Verwandte Anleitungen für Edwards nEXT730D
Inhaltszusammenfassung für Edwards nEXT730D
- Seite 1 Turbomolekularpumpen nEXT730D, nEXT930D, nEXT1230H BETRIEBSANLEITUNG B8J200882_D 300812671_001_C3 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
-
Seite 2: Haftungsausschluss
Hinweis zum Urheberrecht ©Edwards Limited 2021. Alle Rechte vorbehalten. Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne Vorankündigung vorgenommen werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
4.3 Pumpmedien........... 31 4.4 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung..32 B8J200882_D Seite 3 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... - Seite 4 6.1.6 Einstellung der Standby-Drehzahl......75 B8J200882_D Seite 4 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 5 7.10 Manuelles Ausschalten der Pumpe....... . 96 B8J200882_D Seite 5 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 6 14.9 nST2 PC-Programm..........124 B8J200882_D Seite 6 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 7 14.13 Stromversorgungsgerät EPS 800....... . . 126 B8J200882_D Seite 7 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 8 Abbildung 2: Saugvermögen für nEXT730D........
-
Seite 9: Sicherheit Und Compliance
Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren. 1.1.1 Gefahrensymbole Die Gefahrensymbole auf den Produkten kennzeichnen Bereiche, in denen Sorgfalt und Aufmerksamkeit erforderlich sind. Die folgenden Gefahrensymbole können auf dem Produkt oder in der Produktdokumentation verwendet werden. B8J200882_D Seite 9 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 10: Ausgebildetes Personal
1.2 Ausgebildetes Personal „Ausgebildetes Personal“ für den Betrieb dieser Pumpe ist ▪ Fachpersonal mit Fachwissen in den Bereichen Mechanik, Elektrotechnik und Vakuumtechnik sowie ▪ speziell für den Betrieb von Vakuumpumpen geschultes Personal. B8J200882_D Seite 10 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 11: Wichtige Sicherheitshinweise
Störfall kein Überdruck in der Anlage entstehen kann. Der Druck in der Pumpe darf 1,4 bar (abs.) nicht übersteigen. VORSICHT: VAKUUM Hineinziehen in das Vakuum kann zu Verletzungen an Händen oder Fingern führen. Die Vakuumpumpe nicht mit offenen Flanschen betreiben. B8J200882_D Seite 11 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 12: Elektrische Gefährdung
Stoffe. Das Fördern toxischer/explosiver/zündfähiger/pyrophorer/radioaktiver/ oxydierender/korrosiver Gase oder Gasgemische sowie Sauerstoff von mehr als Atmosphärenkonzentration (21 %) ist grundsätzlich verboten. Für die Einschätzung des Gefährdungspotenziales der Prozessmedien oder Gemische ist der Betreiber verantwortlich. B8J200882_D Seite 12 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 13: Gefährdung In Zusammenhang Mit Sicherheitsbezogenen Maßnahmen Und
Installieren Sie einen Not-Stopp-Schalter im System. Der Not-Stopp-Schalter muss ■ in die Gebäudeinstallation integriert sein ■ passend angebracht und für den Benutzer einfach zugänglich sein ■ deutlich als Trennschalter für dieses Gerät gekennzeichnet sein. B8J200882_D Seite 13 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 14: Übersicht
Logik-Schnittstelle möglich. Um die Pumpe in Betrieb zu nehmen, schließen Sie sie an Ihre eigene Steuereinrichtung und Ihre Stromversorgung an oder verwenden Sie den Edwards TIC Turbo Instrument Controller, den TIC Turbo Controller oder den TAG Controller und die Edwards Stromversorgung. -
Seite 15: Abbildung 1 Übersicht Modelle Next
B8J200882_D - Übersicht Kat.-Nr. Name der Pumpe B8N4A0DU0 nEXT1230H ISO-K200 NW40 INV nEXT730D- und 930D-Pumpen können in beliebiger Ausrichtung montiert werden, nEXT1230H-Pumpen können ▪ horizontal oder vertikal, mit dem Hochvakuumflansch oben und in beliebiger Ausrichtung dazwischen oder ▪ waagerecht oder senkrecht, mit dem Hochvakuumflansch auf der Unterseite und in beliebiger Ausrichtung dazwischen (INV-Ausführungen) montiert werden... -
Seite 16: Motor-Controller
Anschlussbuchse des Motor-Controllers auf Seite 50. Es gibt einen USB-Anschluss (Ziffer 9), der als Serviceanschluss mit der Edwards nST2 PC- Software über ein Standard-Micro-USB-Kabel zu verwenden ist. Dies ermöglicht die Konfiguration, die Überwachung und die Aktualisierung der Pumpe, ohne dass die Stromversorgung mit 48 V DC getrennt werden muss. -
Seite 17: Funktionsmerkmale
Gründe, dass die Pumpe 50 % der Drehzahl nicht erreicht, können eine zu hohe Gaslast (z. B. wenn ein Leck im System ist), ein Ausfall der Vorvakuumpumpe oder eine zu hohe Temperatur der Pumpe sein. B8J200882_D Seite 17 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 18: Analogausgang
Pumpe von der maximalen Drehzahl kontrolliert so belüftet werden, dass das Pumpenlager nicht beschädigt wird. Sobald die Pumpendrehzahl auf unter 50 % der Maximaldrehzahl gesunken ist, kann die Pumpe gefahrlos voll belüftet werden (Belüftungsventil vollständig geöffnet). B8J200882_D Seite 18 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 19: Einstellung Der Normaldrehzahl
43,2 V DC (48 V DC -10 %) Außerhalb des Pumpenarbeitsbereichs 43,2 V DC bis 50,4 V DC 48 V C +10 % über 50,4 V DC (48 V DC +5 %) Außerhalb des Pumpenarbeitsbereichs B8J200882_D Seite 19 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 20: Lager-Überwachung
Anschluss für die serielle Steuerung und Überwachung Seite 64). Die Logik-Schnittstelle kann direkt in den Edwards TIC Turbo Controller oder den TIC Turbo Instrument Controller eingesteckt werden. Sie können dann die von diesen bereitgestellten Funktionen nutzen. Alternativ kann die Logik-Schnittstelle auch an das Steuergerät des Kunden angeschlossen werden. -
Seite 21: Usb-Schnittstelle
Die einfache parallele Schnittstelle bietet eine schnelle und einfache Möglichkeit zur Steuerung der Pumpe. Dies ist dieselbe Schnittstelle, die auch bei den vorhandenen Edwards 24 V- Turbopumpen verwendet wird. Die verfügbaren Steuerungsfunktionen sind „Start“ und „Standby“. Der Systemstatus kann über die Ausgangssignale „Normal“, „Fail“ und „Analog“... -
Seite 22: Serielle Steuerung Mit Paralleler Überwachung
Falls die Leitung „Serial Enable‟ (serielle Aktivierung) immer deaktiviert ist, während sich der Schiebeschalter RS485/CAN/RS232 in der Position „RS232‟ befindet, sollte auch die serielle Verbindung getrennt werden. Edwards empfiehlt, ein spezielles Kabel für die serielle Kommunikation vorzusehen, zu dem auch eine Verbindung zwischen „Serial Enable“... -
Seite 23: Konfiguration Des Motor-Controllers (Serielle Konfiguration)
Schnittstellensystems betrieben werden kann. Für die Konfiguration der Pumpe kann entweder ein einfaches serielles System des Kunden über eine serielle Schnittstelle oder der Edwards TIC Turbo Controller, der TIC Turbo Instrument Controller oder der TAG Controller verwendet werden. Die TICs verfügen über eine Funktion zur Speicherung der Konfiguration der nEXT-Pumpe. -
Seite 24: Technische Daten
Umgebungsluftfeuchtigkeit max. 85 % RH, nicht kondensierend Maximale Betriebshöhe 4000 m (Leistungsminderung über 2000 m) Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -15 °C bis 70 °C 4.2 Allgemeine technische Daten Tabelle 3 Technische Daten nEXT730D, nEXT930D nEXT 730D 730D 930D 930D Hochvakuumflansch 160 ISO-K... - Seite 25 * Je nach Umgebungstemperatur, Gasdurchsatz und Gasart kann eine aktive Luftkühlung oder Wasserkühlung erforderlich sein. Tabelle 4 Technische Daten nEXT1230H nEXT 1230H Hochvakuumflansch 200 CF 200 ISO-F 200 ISO-K Vorvakuumpumpe anschließen 40 KF Saugvermögen 1250 1150 I · s 1350 1150 B8J200882_D Seite 25 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 26 Empfohlene Vorvakuumpumpen XDS35i oder E2M28 Schalldruckpegel mit Konvektionskühlung dB(A) < 44 mit radialem Luftkühler < 55 Max. Ausheiztemperatur der CF-Versi- °C – – on, wassergekühlt mbar · I · s Sperrgas-Durchfluss sccm B8J200882_D Seite 26 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 27: Saugvermögenskurven
1230H Sperrgasanschluss G 1/8" Belüftungsanschluss G 1/8" * Je nach Umgebungstemperatur, Gasdurchsatz und Gasart kann eine aktive Luftkühlung oder Wasserkühlung erforderlich sein. 4.2.1 Saugvermögenskurven Abbildung 2 Saugvermögen für nEXT730D 1,000 nEXT730D Stickstoff Helium Wasserstoff Argon Einlassdruck in mbar Abbildung 3 Saugvermögenskurven für nEXT930D... -
Seite 28: Abbildung 4 Saugvermögenskurven Für Next1230H
B8J200882_D - Technische Daten Abbildung 4 Saugvermögenskurven für nEXT1230H 1,600 1,400 nEXT1230H 1,200 1,000 Helium Stickstoff Argon Wasserstoff Einlassdruck in mbar B8J200882_D Seite 28 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 29: Abbildung 5 Maßzeichnung Für Next730-930D
3. Stromversorgungskabel 48 V DC, 0,6 m lang inkl. Stecker 4. Steuerschnittstellenkabel, 0,95 m lang inkl. Stecker 1. 1. Tabelle 5 Abmessungen in mm nEXT730D 160 ISO-K nEXT730D 160 CF 202,5 nEXT930D 200 ISO-K 241,3 nEXT930D 200 CF 246,8 B8J200882_D Seite 29 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 30: Abbildung 6 Maßzeichnung Für Next1230H
4. Stromversorgungskabel 48 V DC, 0,6 m lang inkl. Stecker 5. Steuerschnittstellenkabel, 0,95 m lang inkl. Stecker Tabelle 6 Abmessungen in mm nEXT1230H 200 CF 320,1 nEXT1230H 200 ISO-K 290,1 nEXT1230H 200 ISO-F 292,6 B8J200882_D Seite 30 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 31: Pumpmedien
Gewährleistung für die Pumpe. Die Pumpe ist nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet. Das Edwards-Handbuch P40040882 für Vakuumpumpen und Sicherheit von Vakuumsystemen enthält Sicherheitsinformationen im Zusammenhang mit der Spezifikation, der Konstruktion und dem Betrieb von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen. -
Seite 32: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
0,1 ppm Empfohlene Zeit, bis Drehzahl von 50 % > 15 Sekunden erreicht ist Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwin- Siehe Abbildung unten. digkeit Maximal zulässiger Belüftungsgasversor- 1 bar (gemessen); 14,5 psig, 2 x 10 gungsdruck B8J200882_D Seite 32 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 33: Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
33 bis 84 Pa l s Empfohlener Spülgasdurchsatz 25 sccm (0,42 mbar l s , 42 Pa l s Maximal zulässiger Spülgasversorgungs- 1 bar (Überdruck); 14,5 psig, 2 × 10 druck 4.7 Wasserkühlung B8J200882_D Seite 33 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 34: Abbildung 8: Maximale Relative Luftfeuchtigkeit, Um Eine Kondensation Bei Der
Maximaler Wasserdruck 5 bar (gemessen), 72,5 psig, 5 x 10 Pa ge- messen Kühlwasser ausgesetzte Materialien Messing und vernickeltes Messing Abbildung 8 Maximale relative Luftfeuchtigkeit, um eine Kondensation bei der Wasserkühlung zu vermeiden B8J200882_D Seite 34 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 35: Abbildung 9 Kühlanforderungen Für Next730D/930D
B8J200882_D - Technische Daten Abbildung 9 Kühlanforderungen für nEXT730D/930D nEXT 730D und 930D – für Stickstoff 14,0 12,0 10,0 10,5 12,0 13,5 15,0 16,5 18,0 Druck in mbar nEXT 730D und 930D – für Argon 10,2 11,7 13,2 14,7 16,2 17,7 Druck in mbar Wasserkühlung 15 °C, 100 l/h... -
Seite 36: Elektrische Daten
WWasserkühlung 35 °C, 50 l/h 4.8 Elektrische Daten Die nEXT-Pumpen können entweder über ein kundeneigenes System oder über den Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder den TIC Turbo Controller gesteuert werden. Bei Verwendung des kundeneigenen Systems muss eine geeignete, genehmigte und nach UL/CSA eingestufte Stromversorgung mit 48 V DC verwendet werden. -
Seite 37: Anschluss Der Logik-Schnittstelle
Wenn keine Möglichkeit zur Anpassung der Leistungsgrenze verfügbar ist, verwenden Sie eine Stromversorgung, die ausreichend Strom liefert, um die in der Tabelle Technische Daten der Logik-Schnittstelle gezeigte Edwards-Werkseinstellung für die Leistungsgrenze zu erfüllen. Technische Daten der Logik-Schnittstelle. 4.9 Anschluss der Logik‐Schnittstelle Die nEXT-Pumpen haben am Ende des Kabels der Logik-Schnittstelle einen 15-poligen Anschluss für die Logik-Schnittstelle. - Seite 38 Logisch hoch, wenn Fehlerbedingung FAIL/Seriell TX/RS485 B vorliegt und „Serial Enable‟ inaktiv ist und sich der Schalter RS485/RS232 in der Position „RS232‟ befindet. Ausgang 0 ‑ 10 V, proportional zum ge- Analogausgang Positiv messenen Ausgang B8J200882_D Seite 38 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 39: Abbildung 11 Schnittstellenschaltungen Für Next-Turbopumpen-Controller
Baugruppenträger/Bild- schirm (Chassis/Screen) Logisch niedrig, wenn Pumpendrehzahl Statusausgang NORMAL auf Normaldrehzahl oder darüber 8, 13, 14 Stromversorgung: 0 V 1, 6, 11 Stromversorgung: Positiv 24-48 V DC Abbildung 11 Schnittstellenschaltungen für nEXT-Turbopumpen-Controller B8J200882_D Seite 39 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 40: Serielles Protokoll
Meldung zwischen den Start- und Stopp- Zeichen empfängt, sendet sie eine entsprechende Fehlermeldung zurück. Weitere Hinweise zum Betrieb der nEXT-Pumpen im Multidrop-Modus finden Sie in Multidrop-Betrieb auf Seite 49. B8J200882_D Seite 40 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 41: Verfügbare Befehle
Minuten Dauer des Zeitlimits (Timeout) sowohl für Anlaufen als auch wenn Drehzahl unter 50 % fällt ?S854 Einstellung der Leis- !S855 nEXT730/930D: dezimal Watt Maximale Verbindungsleistung tungsgrenze 190..600 nEXT1230H: 300..800 ?S855 B8J200882_D Seite 41 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... - Seite 42 °C Gemessene Temperatur des Lagers Werkseitige Einstel- !S867 Zurücksetzen aller Konfigurationsoptio- lungen nen und Parameter auf die werkseitigen Einstellungen Version der PIC-Soft- ?S868 string chars Versionsnummer der Startladepro- ware gramm-Software (D396696XXX) B8J200882_D Seite 42 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 43 Schließt das Belüftungsventil bei verzö- tungsventils gertem Start und übersteuert die aktu- elle Entlüftungsoption. Es gibt keinen Befehl zum Öffnen des Belüftungsven- tils, doch der Stop-Befehl (!C852 0) löscht die Übersteuerung. B8J200882_D Seite 43 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 44 Volle Belüftung bei < 50 % Drehzahl, wenn Stopp oder Fehler Geregelte Belüftung, wenn > 50 % Dreh- zahl oder volle Belüftung, wenn < 50 % Drehzahl, wenn Stopp oder Feh- B8J200882_D Seite 44 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 45 Identisch mit Option 6 Ausgabe ist dauerhaft aktiviert (Lüfter Nicht verwenden Ausgabe ist dauerhaft deaktiviert (Lüfter AUS) Nicht verwenden Nicht verwenden Nicht verwenden Volle Belüftung, wenn < 50 % Drehzahl bei Stopp B8J200882_D Seite 45 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 46 Bei Stopp gesteuerte Belüftung > 50 % Drehzahl, dann volle Belüftung < 50 % Drehzahl Volle Belüftung bei Stopp oder Fehler Identisch mit Option 6 Ausgabe ist dauerhaft aktiviert (Lüfter Nicht verwenden B8J200882_D Seite 46 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 47 0..999999 dezimal Stunden Lager-Inaktivitätszeit !C893 dezimal Lager-Inaktivitätsstunden zurücksetzen Echtzeituhr ?V895 0..3599996400 Datum und Uhr- Sek. Dies ist UTC, dargestellt in Sekunden seit zeit Beginn des Jahres 2000, d. h. seit 01.01.2000 00:00:00. B8J200882_D Seite 47 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
- Seite 48 B8J200882_D - Technische Daten Name des Objekts Befehl Parameterbereich Werkseitige Datentyp Einheiten Anmerkungen Einstellung Lagerinaktivität (au- !S896 0..1 dezimal 0: BCON Automatische Deaktivierung tomatische Lagerkon- ?S896 1: BCON Automatische Aktivierung ditionierung) B8J200882_D Seite 48 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 49: Multidrop-Betrieb
Abbildung 12 Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss über die RS232-Schnittstelle 1. RS232-Schnittstelle an der 1. RS232-Schnittstelle an der 2. Puffer 2. Puffer Steuereinrichtung Steuereinrichtung 3. nEXT-Pumpe 3. nEXT-Pumpe 4. ODER-Glied 4. ODER-Glied B8J200882_D Seite 49 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 50: Aux-Anschlussbuchse Des Motor-Controllers
Stromabgabe 750 mA Der Motor-Controller-Anschluss bietet zwei unabhängig konfigurierte und gesteuerte Ausgänge, Aux-Ausgang 1 und Aux-Ausgang 2. Dies ermöglicht den Anschluss, die Konfiguration und die Steuerung jeder beliebigen Kombination von Lüfter- oder B8J200882_D Seite 50 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 51: Anzeige-Leds
Seite 83). Aux-Ausgang 1 hat Standardeinstellungen für ein im Ruhezustand geöffnetes Belüftungsventil und Aux-Ausgang 2 für einen Lüfter. Edwards nEXT-Luftkühler- und Belüftungsventil-Zubehör (siehe Zubehör) mit dem entsprechenden Anschluss ist bereits für Aux-Ausgang 1 und Aux-Ausgang 2 vorkonfiguriert und ermöglicht Plug-and-play-Funktionen. nEXT-Belüftungsventile sind für Aux-Ausgang 1 vorkonfiguriert und die Standardeinstellungen für Belüftungsoptionen... - Seite 52 Diese blaue LED leuchtet oder blinkt, wenn ein Kundendienst Lager-LED am Lager fällig ist oder stattfindet. Siehe Tabelle: Lager-LED. Hinweis: Wenn an der Normal-Ausgangsleitung eine externe elektrische Last anliegt, kann u. U. die Normal-LED aufleuchten. B8J200882_D Seite 52 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 53: Installation
Es wird empfohlen, alle Verpackungsmaterialien für eine eventuelle Einsendung der Pumpe zum Kundendienst aufzubewahren. Tabelle 15 Checkliste der einzelnen Artikel Menge Beschreibung Prüfung nEXT730D, nEXT930D oder nEXT1230H Turbomolekular-Va- ❏ kuumpumpe Zentrierring-O-Ring-Dichtung mit integriertem Filtersieb ❏ (Nur ISO-Varianten. Das Sieb wird an CF-Pumpen ange- bracht.) -
Seite 54: Anschluss An Das Vakuumsystem
Bei Installation der Vakuumpumpe erst die Ein- und Auslässe mechanisch verbinden und dann erst die elektrischen Anschlüsse herstellen. VORSICHT: VAKUUM Verletzungsgefahr an Händen und Fingern durch Hineinziehen in das Vakuumsystem. Die Vakuumpumpe nicht mit offenen Flanschen in Betrieb nehmen. B8J200882_D Seite 54 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 55: Entfernen/Austausch Des Ansaugsiebes
Im unwahrscheinlichen Fall eines Bruchs der Pumpe kann es sein, dass das Ansaugsieb nicht alle Schmutzpartikel in der Pumpe auffängt. Stellen Sie sicher, dass das System sämtliche Schmutzpartikel abfangen kann, die möglicherweise aus der Pumpe entweichen. B8J200882_D Seite 55 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 56: Einbaulage
Wenn die Angeln noch nicht korrekt sitzen, müssen sie mit Hilfe eines geeigneten Werkzeugs, mit dem sie in die korrekte Position gedrückt werden, in die Arretiernut im Hochvakuumflansch eingerastet werden. Für Pumpen mit ISO-Flanschen liefert Edwards eine Kombination aus Ansaugsieb/O-Ring mit Zentrier- und Außenring. 5.2.2 Einbaulage nEXT730D- und 930D-Pumpen können in beliebiger Ausrichtung montiert werden,... -
Seite 57: Montage Der Pumpe
Drehmoment von 15 Nm festziehen. ▪ Wenn die Pumpe über einen ISO-K-Flansch verfügt, verwenden Sie das/den mit der Pumpe mitgelieferte(n) Edwards-Kombinations-Ansaugsieb/O-Ring mit Zentrier- und Außenring und mindestens ▪ 12 Spannklammern für die nEXT730/930D mit einer Streckgrenze von mindestens 380 N/mm . -
Seite 58: Vorvakuumanschluss
B8J200882_D - Installation ▪ Wenn die Pumpe einen ISO-F-Flansch hat, verwenden Sie das mit der Pumpe gelieferte Edwards-Ansaugsieb, einen Zentrierring mit O-Ring und mindestens 12 Schrauben M10 (Schraubenqualität: 8.8 gemäß EN ISO 898-1 mit Beschichtung, jeweils mit 35 Nm angezogen), um den Hochvakuumflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden. -
Seite 59: Anschließen Des Spülgases
Vor Inbetriebnahme den Widerstand der Erdungsleitung und die Eignung der zugeordneten Überstromschutzvorrichtung prüfen. Die nEXT-Pumpe kann mit dem Edwards TIC Turbo Instrument Controller, dem TIC Turbo Controller, dem TAG Controller oder dem System des Kunden gesteuert werden. Die nEXT-Pumpe kann über die Edwards Stromversorgung oder über eine kundeneigene Stromversorgung über das nEXT-Pumpenstromversorgungskabel mit Strom versorgt... -
Seite 60: Erdungs-(Masse-)Anschlüsse
Pumpengehäuse und dem Erdungsanschluss muss < 0,1 Ω betragen. 5.4.2 TIC- oder TAG‐Logik‐Schnittstellen‐Anschlüsse Wenn zur Steuerung der Pumpe ein Edwards TIC Turbo Instrument Controller, ein TIC Turbo Controller oder TAG-Controller verwendet wird, wird das Kabel der Logik- Schnittstelle der nEXT-Pumpe direkt an der Rückseite des TIC oder TAG angeschlossen. -
Seite 61: Anschließen Der Stromversorgung
Verbindung zwischen 0 V und Erde hergestellt werden könnte. Wenn Sie die nEXT-Pumpe mit Ihrem eigenen Steuersystem betreiben wollen, verwenden Sie ein geeignetes Anschluss-Gegenstück (nicht im Lieferumfang enthalten), um Ihre Stromversorgung mit dem Anschluss am Kabel der Stromversorgung zu verbinden. B8J200882_D Seite 61 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 62: Anschluss Der Parallelen Steuerung Und Überwachung
Anschluss-Gegenstücks der Logik-Schnittstelle. Bei Lieferung der Pumpe ist der Analogausgang so konfiguriert, dass die Pumpendrehzahl überwacht wird. Zur Überwachung anderer Parameter müssen Sie die nEXT-Pumpe mit den entsprechenden Befehlen über die serielle B8J200882_D Seite 62 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 63: Abbildung 21 Anschlüsse Der Logik-Schnittstelle - Parallele Steuerung
5. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe 5. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe 6. Start-Schalter 6. Start-Schalter 7. Optionaler Standby-Schalter 7. Optionaler Standby-Schalter 8. Optionaler Spannungsmesser zur 8. Optionaler Spannungsmesser zur Überwachung des Analogausgangs Überwachung des Analogausgangs B8J200882_D Seite 63 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 64: Anschluss Für Die Serielle Steuerung Und Überwachung
Vergleich zum Pin „0 V-Steuerreferenz“ am Steuerungsanschluss der nEXT-Pumpe innerhalb einer Spanne von 0,3 V liegt, dann dürfte die serielle Verbindung mit Abständen von bis zu 6 m funktionieren. Für längere Abstände ist eventuell eine Schnittstellenschaltung außerhalb der nEXT-Pumpe erforderlich. B8J200882_D Seite 64 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 65: Abbildung 24 Anschlüsse Der Logik-Schnittstelle - Serielle Rs485-Steuerung
1. RS485-Schnittstelle an der 1. RS485-Schnittstelle an der 2. Optionale 24 V DC Stromversorgung 2. Optionale 24 V DC Stromversorgung Steuereinrichtung Steuereinrichtung 3. Sicherung 3. Sicherung 4. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe 4. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe B8J200882_D Seite 65 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 66: Serielle Aktivierung („Serial Enable")
Die Pumpe kann über die Steuereingänge der parallelen Schnittstelle gesteuert werden und gleichzeitig verschiedene Pumpenparameter über die serielle Schnittstelle oder den USB-Serviceanschluss mit Edwards nST2 PC-Software überwachen. Alternativ kann die Pumpe mit Befehlen gesteuert werden, die über die serielle Schnittstelle gesendet werden, während gleichzeitig das „Normal“-Signal und der Analogausgang über die... -
Seite 67: Kühlung
Lager zu verhindern. Vergewissern Sie sich bei Verwendung anderer Kühlvorrichtungen als dem standardmäßigen Kühlungszubehör von Edwards, dass die Kühlung nicht nur auf den Pumpen-Controller gerichtet bzw. geführt wird. Wenn sich die Pumpe innerhalb eines Gehäuses befindet, stellen Sie sicher, dass eine ausreichende Belüftung gewährleistet ist, damit die Umgebungstemperatur um die... -
Seite 68: Druckluftkühlung
B8J200882_D - Installation und nEXT-Motor-Controller nicht ausreichend gekühlt werden, kann dies die Pumpenleistung beeinträchtigen. Edwards empfiehlt, wo immer möglich, die Pumpe mit Druckluft oder Wasser zu kühlen. Wählen Sie den erforderlichen Kühlungstyp je nach der Umgebungstemperatur: ▪ Natürliche Konvektionskühlung – nur für nEXT730D und nEXT930D: Für einige leichte Pumpanwendungen mit einer Umgebungstemperatur unter... -
Seite 69: Wasserkühlung
1. Anschlüsse für Schlauch 6 x 1 Die nEXT1230H-Pumpe verfügt standardmäßig über einen eingebauten Kühlwasserblock. Für nEXT730D und nEXT930D: Befestigen Sie den Kühlwasserblock mit vier M4- Schrauben an der Pumpe, Anziehdrehmoment 3 Kühlwasser-Schläuche einstecken. Die Schlauchanschlüsse können über die integrierten G 1/8"-Gewinde abgeschraubt und entfernt werden. - Seite 70 B8J200882_D - Installation Zweifelsfällen die Qualität der Kühlwasserversorgung und sorgen Sie bei Bedarf für Aufbereitung und Filtrierung. Jeder der beiden Aufsteckanschlüsse am Wasserkühler kann für den Anschluss der Wasserzu- oder -rückleitung verwendet werden. B8J200882_D Seite 70 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 71: Konfiguration
Instrument Controller, den TIC Turbo Controller oder den TAG Controller verwenden. Weitere Einzelheiten hierzu finden Sie in Konfiguration der Pumpe mit einem TIC Seite 80. Die Pumpe kann auch mit der Edwards nST2 PC-Software konfiguriert werden, entweder über die serielle Schnittstelle oder über den USB-Serviceanschluss. Hinweis: Die Standby-Drehzahl kann über die Taste auf dem Motor-Controller angepasst werden,... -
Seite 72: Meldungsstruktur
Zeichen, die von der Objektnummer durch ein Leerzeichen getrennt sind, gefolgt ▪ einem abschließenden Wagenrücklauf-Zeichen. Das Meldungsprotokoll im Multidrop-Modus weicht davon geringfügig ab, siehe Multidrop-Betrieb auf Seite 49. 6.1.2 Liste der Befehle und Antworten – Definitionen Erläuterung der Befehls- und Antwort-Zeichen. B8J200882_D Seite 72 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 73: Einstellung Der Leistungsgrenze
Senden Sie den Befehl wie folgt (hierbei stehen die „d“-Zeichen für den Wert in Watt, der eingestellt wird. Wenn Sie beispielsweise den Grenzwert auf 500 W setzen wollen, geben Sie „500“ ein). B8J200882_D Seite 73 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 74: Stromversorgung Eines Lüfters Über Den Motor-Controller
Um eine Belüftungsoption auf Aux-Ausgang 1 einzustellen, senden Sie den folgenden Befehl (hierbei bezieht sich das Zeichen „d“ auf die in Tabelle: Belüftungsventiloptionen angegebene Nummer der Option): Befehl Die Antwort hat das folgende Format: B8J200882_D Seite 74 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 75: Einstellung Der Standby-Drehzahl
Um die Einstellung der Standby-Drehzahl über einen seriellen Befehl zu ändern, senden Sie den folgenden Befehl (wobei die Zeichen „d“ für den Wert als Prozentsatz der maximalen Drehzahl stehen): Befehl Die Antwort hat das folgende Format: B8J200882_D Seite 75 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 76: Einstellung Der Normaldrehzahl
Um die Timer-Einstellung zu ändern, senden Sie den folgenden Befehl (wobei die Zeichen „d‟ für die Timeout-Dauer in Minuten stehen): Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus: Antwort Die Timer-Einstellung ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. B8J200882_D Seite 76 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 77: Optionen Für Analogsignal
Gemessene Pumpendrehzahl Dies ist die werkseitige Standard-Ein- stellung. Gemessene Verbindungsleistung Gemessene Motortemperatur Gemessene Motor-Controller-Temperatur Gemessene Temperatur des Lagers Um den Analogausgang zu konfigurieren, senden Sie den folgenden Befehl (wobei das Zeichen „d“ für die Nummer der Option steht): B8J200882_D Seite 77 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 78: Elektronische Bremsoptionen
Die Antwort sieht wie folgt aus (wobei d=0 „deaktiviert“ bedeutet und d=1 „aktiviert“): Antwort 6.1.11 Werkseitige Einstellungen Die nEXT-Pumpe kann mithilfe eines seriellen Befehls auf die ursprünglichen werkseitigen Standardeinstellungen zurückgesetzt werden.‑ Um den Motor-Controller auf die Werkseinstellungen zurückzusetzen, senden Sie den folgenden Befehl: B8J200882_D Seite 78 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 79: Zuweisen Einer Multidrop-Adresse
Verwenden Sie die folgende Abfrage (mit der Platzhalteradresse 99, was „beliebiger“ Knoten bedeutet), um die Multidrop-Adresse der nEXT-Pumpe herauszufinden: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus (wobei „dd“ die Multidrop-Adresse der Pumpe angibt): B8J200882_D Seite 79 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 80: Konfiguration Der Pumpe Mit Einem Tic
Sobald der Multidrop-Modus deaktiviert ist, antwortet die Pumpe nicht länger auf Multidrop-Befehle. 6.1.13 Konfiguration der Pumpe mit einem TIC Die nEXT-Pumpe kann mit dem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder dem TIC Turbo Controller konfiguriert werden. Siehe TIC- oder TAG-Logik-Schnittstellen-Anschlüsse auf Seite 60. -
Seite 81: Betrieb
Wenn der Motor-Controller für den Betrieb eines Lüfters konfiguriert ist, schaltet sich der Lüfter automatisch ein, sobald die nEXT-Pumpe mit Strom versorgt wird. Schalten Sie die entsprechende Kühlvorrichtung (Lüfter oder Kühlwasserversorgung) ein. Starten Sie die Vorvakuumpumpe. B8J200882_D Seite 81 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 82: Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss Und -Steuerung
Vakuumsystem) bei jedem Abschalten zu belüften. 7.2.1 Manuelles Belüftungsventil Edwards empfiehlt, das manuelle Belüftungsventil erst dann zu öffnen, nachdem die Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist. Ein manuelles Belüftungsventil gehört zum Lieferumfang der nEXT-Pumpe. Es ist nicht möglich, die Geschwindigkeit des Druckanstiegs mit dem manuellen Belüftungsventil... -
Seite 83: Steuerung Belüftungsventil
Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist, bevor das Belüftungsventil geöffnet wird. 7.2.3 Steuerung Belüftungsventil Das TAV-Magnetventil kann vom nEXT-Motor-Controller oder von einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller gesteuert werden. Der nEXT-Controller kann die Belüftungsrate steuern anhand der Belüftungsventiloptionen in der... - Seite 84 Dies ist die werkseitige Standardeinstellung für Belüftungsoption 2 zur Steuerung des Verhaltens des Kühllüfters. Tabelle 20 Ventiltypen Nr. der Option Beschreibung des Ventiltyps in Ruhezustand geöffnetes Belüftungsventil in Ruhezustand geschlossenes Belüftungsventil Dies ist die Standardwerkseinstellung für Ventiltyp 1 und 2. B8J200882_D Seite 84 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 85: Anschluss Eines Anderen Ventils An Das Vakuumsystem
Magnetventil nur „geöffnet“ wird, wenn ein Stopp-Befehl eingeht. Daher muss kein verzögerter Startbefehl gesendet werden. Wenn die nEXT-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller gesteuert wird, kann das TAV-Magnetventil vom TIC aus gesteuert werden. Weitere Informationen hierzu sind den Betriebsanleitungen der TICs zu entnehmen. -
Seite 86: Betrieb Mit Paralleler Steuerung Und Überwachung
Um die nEXT-Pumpe mit Standby-Drehzahl zu betreiben, müssen Sie den Standby- Steuereingang mit der 0 V-Steuerreferenz am Anschluss der Logik-Schnittstelle verbinden. Um die Pumpe wieder mit maximaler Drehzahl zu betreiben, trennen Sie den Standby-Steuereingang von der 0-V-Referenz am Anschluss der Logik-Schnittstelle. B8J200882_D Seite 86 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 87: Abschalten Der Pumpe Mit Der Überwachung Über Die Parallele Schnittstelle
Dieser Befehl hat Vorrang vor der aktuellen Belüftungsoption und schließt das Belüftungsventil. Es gibt keinen Befehl zum Öffnen des Belüftungsventils, wenn jedoch ein Stopp-Befehl an die Pumpe gesendet wird, wird die Übersteuerung gelöscht. B8J200882_D Seite 87 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 88: Starten Sie Die Pumpe Mit Der Seriellen Steuerung
Um die nEXT-Pumpe mit Standby-Drehzahl zu betreiben, senden Sie den folgenden Befehl über die serielle Datenübertragungsverbindung: Befehl Die Antwort hat das folgende Format: Antwort Damit die Pumpe wieder zur maximalen Drehzahl zurückkehrt, senden Sie den folgenden Befehl: Befehl B8J200882_D Seite 88 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 89: Steuerung
Zahl bezieht sich auf die Motorleistung (gemessen in 0,1 W): Ant- sp d wort 7.4.7 Überwachen der gemessenen Motordrehzahl mit serieller Steuerung Sie können die gemessene Drehzahl des Motors in der nEXT-Pumpe überwachen. Senden Sie die folgende Abfrage: B8J200882_D Seite 89 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 90: Gemischter Paralleler Und Serieller Betrieb
Die serielle Kommunikation ist deakti- Störungsanzeige sind deaktiviert. viert. Die Leitungen „Standby‟ und „Fail‟ Die Leitungen „Standby‟ und „Fail‟ werden für RS485-Daten verwendet. befinden sich im Zustand hoher Impe- RS485 danz (RS485). B8J200882_D Seite 90 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... - Seite 91 Stattdessen muss ein serieller Standby-Befehl verwendet werden. Beim gemischten parallelen und seriellen Betrieb liefern die parallelen Ausgangssignale „Normal‟ und „Analogue‟ jederzeit gültige Informationen zum Pumpenstatus. Die analogen Ausgangsspannungen sind beschrieben in Tabelle: Technische Daten der Logik- Schnittstelle. B8J200882_D Seite 91 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 92: Betrieb Mit Einem Tic Oder Tag
Abbildung 27 Serielle und parallele Steuerung – Flussdiagramm 7.6 Betrieb mit einem TIC oder TAG Die nEXT-Pumpe kann direkt an einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller, einen TIC Turbo Controller oder einen TAG Controller angeschlossen werden. Weitere Hinweise zur Einstellung und zum Betrieb mit TIC Turbo Instrument Controller, TIC Turbo Controller oder TAG Controller finden Sie auf der CD-ROM mit der Teilenummer P450-00-000, die mit dem TIC oder TAG geliefert wird. -
Seite 93: Betrieb Unter Extremen Bedingungen
Pumpe oberhalb ihrer normalen maximalen Drehzahl arbeitet. Für den unwahrscheinlichen Fall eines Fehlers dieser Steuerungs-Software verfügt der Controller über eine eingebaute Sicherheitsschaltung, die überprüft, ob die Pumpe mit Überdrehzahl läuft. Wenn eine Überdrehzahl erkannt wird, schaltet der Controller B8J200882_D Seite 93 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 94: Fehler In Der Stromversorgung
Überdrehzahl erkannt wurde.‑ Wenn Sie vermuten, dass die Pumpe mit Überdrehzahl läuft, schalten Sie sie aus, und wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. 7.8.4 Fehler in der Stromversorgung Wenn die Stromversorgung der nEXT-Pumpe ausfällt, während sich die Pumpe dreht, wird der Motor der Pumpe als Generator genutzt. - Seite 95 Energie setzt ist. Bei einer Pumpe mit serieller Steuerung aufgebraucht ist ist ein neuer Start-Befehl erforderlich, damit die Pumpe wieder auf die vorgegebene Drehzahl hochfährt. Alle Fehlersignale („Fail“), die wäh- B8J200882_D Seite 95 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 96: Ausheizen
Hochvakuumflansch auf über 70 °C ausgeheizt wird, muss sie mit Wasser gekühlt werden, um Schäden an der Lagerschmierung zu vermeiden. Zum Ausheizen der Pumpe kann die Edwards-Flanschheizung verwendet werden (siehe Zubehör). Bringen Sie die Manschette direkt um den CF-Hochvakuumflansch der Pumpe herum an. - Seite 97 B8J200882_D - Betrieb Wenn die Pumpe zum Stillstand gekommen ist, können das Belüftungsventil und das Vorvakuumventil geschlossen und die Vorvakuumpumpe ausgeschaltet werden. B8J200882_D Seite 97 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 98: Wartung
Die Lebensdauer der Rotoren einer nEXT-Turbomolekularpumpe beträgt in der Regel 40.000 bis 50.000 Zyklen. Als Vorsichtsmaß- nahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Beschleuni- gungszyklen oder aber nach 10 Jahren, je nachdem, welche Bedin- gung zuerst eintritt, von Stopp-Stellung auf maximale Drehzahl und zurück in die Stopp-Stellung zum erweiterten Kundendienst (Roto-... -
Seite 99: Lagerwartung
8.2 Lebensdauer des Rotors Die Lebensdauer der Rotoren einer nEXT-Turbomolekularpumpe beträgt in der Regel 40.000 bis 50.000 Zyklen. Als Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Beschleunigungszyklen oder aber nach 10 Jahren, je nachdem, welche Bedingung zuerst eintritt, von Stopp-Stellung auf maximale Drehzahl und zurück in die Stopp- Stellung zum erweiterten Kundendienst (Rotoraustausch) zurückzusenden. -
Seite 100: Entschlüsseln Der Servicestatus-Wörter
Service due (Service er- Service ist erforderlich oder läuft gemäß forderlich) Bit 12 unten. Welcher spezielle Vorgang erforderlich ist, sollte durch Prüfung der oben angegebenen Bits sowie 10 und 11 unten festgestellt wer- B8J200882_D Seite 100 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 101: Controller-Laufzeit
Controllers und die zweite Zahl die Anzahl der Stunden bis zu einem empfohlenen Service an: Ant- sp d wort Beachten Sie, dass die Anzahl der Stunden, bis der nächste Service erforderlich ist, vom Controller unter Berücksichtigung der Betriebsbedingungen der Pumpe geschätzt wird. B8J200882_D Seite 101 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 102: Pumpenlaufzeit
Die Antwort lautet wie folgt. Dabei gibt die erste Zahl die Betriebsstunden des Lagers und die zweite Zahl die Anzahl der Stunden bis zu einem empfohlenen Service an: Ant- sp d wort B8J200882_D Seite 102 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 103: Lagerung
Lagern Sie die Pumpe bis zum erneuten Einsatz kühl, trocken und möglichst nicht der Umgebungsluft ausgesetzt. Wenn die Pumpe wieder eingesetzt werden soll, gehen Sie entsprechend der Beschreibung in „Installation“ Installation auf Seite 53 vor, um sie vorzubereiten und zu installieren. B8J200882_D Seite 103 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 104: Entsorgung
Partikel zu vermeiden. Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Bei der Rücksendung der Pumpe an Edwards müssen Sie ein HS2-Formular ausfüllen. Entsorgen Sie die Pumpe und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. -
Seite 105: Fehlersuche
Fall, siehe Blinksignal-Fehlercodes auf Seite 110. Wenn die Stromversorgung in Ordnung ist, kein „Fail“-Signal vorhanden ist und sich der Rotor trotzdem nicht dreht, dann liegt ein Defekt an der Pumpe vor. B8J200882_D Seite 105 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... - Seite 106 Ausheizen des Systems) nicht zu stark sind. Ursache Der Rotor dreht sich nicht frei. Beseitigung Möglicherweise sind die Pumpenlager beschädigt. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Fehler Der Endvakuumdruck kann nicht erreicht werden Ursache Der Druck wird durch Wasserdampf begrenzt.
- Seite 107 Vorvakuumleitung. Ursache Das Geräusch ist unregelmäßig und wird immer stärker. Beseitigung Ein Lager ist defekt. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Ursache Die Pumpe erzeugt ein konstantes hohes Geräusch. Beseitigung Der Rotor hat eine Unwucht. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
- Seite 108 Falls Sie gerade ein Software-Upgrade vornehmen, führen Sie den Vorgang zu Ende. Schalten Sie andernfalls die Stromversorgung aus und wieder ein. Falls das Problem dadurch nicht behoben werden kann, führen Sie ein Software-Upgrade durch. B8J200882_D Seite 108 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 109: Befehlssatz Fehlercodes
Fehler Alle sonstigen Probleme Ursache Andere als die bisher erwähnten Störfälle. Beseitigung Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. 11.1 Befehlssatz Fehlercodes Mögliche Fehlercodes für die serielle Steuerung und Überwachung. Tabelle 26 Befehl Fehlercodes Zurückgesendeter Fehlercode Bedeutung Kein Fehler Ungültiger Befehl für Objekt ID... -
Seite 110: Blinksignale Für Wartung
Software hin. Schalten Sie die Stromversorgung in diesem Fall aus und wieder ein. Falls die LED auch nach dem Aus- und Wiedereinschalten noch erforderlich. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Wenn die Alarm-LED blinkt, stellen Sie den Blinksignal-Fehlercode fest und konsultieren Sie die Tabelle in Entschlüsseln der... -
Seite 111: Blinksignal-Codes Für Wartung Aufgrund Von Inaktivität (Blaue Lager-Led)
Controller code erneut auftritt. Wenden Sie fehlgeschlagen sich in diesem Fall an Ihren Liefer- anten oder an Edwards. Die halbe maximale Drehzahl kann Prüfen Sie, ob die Pumpe zu heiß nicht innerhalb der vorgegebenen ssLsss ist oder ob der Einlassdruck zu Timer-Einstellung erreicht oder ge- hoch ist. -
Seite 112: Entschlüsseln Der Systemstatus-Wörter
0 0 1 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0 ist als Hilfe dazu gedacht. Tabelle 30 Hexadezimal-Umrechnungstabelle Hexadezimal Binär Dezimal 0000 0001 0010 0011 0100 0101 0110 0111 B8J200882_D Seite 112 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... - Seite 113 Tabelle gezeigt. enthält eine Liste der unteren 16 Status-Flags, die bei der Fehlersuche hilfreich sind. Die oberen 16 Status-Flags sind für Edwards reserviert. Binäre Ziffern 0 0 1 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0 ê...
- Seite 114 Die Pumpe befindet sich nicht im seriellen Steu- erungsmodus. Es liegt keine interne Software-Inkompatibilität im Controller vor. Der Controller konnte einen internen Konfigura- tions- und Kalibrierungsvorgang erfolgreich aus- führen. Der Timer ist nicht abgelaufen. B8J200882_D Seite 114 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 115: Service-Informationen
String 3 cr wort Senden Sie die folgende Abfrage, um die Version der PIC-Software zu ermitteln: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus, wobei String 1 die Versionsnummer der PIC-Software ist: Antwort String 1 B8J200882_D Seite 115 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 116: Kundendienst
Seriennummer ▪ Bestellnummer und Beschreibung des Teils Unsere Produkte werden über ein weltweites Netz von Edwards-Kundendienstzentren betreut. Jedes Kundendienstzentrum bietet eine große Auswahl an Optionen, wie zum Beispiel: Gerätedekontamination Austausch im Rahmen des Kundendiensts; Reparatur; Umbau und Test nach Werksspezifikationen. Anlagen und Geräte, an denen Wartungs-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller... -
Seite 117: System Zur Überwachung Und Aufbereitung Der Lager
▪ TIC – „Service menu“ (Wartungsmenü), „Brg Inactive“ (Lager inaktiv) zeigt die TMP- Inaktivitätszeit an. Weitere Details sind dem TIC-Benutzerhandbuch zu entnehmen. ▪ nST2 – Weitere Details sind dem nST2-Benutzerhandbuch zu entnehmen. B8J200882_D Seite 117 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 118: Vor-Ort-Wartung Des Lagers
Pumpe ▪ manuell über nST2 ▪ manuell über den TIC oder ▪ durch gleichzeitiges Drücken beider Drucktasten für die Drehzahl-Einstellung an der Pumpe (befinden sich hinter der Service-Abdeckung) 2 Sekunden lang. B8J200882_D Seite 118 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 119: Kundendienst-Zähler Zurücksetzen
Pumpe wurde mindestens 3 Jahre lang gelagert, La- gerwechsel ist erforderlich 12.4.1 Kundendienst-Zähler zurücksetzen Nach einem Lagerwechsel das Kundendienst-Intervall auf den nächsten Kundendienst zurücksetzen und die Status-LED zurücksetzen. Das Rücksetzen des Kundendienst- Zählers ist im Handbuch des Service-Toolkits beschrieben. B8J200882_D Seite 119 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 120: Ersatzteile
B8J200882_D - Ersatzteile 13. Ersatzteile HINWEIS: Die Verwendung von Ersatzteilen, die nicht von Edwards stammen, kann eine geringere Zuverlässigkeit und Leistung zur Folge haben, außerdem erlischt der Gewährleistungsanspruch. 13.1 Ansaugsieb Die Pumpe wird mit montierten Ansaugsieben geliefert, um Schäden durch das Eindringen von Schmutzpartikeln in die Pumpe zu verhindern. -
Seite 121: Zubehör
Kühllüfters, zweier Kühllüfter oder zweier TAV-Be- lüftungsventile. Die zwei Anschlüsse des Y-Kabels sind parallel verdrahtet, so dass jeder davon in genau der gleichen Weise verwendet werden kann wie der Aux-Anschluss an der Pumpe selbst. B8J200882_D Seite 121 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 122: Luftkühler
Kondensation von Verunreinigungen eingesetzt werden. Die Flanschheizungen sind als 110-V- und 240-V-Versionen erhältlich. Hinweis: Die Flanschheizung ist nur für den Einsatz in den CF-Varianten bestimmt. Tabelle 40 Flanschheizung Flanschheizung Bestellnummer nEXT730D (110 V)-Flanschheizung B58052775 nEXT730D (240 V)-Flanschheizung B58052776 nEXT930D (110 V)-Flanschheizung auf Anfrage nEXT930D (240 V)-Flanschheizung... -
Seite 123: Belüftungsventile Tav5 Und Tav6
(3 m) 14.5 VRX‐Belüftungsdrossel Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung, um den Durchsatz von Belüftungsgas in die Pumpe zu begrenzen. Tabelle 42 VRX-Belüftungsdrossel Öffnungsdurchmes‐ Belüftungsdrossel Bestellnummer ser (mm) VRX10 B58066021 VRX20 B58066022 B8J200882_D Seite 123 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 124: Belüftungsanschluss-Adapter
über die serielle Schnittstelle oder über den USB-Serviceanschluss verwendet werden kann. Damit kann die nEXT-Pumpe gesteuert, überwacht, konfiguriert und protokolliert werden; dazu ermöglicht die Software die Anzeige des Servicestatus, die Zurücksetzung der Serviceintervalle und die Aktualisierung der im Motor-Controller integrierten Software. B8J200882_D Seite 124 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... -
Seite 125: Hilfsklemme
B8J200882_D - Zubehör Diese Software steht auf der Upgrade-Website von Edwards zum Download zur Verfügung: www.upgrades.edwardsvacuum.com 14.10 Hilfsklemme Ermöglicht die Verwendung von Zubehör, das nicht von vornherein mit einem passenden Stecker ausgestattet ist. Das Kabel ist 1,5 m lang. Tabelle 46 Hilfsklemme... -
Seite 126: Stromversorgungsgerät Eps 800
Verlängerungskabel nEXT, 3 m B8J200824 (zwischen Pumpe und Stromversorgung) Verlängerungskabel nEXT, 5 m B8J200825 (zwischen Pumpe und Stromversorgung) Halterung zur Befestigung des EPS 800 an B8J200832 der Pumpe (Unterlegscheiben und Schrau- ben liegen bei) B8J200882_D Seite 126 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3... - Seite 127 B8J200882_D - Zubehör B8J200882_D Seite 127 09/2021 - ©Edwards Limited 300812671_001_C3...
-
Seite 128: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Edwards Ltd Dokumentationsbeauftragte(r) Innovation Drive Jana Sigmunda 300 Burgess Hill Lutín , 78349 West Sussex Tschechische Republik RH15 9TW T: +42(0) 580 582 728 Vereinigtes Königreich documentation@edwardsvacuum.com Das nachstehend aufgeführte Produkt Turbo-Molekularpumpen mit integriertem Frequenzwandler • Typbezeichnung Teilenummern Beschreibung... - Seite 129 ZUSÄTZLICHE ANGABEN ZU RECHTSVORSCHRIFTEN UND KONFORMITÄT RoHS (EU, UK): Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III: 6(a) Blei als Legierungselement in Stahl für Bearbeitungszwecke und in verzinktem Stahl mit einem Massenanteil von • höchstens 0,35 % Blei 6(b) Blei als Legierungselement in Aluminium mit einem Massenanteil von höchstens 0,4 % •...
- Seite 130 Diese Seite bleibt frei.
- Seite 131 Diese Seite bleibt frei.
- Seite 132 edwardsvacuum.com...