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Edwards nEXT730D Betriebsanleitung Seite 5

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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7. Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
7.1 Vor dem Einschalten der Pumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
7.3 Betrieb mit paralleler Steuerung und Überwachung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
7.4 Betrieb mit serieller Steuerung und Überwachung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
7.5 Gemischter paralleler und serieller Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
7.6 Betrieb mit einem TIC oder TAG. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
7.7 Verlangsamen und Belüften. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
7.8 Betrieb unter extremen Bedingungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
7.9 Ausheizen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
7.10 Manuelles Ausschalten der Pumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
B8J200882_D
300812671_001_C3
6.1.7 Einstellung der Normaldrehzahl. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
6.1.8 Timer-Einstellung und -Optionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
6.1.9 Optionen für Analogsignal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
6.1.10 Elektronische Bremsoptionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
6.1.11 Werkseitige Einstellungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
6.1.12 Zuweisen einer Multidrop-Adresse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
6.1.13 Konfiguration der Pumpe mit einem TIC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
7.1.1 Schließen des Belüftungsventils. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
7.1.2 Vor-Startsequenz. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
7.2.1 Manuelles Belüftungsventil. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
7.2.3 Steuerung Belüftungsventil. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
7.3.3 Abschalten der Pumpe mit der Überwachung über die parallele
Schnittstelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
7.3.4 Parallele Überwachung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
7.4.1 Verzögerter Start mit serieller Steuerung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Steuerung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
Steuerung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
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7.8.1 Betrieb mit hohem Einlassdruck. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
7.8.2 Betrieb bei hohen Temperaturen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
7.8.3 Schutz vor Überdrehzahl. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
7.8.4 Fehler in der Stromversorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
Seite 5
09/2021 - ©Edwards Limited

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