby-Drehzahl läuft, verlangsamt sie, bis die Standby-Drehzahl erreicht ist. Damit die Pumpe wieder zur vollen Drehzahl zurückkehrt, senden Sie den folgenden Befehl: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus: Antwort © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 63 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 72: Stopp Der Pumpe
Die zweite zurückgesendete Zahl ist ein 32-Bit Systemstatus-Wort (eine Gruppe von 8 Hexadezimal- Zeichen), das bei der Fehlersuche hilfreich ist. Hinweise zur Entschlüsselung des Systemstatus-Worts finden Sie in Abschnitt 5.5.9. Seite 64 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 73: Gemischter Paralleler Und Serieller Betrieb
Beim gemischten parallelen und seriellen Betrieb liefern die parallelen Ausgangssignale „Normal“ und „Analogue“ jederzeit gültige Informationen zum Pumpenstatus. Die analogen Ausgangsspannungen werden in Tabelle 10 beschrieben. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 65 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 74: Betrieb Mit Einem Tic
"Serial Enable" aktiv Betrieb mit einem TIC Für den Betrieb mit einem Edwards Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller kann die nEXT-Pumpe direkt an den Controller angeschlossen werden, der den für den Betrieb der nEXT-Pumpe notwendigen Strom liefert. Weitere Hinweise zur Einstellung und zum Betrieb des TIC oder TIC Turbo Controller finden Sie auf der CD-ROM mit der Teilenummer D397-00-879, die mit dem TIC oder TIC Turbo Controller geliefert wird.
Seite 75: Betrieb Unter Extremen Bedingungen
Energiezufuhr zum Pumpenmotor ab und bremst ihn ab, bis er zum Stillstand kommt. Der Controller zeigt eine Fehlerbedingung („Fail“) an, wenn eine Überdrehzahl erkannt wurde. Wenn Sie vermuten, dass die Pumpe mit Überdrehzahl läuft, schalten Sie sie aus, und wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten.
Seite 76: Fehler In Der Stromversorgung
Wenn die Pumpe (und das Vakuumsystem) beheizt wird, beschleunigen Sie damit den Entgasungsprozess, sodass die Pumpe das Endvakuum in kürzestmöglicher Zeit erreicht. Das Beheizen der Pumpe verhindert auch, dass Dämpfe im Inneren der Pumpe kondensieren. Zum Ausheizen der Pumpe kann die Edwards BX-Heizmanschette verwendet werden (siehe Abschnitt 7.4). Bringen Sie die Manschette direkt unter dem CF-Hochvakuumflansch um die Pumpe herum an.
Seite 77: Verhalten Einer Pumpe, Wenn Die Stromversorgung Nach Einem Ausfall Wieder Hergestellt Wird
Drehzahl hochfährt. Alle Fehlersignale („Fail“), die während der Versorgung mit rückgewonnener Energie ausgelöst wurden, gehen verloren, sobald die Stromversorgung wieder hergestellt ist. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 69 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 79: Wartung
über 17.500 Stunden für die Ölkartusche und bei über 35.000 Stunden für das Lager. Wenn die Ölkartusche und/oder das Lager ausgetauscht werden müssen, empfiehlt folgende Möglichkeiten: Senden der Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum zum Austausch des Lagers und/oder der ...
Seite 80: Reinigen Der Außenflächen Der Pumpe
Komponenten im Innern der Pumpe beschädigen. Wenn die nEXT-Pumpe im Innern verunreinigt ist, kann das spezifizierte Endvakuum möglicherweise nicht erreicht werden oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Die Pumpe sollte an ein Edwards-Kundendienstzentrum geschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird.
Seite 81 Überprüfen Sie die Pumpe auf Lecks. Ist die Leckrate > 1x10 mbar l s (1x10 Pa l s wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 73 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 82 Fehlercode zu ermitteln. Alle sonstigen Probleme Wenden Sie sich an Ihren Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Lieferanten oder an Edwards. Edwards. Seite 74 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 83: Blinksignal-Servicecodes
= 0 Controller service due Wird gesetzt, wenn die Anzahl der Stunden, bis ein (Controller-Service erforderlich) Controller-Service erforderlich ist, = 0 Reserviert © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 75 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 84: Controller-Laufzeit
Die Antwort lautet wie folgt. Dabei gibt die erste Zahl die Anzahl der von der Pumpe abgeschlossenen Start-Stop- Zyklen und die zweite Zahl die Anzahl der Start-Stop-Zyklen bis zu einem empfohlenen Service an: Antwort Seite 76 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 85: Lagerlaufzeit
Fall, die Stromversorgung aus- und wieder einzuschalten. Falls die LED auch nach dem Aus- und Wiedereinschalten noch leuchtet, ist ein Software-Download erforderlich. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Falls die Alarm-LED blinkt, stellen Sie den Blinksignal-Fehlercode fest und konsultieren Sie Tabelle Zwischen zwei aufeinander folgenden Wiederholungen eines Zyklus gibt es eine ausreichende Ruhezeit, um den Beginn einer neuen Blinksequenz klar zu kennzeichnen.
Seite 86: Entschlüsseln Der Systemstatus-Wörter
1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 Seite 78 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 87: Hexadezimal-Umrechnungstabelle
Start-Befehl aktiv. Serielle Aktivierung („Serial Enable“) Serieller Modus aktiv. Standby Standby aktiv. Half full speed (halbe Volldrehzahl) Oberhalb 50 % der vollen Drehzahl. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 79 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 88: Beispiel Zur Entschlüsselung Von Systemstatus-Wörtern
Die Auslösung durch Überdrehzahl und Überstrom ist nicht aktiviert. Das interne Temperaturmess-System der Pumpe ist in Ordnung. „Serial Enable“ ist während der seriellen Steuerung nicht inaktiv geworden. Seite 80 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 89: Nützliche Informationen Für Den Kundendienst
Senden Sie die folgende Abfrage, um die Version der Startladeprogramm-Software zu ermitteln: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus, wobei String 1 die Versionsnummer der Startladeprogramm-Software ist: Antwort String 1 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 81 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 91: Lagerung Und Entsorgung
B800-00-882 Issue D Lagerung und Entsorgung VORSICHT Die Verwendung von Ersatzteilen, die nicht von Edwards stammen, kann eine geringere Zuverlässigkeit und Leistung zur Folge haben, außerdem erlischt der Gewährleistungsanspruch. Lagerung Verfahren Sie zum Einlagern der Pumpe wie folgt: 1. Bringen Sie Schutzabdeckungen an den Einlass-, Auslass-, Zwischenstufen- (nur „i“ nEXT), Spül-, Rootspumpen- (nur „T“...
Seite 93: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Geräte, für die Kundendienst-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Die Edwards-Kundendienstzentren vor Ort können auch Ingenieure als Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder die Reparatur Ihrer Anlagen bereitstellen. Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Edwards-Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.
Seite 94: Ersatzteile
DN160ISO-K O-Ring mit Zentrier- und Außenring mit integriertem feinem B800-00-826 Ansaugsieb ISO 160 DN100ISO-K O-Ring mit Zentrier- und Außenring ISO 100 C105-23-001 Seite 86 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 95: Anschlüsse Dn16Kf Und Dn25Kf
An die nEXT-Pumpe kann ein Wasserkühler montiert werden. Hinweise zur Eignung der Kühlwasserversorgung finden Sie in Abschnitt 2.5. Tabelle 39 - WCX-Wasserkühler Wasserkühler Bestellnummer WCX nEXT-Wasserkühler B800-00-815 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 87 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 96: Bx-Heizmanschette
Sie die Teilenummern der lieferbaren Belüftungsdrosseln. Tabelle 42 - Belüftungsdrosseln Belüftungsdrossel Bohrungsdurchmesser (mm) Bestellnummer VRX10 B580-66-021 VRX20 B580-66-022 VRX30 B580-66-023 VRX50 B580-66-024 VRX70 B580-66-025 Seite 88 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 97: Belüftungsflansch-Adapter
Mit einem Schnittstellenkabel wird die nEXT-Pumpe mit einem PC verbunden. Zur Steuerung und Überwachung der nEXT-Pumpe werden dann serielle Befehle verwendet. Tabelle 47 - Schnittstellenkabel Bestellnummer nEXT-Schnittstellenkabel B800-00-808 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 89 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 98: Tic Pc Programm
Überwachung und Protokollierung der Daten des Pumpsystems möglich. Abbildung 20 - Explosionszeichnung der nEXT-Zubehörteile 1. BX 250-Heizmanschette (DN100CF gezeigt) 2. Position der BX 250-Heizmanschette 3. WCX-Kühlwasserzubehör Seite 90 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 99: Explosionszeichnung Der Next-Zubehörteile
7. DN10KF-Adapter 3. Manuelles Belüftungsventil (montiert) 8. ACX nEXT-Luftkühler (radial) 4. TAV-Belüftungsventil (Magnetventil) 9. ACX nEXT-Luftkühler (axial) 5. Verschluss-Stopfen am Spülanschluss (montiert) © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 91 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

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