Edwards nXDS-Serie Betriebsanleitung

Scroll-vakuumpumpen

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Inhaltsverzeichnis

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Trockenlaufende

Vakuumpumpe

nXDS Scroll-Vakuumpumpe

BETRIEBSANLEITUNG

BESCHREIBUNG

nXDS6i

nXDS10i

nXDS15i

nXDS20i

nXDS6iC

nXDS10iC

A73501882_G

BESTELLNUMMER

BESCHREIBUNG

A73501983

nXDS15iC

A73601983

nXDS20iC

A73701983

nXDS6iR

A73801983

nXDS10iR

A73502983

nXDS15iR

A73602983

nXDS20iR

edwardsvacuum.com

BESTELLNUMMER

A73702983

A73802983

A73503983

A73603983

A73703983

A73803983

Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

Inhaltsverzeichnis

Inhaltszusammenfassung für Edwards nXDS-Serie

Seite 1 Trockenlaufende Vakuumpumpe nXDS Scroll-Vakuumpumpe BETRIEBSANLEITUNG edwardsvacuum.com BESCHREIBUNG BESTELLNUMMER BESCHREIBUNG BESTELLNUMMER nXDS6i A73501983 nXDS15iC A73702983 nXDS10i A73601983 nXDS20iC A73802983 nXDS15i A73701983 nXDS6iR A73503983 nXDS20i A73801983 nXDS10iR A73603983 nXDS6iC A73502983 nXDS15iR A73703983 nXDS10iC A73602983 nXDS20iR A73803983 A73501882_G Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
Seite 2: Markenrecht
A73501860 Schnittstelle für serielle Datenübertragung – Betriebsanlei- tung) Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne Vorankündigung vorgenommen werden. Wir übernehmen keine Haftung für etwaige Fehler in dieser Betriebsanleitung und geben weder ausdrückliche noch...
Seite 3: Ce-Konformitätserklärung
CE-Konformitätserklärung Edwards Ltd Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Großbritannien Das folgende Produkt Scroll-Pumpe nXDS6i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz A735-01-983 Scroll-Pumpe nXDS10i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz A736-01-983 Scroll-Pumpe nXDS15i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz A737-01-983 Scroll-Pumpe nXDS20i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz...
Seite 4 Lutin Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO 9001:2015 zertifizierten Qualitätssicherungssystems...
Seite 5: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität
Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU-Richtlinie (EMV): Klasse A/B Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für Funkempfang. EU RoHS-Richtlinie: Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III •...
Seite 8 9.4.6 Austauschsatz für Lager (nicht für Kundendienst)....54 9.4.7 Auslass- und Gasballastventilsatz......54 A73501882_G Seite 5 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 10: Sicherheit Und Compliance
Missachtung zu Schäden an der Pumpe oder an der Anlage führt. Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich. Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren. A73501882_G Seite 7 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 11: Gefahrensymbole
Warnung – gefährliche Spannung Weist auf Gefahren durch gefährliche Spannung hin. Warnung – heiße Oberflächen Weist auf mögliche Gefahren durch heiße Oberflächen hin. Warnung – Explosionsgefahr Bei der Ausführung dieser Aufgabe besteht Explosionsgefahr. A73501882_G Seite 8 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 12: Einführung
Dämpfe in der Pumpe sowie in der Abgasleitung auf weniger als ein Viertel der Konzentration zu reduzieren, die als untere Explosionsgrenze (UEG) des jeweiligen Gases vorgegeben ist. Keine pyrophoren Materialien pumpen! Prozesspartikel könnten eine Zündquelle auf der Spiralfläche bilden. A73501882_G Seite 9 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 13: Beschreibung
Manuell über die Tasten auf dem Bedienfeld. Siehe Abbildung: Schnellstartanleitung (manueller Steuerungsmodus) Abbildung: Bedienfeld ▪ Ferngesteuert über serielle Datenübertragung oder digitale und analoge Prozesssteuerung (parallel) über den 15-poligen Typ D-Logik- Schnittstellenanschluss. Siehe Logik-Schnittstelle auf seite 11. A73501882_G Seite 10 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 14: Logik-Schnittstelle
Überwachung über einen einzelnen Anschluss. Für die serielle Steuerung kann entweder RS232 oder RS485 ausgewählt werden. Die Steuerungsmodi finden Sie in der Tabelle: nXDS-Steuerungsmodi. Technische Daten zur Logik-Schnittstelle finden Sie unter Technische Daten Logik- Schnittstelle auf seite 21. A73501882_G Page 11 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 15: Gasballastregler
Die Pumpe beschleunigt auf die volle Betriebsdrehzahl.* Während des Beschleunigungsvor- Ein- und Aus- Starten der gangs blinkt die BETRIEBSANZEIGE. START-TASTE schalten auf sei- Pumpe te 32 Die BETRIEBSANZEIGE leuchtet dauer- haft, sobald die Pumpe die volle Drehzahl erreicht. A73501882_G Page 12 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 16 Einführung seite 9 Abbildung: Manuelle Steue- Schnellstartan- rung über nXDS- leitung (manu- Bedienfeld eller Steuer- ungsmodus) im vorliegen- den Handbuch Serielle Steuerung über (TIC) *Turbo Anleitung Instrument Con- D39722880 troller oder Turbo Controller A73501882_G Page 13 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 17 Serielle Steuerung Anleitung über Komm.- Schnittstelle A73501860 RS232 oder RS485 Hinweis: Tabelle: nXDS-Steuerungsmodi zeigt unsere zusätzlichen Produkte, z. B. DX-/nEXT- Turbopumpen und Aktivmessröhren, die mithilfe der oben aufgeführten verschiedenen Steuermethoden gleichzeitig gesteuert werden können. A73501882_G Page 14 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 18: Technische Daten
Spitzensaugvermögen (m (m Maximal zulässiger kontinuierlicher Einlass- druck (mbar)* Maximal zulässiger kontinuierlicher Abgas- druck (bar gemessen)† Maximal zulässiger Einlassdruck für Gasballast (bar gemessen) Maximal empfohlenes Kammervolumen, das von Atmosphärendruck abgepumpt werden kann (in Litern)‡ A73501882_G Seite 15 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 19: Pumpmedien
Wenn Sie ein Gas oder einen Dampf pumpen möchten, der nicht in der obigen Liste enthalten ist, wenden Sie sich an uns. 3.2.2 Leistungsdaten Die Leistungskennwerte der Pumpe ändern sich mit der Stellung des Gasballastreglers. Diese Leistungsdaten sind aufgeführt in der Tabelle: Leistungsdaten. A73501882_G Page 16 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 20: Abbildung 3 Nxds6I-Leistungsdaten
7 × 10 3 × 10 „0“ Pumpenenddruck (mbar) Gasballastregler auf 5 × 10 4 × 10 4 × 10 6 × 10 „1“ Gasballastdurchfluss Gasballastregler auf „1“ (l min Abbildung 3 nXDS6i-Leistungsdaten A73501882_G Page 17 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 21: Abbildung 5 Nxds15I-Leistungsdaten
A73501882_G - Technische Daten Abbildung 4 nXDS10i-Leistungsdaten Abbildung 5 nXDS15i-Leistungsdaten A73501882_G Page 18 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 22: Mechanische Daten
Tabelle 7 Geräusch- und Vibrationsdaten Parameter nXDS 52,0 ± 2,5 dB (A) Schalldruck, gemessen bei Endvakuum im Abstand von 1 m neben der Pumpe nach Deklarierte zweistellige Schalldruckwerte ISO 3744 gemäß ISO 4871 A73501882_G Page 19 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 23: Bauweise
Gerätekupplung = IEC60320 Art C14 Sicherungsart = BS1363 10-A-Sicherung an Bauart IEC60320 Kabelsatz, Gerader Ein- Kabelstil = H05VV-F, 3 × 1,0 mm , 300 V, A50506000 Europa gang 70 °C, maximale Länge von 2,0 Metern A73501882_G Page 20 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 24: Technische Daten Logik-Schnittstelle
Nennwert) 0 bis 10 V DC, direkt proportional zur Mo- Analoger Drehzahleingang tordrehzahl, z. B. 0 V = 0 Hz, 10 V = 30 Hz Spannungsgenauigkeit ± 5 % des Skalenendwerts Statusausgabe NORMAL: A73501882_G Page 21 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 25 Aktivierung) – Steuer- elle Datenübertragung zu aktivieren. eingang RS232/RS485 – Steuer- Die Standardkonfiguration ist RS232 eingang (Pin 6 nicht angeschlossen). Mit Pin 2 (0 V) verbinden, um die seri- elle Datenübertragung über RS485 zu aktivieren. A73501882_G Page 22 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 26: Led-Anzeigen
Normaldrehzahl ist. 3.6 LED-Anzeigen Abbildung 7 LED-Anzeigen Die nXDS-Pumpe verfügt über acht Anzeige-LEDs Tabelle 13 LED-Anzeigen Beschreibung Details Leistungsanzeige Zeigt an, dass die Netzstromversorgung der Pumpe eingeschaltet ist A73501882_G Page 23 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 27 Zeigt an, dass ein neues Wartungsintervall erreicht wurde. Siehe Wartungsanzeige-Codes Siehe Codes der Wartungsanzeige auf seite 42. Alarmanzeige Zeigt an, dass ein Alarm ausgelöst wurde. Siehe Alarm- anzeige-Codes Siehe Codes der Alarmanzeige auf seite A73501882_G Page 24 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 28: Installation
Stellen Sie sicher, dass die Abgasleitung nicht verstopft werden kann. Sofern die Pumpe mit einem Auslassabsperrventil ausgestattet ist, vergewissern Sie sich, dass die Pumpe bei geschlossenem Ventil nicht betrieben werden kann. Siehe Anschluss an das Vakuumsystem auf seite 28. A73501882_G Seite 25 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 29: Abbildung 8 Installationszeichnung
Gase auf sichere Konzentrationen zu verdünnen. Wenden Sie sich bei Bedarf für weitere Unterstützung zu Verdünnungsanforderungen an uns. Abbildung 8 Installationszeichnung Hinweis: Alle Abmessungen in mm. Die Außenabmessungen sind bei allen Varianten gleich. A73501882_G Page 26 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 30: Auspacken Und Überprüfen
Wänden des Gehäuses muss ein Abstand von mindestens 25 mm bestehen. 4.4.1 Mechanische Befestigung Hinweis: Die Pumpe kann mithilfe der vier Löcher an den Ecken ihrer Grundplatte gesichert werden. Wir empfehlen Ihnen die Verwendung von M8-Schrauben. A73501882_G Page 27 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 31: Anschluss An Das Vakuumsystem
Es ist möglich, dass sich eine geringe Menge Dichtungsabrieb in der Auspuffleitung der Pumpe ansammelt. Der Staub wird möglicherweise nach dem Entlüften der Pumpe mit dem ersten Luftstoß ausgeblasen. Dies ist normal und das Staubaufkommen wird mit der Zeit geringer. A73501882_G Page 28 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 32: Elektroinstallation
Pumpe zu befestigen. 4.6.3 Trennen der Pumpe von der Stromversorgung Unterbrechen Sie den Netzanschluss (siehe Abbildung: nXDS trockenlaufende Scroll- Vakuumpumpe), bevor Sie die physische Stromversorgung der Pumpe über das IEC60320-Kabel (C13) trennen. A73501882_G Page 29 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 33: Anschluss Für Fernsteuerung Und Überwachung
Wenn Sie die Pumpe über die parallele Hardware-Schnittstelle steuern möchten, finden Sie dazu weitere Informationen unter Parallele Steuerung und Überwachung auf seite 33. Zur Verwendung der seriellen Schnittstelle oder zur Arbeit mit einer Mischung aus paralleler und serieller Steuerung vgl. Handbuch A73501860. A73501882_G Page 30 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 34: Betrieb
Trennung von der Stromversorgung aus- und wieder eingeschaltet. 5.2 Manueller Betrieb Die Steuerungsfunktionen der Pumpe über das Bedienfeld werden ausführlich erläutert in der Abbildung: Bedienfeld. A73501882_G Seite 31 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 35: Ein- Und Ausschalten
Standardbetriebsdrehzahl geändert, durch fortlaufendes Drücken der Taste um 1 % pro Sekunde. Sobald die Drehzahl eingestellt ist, wird die Pumpe auf die neu festgelegte Drehzahl gesetzt, wenn die Standbydrehzahl ausgewählt wird. Vor der Rückkehr zur normalen Drehzahl muss die Standbytaste betätigt werden. A73501882_G Page 32 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 36: Parallele Steuerung Und Überwachung
Der Ausgang kann ein Relais mit geringer Leistung mit einem Spulen- Nennwert von maximal 24 V (max. 10 mA) ansteuern. 5.4 Analoge Drehzahlsteuerung Der analoge Drehzahleingang ist eine Prozessdrehzahlsteuerung, mit der die nXDS- Scrollpumpe bei unterschiedlichen Betriebsdrehzahlen verwendet werden kann. Diese A73501882_G Page 33 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 37: Abbildung 11 Logik-Schnittstellenanschlüsse - Analoge Drehzahlsteuerung
2. Analoger Steuerschalter 2. Analoger Steuerschalter 3. Logik-Schnittstelle der nXDS-Pumpe 3. Logik-Schnittstelle der nXDS-Pumpe Hinweis: Hinweis: ° 1 % der ° 1 % der 0,1 V 0,1 V Standardbetriebsdrehzahl Standardbetriebsdrehzahl Abbildung 12 Analoge Drehzahlsteuerung A73501882_G Page 34 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 38: Hardwarekonfiguration
Die Pumpe kann während des Automatikbetriebs mithilfe des manuellen, parallelen oder seriellen Steuerungsmodus gestoppt werden. 5.6 Verwenden des Gasballastreglers Mithilfe des Gasballastreglers können Sie die Leistung der Scroll-Pumpe für Ihre Anwendung optimieren. Die Leistungskennwerte der Pumpe mit Gasballast sind unter A73501882_G Page 35 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 39: Gasballastregler
Vakuumsystems, neu sind oder neu eingesetzt wurden, kann u. U. noch Feuchtigkeit aus der Umgebung vorhanden sein. Wenn Luftfeuchtigkeit vorhanden ist, betreiben Sie die Pumpe für einen Zeitraum von 20 Minuten mit eingeschaltetem Gasballast, bevor Sie A73501882_G Page 36 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 40: Pumpen Kondensierbarer Dämpfe
Bedienfeld), den Steuereingang Start/Stopp (siehe Tabelle: Anschluss- Pins der Logik-Schnittstelle, Pin 3) im parallelen Steuerungsmodus oder einen Stopp-Befehl im seriellen Steuerungsmodus. Belüften Sie das nXDS-Pumpensystem mithilfe der Gasballastregelung oder dem Einlassventil. Trennen Sie den Netzanschluss. A73501882_G Page 37 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 41: Wartung
Ihren Lieferanten oder an uns. VORSICHT: Die Außenflächen der Pumpe können mit einem feuchten Tuch gereinigt werden. Gehen Sie bei Verwendung von Reinigungsflüssigkeiten auf Lösungsmittelbasis vorsichtig vor, um keine wichtigen Beschriftungen von Produktetiketten zu entfernen. A73501882_G Seite 38 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 42: Wartungsplan
Auswechseln der Tip Seals rollers seite 40 Austauschen des Pumpencont- Prüfung der elektrischen Si- Nein rollers (Wartungsanzeige) cherheit seite 41 Die Codes der Wartungsanzeige finden Sie unter Wartungsanzeige-Codes Siehe Codes der Wartungsanzeige auf seite 42. A73501882_G Page 39 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 43: Kontrollieren Und Reinigen Des Einlassfilters
Die Häufigkeit, mit der dieser Austausch erfolgen sollte, hängt von folgenden Faktoren ab: ▪ Die Pumpe hat ein Wartungsintervall erreicht. Siehe Überprüfen der Pumpenleistung (Wartungsanzeige) auf seite 40 und Austauschen der Pumpenlager (Wartungsanzeige) auf seite 41. A73501882_G Page 40 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 44: Austauschen Der Pumpenlager (Wartungsanzeige)
Die Wartungsanzeige blinkt (3 Sek. ein, 3 Sek. aus), um zu signalisieren, dass der Pumpencontroller ausgetauscht werden sollte. Weitere Einzelheiten erfahren Sie auf Anfrage. Informationen zum Rücksetzen der Wartungsanzeige finden Sie unter Wartungsanzeige- Codes Siehe Codes der Wartungsanzeige auf seite 42. A73501882_G Page 41 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 45: Prüfung Der Elektrischen Sicherheit
Durch Zurücksetzen der Wartungsanzeige für das Pumpenlager wird gleichzeitig das Leistungsprüfungsintervall zurückgesetzt, d. h. beide Zähler werden auf 0 (Null) zurückgesetzt. Durch Zurücksetzen der Wartungsanzeige wird auch der Zeitgeber für das Wartungsintervall auf 0 (Null) zurückgesetzt (siehe Tabelle: Wartungsplan). A73501882_G Page 42 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 46: Fehlersuche
▪ Die Tip Seals müssen ausgewechselt werden. ▪ Die Pumpe befindet sich im Standbymodus. 7.3 Die Pumpe zeigt ein schwaches Endvakuum Wenn die Pumpe ein schwaches Endvakuum zeigt, siehe Abbildung: Flussdiagramm schwaches Endvakuum. A73501882_G Seite 43 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 47: Die Pumpe Ist Zu Laut
A73501882_G - Fehlersuche Abbildung 13 Flussdiagramm schwaches Endvakuum 7.4 Die Pumpe ist zu laut Wenn die Pumpe zu laut ist, siehe Abbildung: Flussdiagramm zu laute Pumpe. A73501882_G Page 44 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 48: Die Oberflächentemperatur Der Pumpe Ist Hoch
Zwischen zwei aufeinander folgenden Wiederholungen eines Zyklus gibt es eine ausreichende Ruhezeit, um den Beginn einer neuen Blinksequenz klar zu kennzeichnen. Die Dauer eines langen Blinksignals („L“) entspricht der dreifachen Dauer eines kurzen Blinksignals (0,5 s). A73501882_G Page 45 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 49 Fall an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Aktivieren Sie den seriellen Betrieb Verriegelung des seriel- „Serial Enable“ erneut, und senden sssssL len Steuerungsmodus Sie einen seriellen Befehl, um den Fehlercode zu löschen. A73501882_G Page 46 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 50: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie Pumpe und Pumpenkomponenten gemäß den örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzvorschriften. Gehen Sie mit Komponenten, die durch gefährliche Prozesschemikalien kontaminiert wurden, besonders vorsichtig um. Fluorelastomerdichtungen und O-Ringe dürfen nicht verbrannt werden. A73501882_G Seite 47 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 51: Service Und Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei unserem Unternehmen oder einem lizenzierten Händler. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes ▪ Modell und Bestellnummer der Anlage. ▪ Seriennummer. ▪ Bestellnummer und Beschreibung des Teils. 9.2 Zubehör A73501882_G Seite 48 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 52: Schalldämpfer
8. Verbindungskabel zwischen Pumpe und 8. Verbindungskabel zwischen Pumpe und Beständigkeit Beständigkeit Controller (nicht abgebildet) Controller (nicht abgebildet) 9.2.1 Schalldämpfer Für die nXDS-Pumpe ist ein Schalldämpfer erhältlich. Siehe Anschluss an das Vakuumsystem auf seite 28 zur Bedienungsanleitung. A73501882_G Page 49 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 53: Gasballastadapter
System eindringen kann. Außerdem kann er zwischen dem Pumpenauslass und dem Auslassabzugssystem installiert werden. Der Filter wird einsatzbereit mit einem 5-m- Element ausgeliefert. Hinweis: Bei Verbindung des Auslassfilters mit dem Pumpenauslass ist eine DN25KF-/ Schlauchdüse, C10514328, für den Anschluss an den Staubfilterauslass erhältlich. A73501882_G Page 50 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 54: Auslassdüse
Stromnetz anzuschließen: Tabelle 23 Stromkabel Produktbeschreibung Bestellinformationen Kabel, 10 A, C13, GB A50505000 Kabel, 10 A, C13, Europa A50506000 Kabel, 10 A, C13, USA A50507000 Kabel, 10 A, C13, ohne Stecker A50508000 A73501882_G Page 51 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 55: Verbindungskabel Pumpe-Controller
Die Anweisung im Rücksendeverfahren, der zufolge alle Flüssigkeiten abzulassen sind, gilt nicht für den Schmierstoff in den Ölbehältern der Pumpe. Laden Sie die aktuellen Dokumente von edwardsvacuum.com/HSForms/ herunter, befolgen Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, A73501882_G Page 52 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 56: Ersatzteile
Knopf zur Gasballastregelung A73501059 9.4.4 Ersatzteilsatz für Schalldämpfer Ersatzteile für den nXDS-Schalldämpfer A50597000. Tabelle 28 Ersatzteilsatz für Schalldämpfer Produktbeschreibung Bestellinformationen Ersatzteilsatz für Schalldämpfer A50597800 9.4.5 Ersatzteile für Einlass-/Auslassfilter Austauschelemente für den Ansaug-/Abgasfilter A50597805. A73501882_G Page 53 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 57: Austauschsatz Für Lager (Nicht Für Kundendienst)
Tabelle 31 Auslass- und Gasballastventilsatz Produktbeschreibung Bestellinformationen Auslass- und Gasballastventilsatz (Stan- A73501803 dard- und R-Versionen) Auslass- und Gasballastventilsatz A73501804 (nur C-Versionen) Hinweis: Für die Versionen nXDS20i, nXDS20iR und nXDS20iC sind zwei Wartungssätze pro Pumpe erforderlich. A73501882_G Page 54 11/2020 - ©Edwards Limited...
Seite 59 edwardsvacuum.com...

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